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最新专利技术
  • 一种大尺寸MEMS微热板及其制备方法和应用
    一种大尺寸MEMS微热板及其制备方法和应用_吉林大学_202510950673.1
    本发明提供了一种大尺寸MEMS微热板及其制备方法和应用， 涉及气体传感器技术领域。本发明提供的大尺寸MEMS微热板包括工作区域尺寸为200～500μm×200～500μm的悬浮工作平台， 位于悬浮工作平台周围的通孔， 用于支撑悬浮工作平台的...
    2026-01-13
  • 一种MEMS芯片散热器
    一种MEMS芯片散热器_湖南天羿领航科技有限公司_202511184772.X
    本发明公开了一种MEMS芯片散热器， 包括驱动电源、框架和设于所述框架上的盖板， 所述框架上设有摆片和进风口， 所述摆片上设有第一导电层， 所述盖板上设有出风口且内表面设有第二导电层， 所述第二导电层与所述第一导电层对应布置， 所述驱动电源...
    2026-01-13
  • MEMS器件及其形成方法、以及电子设备
    MEMS器件及其形成方法、以及电子设备_中芯集成电路(宁波)有限公司_202510999373.2
    一种MEMS器件及其形成方法、以及电子设备；MEMS器件包括：控制电路结构， 控制电路结构包括第一衬底以及第一衬底上具有第一连接端的电路布线层；MEMS器件结构， 与控制电路结构堆叠设置， MEMS器件结构包括MEMS结构， MEMS结构具...
    2026-01-13
  • 单路信号控制的微机电装置及其控制方法
    单路信号控制的微机电装置及其控制方法_广东三石园科技有限公司_202511310495.2
    本发明提供一种单路信号控制的微机电装置及其控制方法， 该装置包括基体， 基体上设置有第一下梳齿和第二下梳齿， 第一下梳齿与第一驱动电极电连接， 第二下梳齿与第二驱动电极电连接；在基体的上方设置有基板， 基板上设置有上梳齿以及转镜、驱动信号输...
    2026-01-13
  • MEMS电场传感器的批量封装方法及封装设备
    MEMS电场传感器的批量封装方法及封装设备_中科飞龙(北京)智能科技有限公司_202510858484.1
    本发明提供一种MEMS电场传感器的批量封装方法及封装设备， 其中， 封装方法包括：将符合要求的电场敏感芯片固定在封装管壳的内侧端面上；通过引线连接电场敏感芯片与指定焊点， 并检测引线的拉力与金球的推力是否满足要求；对封装腔体、封装盖板、符合...
    2026-01-13
  • 一种高可靠性跨台阶MEMS芯片电极层的制备方法
    一种高可靠性跨台阶MEMS芯片电极层的制备方法_北京航天控制仪器研究所_202510876120.6
    本发明提出一种高可靠性跨台阶MEMS芯片电极层的制备方法， 该方法包括以下步骤：在硅片表面制备第一氧化硅层；对第一氧化硅层进行图形化；制备硅沟槽结构；去除剩余的第一氧化硅层；首次制备第二氧化硅层；去除第二氧化硅层；重复制备第二氧化硅层；在第...
    2026-01-13
  • 一种外源能量调控表面电场构型的方法、系统及应用
    一种外源能量调控表面电场构型的方法、系统及应用_上海科技大学_202510922689.1
    本发明提供一种外源能量调控表面电场构型的方法、系统及应用， 所述方法包括步骤：通过光斑照射和/或其他外源能量的输入， 从而对表面电场构型进行控制；具体的可以通过调控光场输入到介电层表面的条件调控电场构型；本发明还提供上述通过外源能量调控表面...
    2026-01-13
  • 一种采用微流道散热的埋入式功率模块封装方法
    一种采用微流道散热的埋入式功率模块封装方法_复旦大学_202510940020.5
    本发明涉及一种采用微流道散热的埋入式功率模块封装方法， 在一片硅晶圆表面使用单光刻， 对刻蚀完成的硅晶圆的微流道表面， 以及另一块硅晶圆的双面进行背金， 采用测控溅射在硅晶圆表面沉积， 经过刻蚀的一片硅晶圆的微流道表面与另一片硅晶圆进行金‑...
    2026-01-13
  • 一种以polyimide高分子聚合物为柔性衬底的纳米断裂结实现自愈合的方法
    一种以polyimide高分子聚合物为柔性衬底的纳米断裂结实现自愈合的方法_南开大学_202510950972.5
    一种以polyimide高分子聚合物为柔性衬底的纳米断裂结实现自愈合的方法， 本发明利用电子束曝光系统EBL在旋涂了PI高分子聚合物的硅片上制备一个具有20nm间隙的断裂结， 在PI高分子聚合物基底上形成了横向的金‑PI高分子聚合物‑金构型...
    2026-01-13
  • 一种基于Ni3Fe/Ni/NiFe2O4@C催化剂改善氢化镁储氢性能的方法
    一种基于Ni3Fe/Ni/NiFe2O4@C催化剂改善氢化镁储氢性能的方法_广东工业大学_202510921938.5
    本发明涉及一种基于Ni3Fe/Ni/NiFe2O4@C催化剂改善氢化镁储氢性能的方法， 属于储氢材料技术领域。所述镁基复合储氢材料由氢化镁和催化剂通过水热反应法和高温煅烧法制备合成， 所述催化剂为Ni3Fe/Ni/NiFe2O4@C， 步骤...
    2026-01-13
  • 一种基于NiFe2O4/NiO/NiFe-LDH催化剂改善氢化镁储氢性能的方法
    一种基于NiFe2O4/NiO/NiFe-LDH催化剂改善氢化镁储氢性能的方法_广东工业大学_202510922012.8
    本发明涉及一种基于NiFe2O4/NiO/NiFe‑LDH催化剂改善氢化镁储氢性能的方法， 属于储氢材料技术领域。所述镁基复合储氢材料由氢化镁和催化剂通过球磨法制备， 所述催化剂为镍基过渡金属， 步骤为：先将六水合氯化镍、六水三氯化铁、氟化...
    2026-01-13
  • 金属钴氧化-还原侨联的碳水化合物生物质高效分解海水制氢的方法
    金属钴氧化-还原侨联的碳水化合物生物质高效分解海水制氢的方法_上海交通大学_202511044754.1
    本发明涉及一种金属钴氧化‑还原侨联的碳水化合物生物质高效分解海水制氢的方法， 包括以下步骤：第一步， 将含有金属Co、协同金属和海水的混合液， 在机械搅拌下进行水热反应， 制备生成氢气和反应金属氧化物；机械搅拌的转速为200‑800转/分钟...
    2026-01-13
  • 天然气掺混液化石油气裂解制氢的方法
    天然气掺混液化石油气裂解制氢的方法_雅安达信成科技有限公司_202510993937.1
    本发明公开了一种天然气掺混液化石油气裂解制氢的方法， 包括以下步骤：S1、裂解原料气经脱硫处理， 使裂解原料气中总硫≤0.1mg/Nm3；S2、将液态金属催化剂装入裂解炉裂解区， 控制温度850～950℃， 形成液态金属催化床；S3、将所述...
    2026-01-13
  • 一种干重整并联非催化部分氧化制备合成气的方法和系统
    一种干重整并联非催化部分氧化制备合成气的方法和系统_高潞空气化工产品(上海)能源科技有限公司_202510876036.4
    本发明提供一种干重整并联非催化部分氧化制备合成气的方法和系统， 所述方法包括以下步骤：将原料气经预处理操作后得到预处理原料气， 将预处理原料气分为两股支流， 第一支流通入干重整自热炉， 第二支流与蒸汽混合后通入非催化部分氧化转化炉；将氧气、...
    2026-01-13
  • 一种废浓硫酸和盐渣资源化利用方法
    一种废浓硫酸和盐渣资源化利用方法_湖南瀚洋环保科技有限公司_202511001782.5
    本发明属于工业废盐处理技术领域， 尤其是一种废浓硫酸和盐渣资源化利用方法， 包括以下步骤：S1.废浓硫酸与浓缩盐渣反应， 并吸收反应产生的HCl气体制得盐酸；S2.酸析；S3.使用石灰浆中和盐溶液， 过滤除去硫酸钙沉淀；后向滤液中加入适量的...
    2026-01-13
  • 一种氯气的制备方法
    一种氯气的制备方法_上海交通大学_202510976796.2
    本发明涉及一种氯气的制备方法， 包括以下步骤：在透光反应容器中， 将氯化氢、氮氧化物、含氧气的气体混合并密封；在常压及光照条件下进行氧化反应， 生成氯气；其中， 所述光照条件为日光或模拟光源， 反应温度为0‑100℃， 所述氮氧化物为催化剂...
    2026-01-13
  • 一种二氧化氯竖式发生器的除杂方法
    一种二氧化氯竖式发生器的除杂方法_联盛浆纸(漳州)有限公司_202510919721.0
    本发明涉及了一种二氧化氯竖式发生器的除杂方法， 所述除杂方法包括以下步骤：向二氧化氯竖式发生器内加入第一纯水与次氯酸钠溶液， 在真空条件下持续沸腾后， 冷却排液；再用第二纯水冲洗排液；所述沸腾温度低于80℃。区别于现有技术， 上述技术方案提...
    2026-01-13
  • 臭氧发生器的导电板结构、臭氧发生器及制作方法
    臭氧发生器的导电板结构、臭氧发生器及制作方法_江苏智桦舜芯半导体科技有限公司_202411781089.X
    本发明提供了一种臭氧发生器的导电板结构、臭氧发生器及制作方法， 导电板结构包括：基材层；导电层， 设于基材层之上， 导电层的材料包括导电材料和稀土元素材料。稀土元素材料为钕、钐、镧或钇。本发明通过在导电层中添加稀土元素材料， 因为稀土元素的...
    2026-01-13
  • 一种球形氧化物颗粒的制备方法及设备
    一种球形氧化物颗粒的制备方法及设备_广州大学_202510830897.9
    本发明涉及纳米材料技术领域， 公开了一种球形氧化物颗粒的制备方法及设备。所述制备方法包括以下步骤：使表面沉积碳纳米管的电极静电吸附氧化硼颗粒， 一次烧结， 得到基板；使所述基板静电吸附功能性结构氧化物， 二次烧结后置于水中进行超声处理， 得...
    2026-01-13
  • 基于掺杂燃烧法制备硫化锂及其硫化物固体电解质的方法
    基于掺杂燃烧法制备硫化锂及其硫化物固体电解质的方法_四川全固态新材料有限公司_202511204978.4
    本发明公开了一种基于掺杂燃烧法制备硫化锂的方法， 方法步骤如下， S1.准备金属锂Li和单质硫S；S2.在金属锂Li和单质硫S中加入改性添加剂对单质硫S进行改性；S3.进行加热得到硫化锂Li2S粉体。与现有技术相比， 本发明的硫端封闭添加剂...
    2026-01-13
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