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半导体结构的形成方法
一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底;在衬底上形成第一介质层和位于第一介质层内的初始导电层,所述第一介质层暴露出所述初始导电层表面,所述初始导电层表面具有初始氧化层;对所述初始氧化层进行第一还原处理,形成氧化层;对所述氧化层进行第二还原...
半导体结构的刻蚀方法及半导体工艺设备
本申请公开了一种半导体结构的刻蚀方法,涉及半导体领域。一种半导体结构的刻蚀方法,所述半导体结构包括钨层以及依次层叠在所述钨层上的碳材料层和硅化物层,所述碳材料层以及硅化物层具有相同的图形形貌,所述刻蚀方法包括:第一刻蚀步骤,采用等离子体刻蚀...
一种FCBGA封装基板及其加工方法
本发明公开了一种FCBGA封装基板及其加工方法,其中加工方法包括,在玻璃芯板表面的焊盘区域通过叠加和排列单元小孔形成异形图案;对所述单元小孔进行扩大,使得各单元小孔均与其他单元小孔连通,在玻璃芯板中形成异形通孔;在玻璃芯板表面形成导电金属层...
一种二极管连接片的制作方法
本发明公开了一种二极管连接片的制作方法,属于半导体技术领域,本发明选用金属铜作为材料,并经提纯获得高纯度铜,保障了二极管的导电性、散热性和抗冲击力,拉拔异型材使材料形状适配需求,退火处理消除内应力,恢复延展性与抗拉强度,从而确保连接片力学性...
应用于高密度互连的铜柱凸块加工方法、芯片封装结构
本发明公开了一种应用于高密度互连的铜柱凸块加工方法、芯片封装结构,该加工方法包括:提供设有线路层和防焊层的IC载板;对防焊层表面进行等离子体粗化,使防焊层表面形成为蜂窝状结构;在防焊层表面上形成化铜层;将多张抗镀干膜层叠设置于化铜层及线路层...
一种TGV种子层及封装基板的制作方法和封装基板
本发明公开一种TGV种子层及封装基板的制作方法和封装基板,该方法包括:在玻璃芯板上制作玻璃通孔,以形成一个或多个贯通所述玻璃芯板相对的第一表面和第二表面的TGV孔;在所述第一表面、所述第二表面和所述TGV孔的内壁形成缓冲层;通过等离子体对所...
一种封装基板的重分布层的制作方法和封装基板
本发明公开一种封装基板的重分布层的制作方法和封装基板,该方法包括提供玻璃芯板,并制作出导电通孔、在玻璃芯板上制作出通过导电通孔电连接的内层线路;采用化学气相沉积工艺在内层线路上沉积第一介电层,第一介电层采用派瑞林材料;在第一介电层上开孔以显...
一种降低TGV产品破片率的制造方法
本发明公开了一种降低TGV产品破片率的制造方法,采用飞秒激光对玻璃基板进行激光诱导形成改性区后,用蚀刻液对改性区进行湿法刻蚀形成通孔;采用飞秒激光对通孔孔口进行倒角处理,激光垂直射向玻璃基板并沿通孔孔边缘向外螺旋扩展,进行逐层倒角,每层由内...
桥连封装方法和封装结构
本申请提供的一种桥连封装方法和封装结构,该方法包括提供设有第一导电柱的衬底;第一导电柱的一端与衬底的第一表面齐平,另一端埋设于衬底内。在衬底的第一表面一侧形成第一安装槽,在第一安装槽内贴装第一芯片。第一芯片包括主体部和连接于主体部的凸缘层,...
桥连封装方法和封装结构
本申请提供的一种桥连封装方法和封装结构,该方法包括提供设有第一导电柱的衬底;第一导电柱的一端与衬底的第一表面齐平,另一端埋设于衬底内。在衬底的第一表面一侧形成第一安装槽,在第一安装槽内贴装第一芯片。第一芯片包括主体部和连接于主体部的凸缘层,...
一种芯片封装方法及芯片封装结构
本发明公开了一种芯片封装方法及芯片封装结构,该芯片封装方法包括提供一封装基板,封装基板包括中心区、围绕中心区的第一边缘区以及围绕第一边缘区的第二边缘区,中心区上焊接有芯片,第二边缘区形成为胶黏区;于胶黏区上覆盖一阻隔层;于芯片远离封装基板的...
一种半导体芯片的封装方法及芯片封装件
本申请提供了一种半导体芯片的封装方法及芯片封装件,包括步骤:往所述芯片的四周及底部灌注封装胶,得到封装胶层;在所述封装胶层的顶部涂覆导电油墨,得到预制封装件;其中,所述导电油墨底部边缘与所述电极顶部边缘接触;在所述预制封装件的目标区域外涂覆...
半导体器件以及制作和使用FO-WLP上的焊料凸块的方法
半导体器件以及制作和使用FO‑WLP上的焊料凸块的方法。一种半导体器件具有半导体管芯和被沉积在半导体管芯上方的密封剂。互连结构被形成在半导体管芯和密封剂上方。第一凸块下金属化(UBM)焊盘被形成在互连结构上方。第一UBM焊盘是非圆形的。版膜...
一种使用FOW胶膜倒装上芯的方法及结构
本发明属于半导体集成电路封装测试领域,公开了一种使用FOW胶膜倒装上芯的方法及结构。将揭除正面保护膜和解背面UV膜后的晶圆,沿边缘划出,以便于正面贴FOW胶膜。随后通过整片晶圆倒膜翻转的方式,代替常规FC工艺逐个芯片倒装上芯的步骤,从而大大...
衬底布线方法和衬底封装结构
本申请提供的一种衬底布线方法和衬底封装结构,包括:提供具有第一半固化片的第一载具;第一半固化片包括第一分部和第二分部,第二分部高于第一分部。在第一分部形成第一布线层,在第二分部形成第二布线层。形成包覆第一布线层和第二布线层的第一介质层。在第...
一种喷墨对针方法及其点胶对位方法
本发明公开了一种喷墨对针方法及其点胶对位方法,涉及芯片喷胶封装技术领域,其包括以下步骤S1:喷墨头对位,包括S1A:控制喷墨头由预设原点坐标移动至打印位置并打印预设图案;S1B:视觉相机采集步骤S1A打印获取的图案数据;S1C:对步骤S1B...
一种车规级芯片的封装方法和车规级芯片的封装结构
本发明涉及芯片的技术领域,提供了一种车规级芯片的封装方法和车规级芯片的封装结构,包括:S1:提供芯板、功率模块和散热铜块;在所述芯板上制备第三布线层以形成第一半成品板;在所述第一半成品板上加工第一通槽和第二通槽;将所述功率模块安装到所述第一...
衬底互连封装方法和衬底互连封装结构
本发明提供了一种衬底互连封装方法和衬底互连封装结构,涉及芯片封装技术领域,该方法在基底线路介质层上形成光敏层,再去除部分光敏层后形成第一开口。然后在第一开口内形成堆叠线路介质层,再去除残留的光敏层形成第二开口,在第二开口内贴装第一芯片并形成...
衬底互连封装方法和衬底互连封装结构
本发明提供了一种衬底互连封装方法和衬底互连封装结构,涉及芯片封装技术领域,该方法在基底线路层上形成光敏层,再去除部分光敏层后形成第一开口。然后在第一开口内形成堆叠线路层,再去除残留的光敏层形成第二开口,在第二开口内贴装第一芯片并形成第一包封...
一种半导体芯片自动共晶机及方法
本发明公开了一种半导体芯片自动共晶机及方法,包括底座, 和用于输送基板的上输送组件,用于输送芯片的下输送组件,以及用于对基板和芯片共晶的第一共晶室和第二共晶室,所述上输送组件包括上活动框,和位于上活动框内的上放置板,所述上放置板上开设有多个...
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