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  • 本发明公开了一种离子注入机用晶片缺口定位组件, 包括:主体单元, 其包括离子注入机本体以及开设在离子注入机本体内的进料口;本发明利用第一伺服电机、齿板、调节杆、第三伺服电机、第一传动皮带、晶片本体、驱动齿轮、电动推杆和调节环, 使第一伺服电...
  • 探讨了用于确定与校正由晶片搬运机械手搬运的堆叠的晶片中的晶片间未对准的系统与技术。提供了一种改进的自动晶片居中系统, 其可用于确定与该堆叠的晶片相关联的最小圆, 其可接着用于确定该堆叠的晶片是否符合各种工艺要求和/或是否可进行居中校正以将这...
  • 本发明公开了一种混合键合的实现方法, 适用于芯片‑芯片、芯片‑晶圆的混合键合, 涉及半导体芯片封装制造领域。本发明先通过浸没、喷雾、气相沉积等方式在芯片或晶圆铜焊盘上形成含有丙三醇成分的液滴, 再通过初步预对准使焊盘间液滴接触形成毛细作用实...
  • 本发明的实施例提供了一种Mini‑LED或Micro‑LED封装切割道对准方法, 涉及Mini‑LED或Micro‑LED封装加工领域, 该方法包括:确认Mini‑LED或Micro‑LED封装X通道内待检测切割道及Y通道内待检测切割道;将...
  • 一种引线框架转移装置及冲切装置, 属于半导体引线框架搬运技术领域, 转移装置包括:升降板, 底部设有一对侧板, 侧板开设有安装孔, 其内滑动设有第一定位杆;转移组件, 分别设于侧板的两端, 包括顶板与穿过对应侧板的支撑杆;顶板外侧端面连接有...
  • 本发明涉及芯片制造技术领域, 提供了一种晶圆搬运装置及控制方法、晶圆加工设备、处理器, 在下压机构的下压部件和吸附机构的吸嘴均位于基座的同一侧, 当晶圆在工作台上下压的过程中, 晶圆的背面会产生工作台支撑的反作用力, 同时晶圆的正面会受到下...
  • 本发明涉及半导体技术领域, 公开了一种高兼容性变轨式的扇出封装晶圆轨道系统, 包括载舟晶圆上组件、载舟晶圆中组件、载舟晶圆下组件、以及不锈钢载板;所述载舟晶圆上组件由两组较长传送带组成, 所述传送带的一端安装有第一带轮驱动电机, 所述第一带...
  • 本发明涉及一种晶圆倒片机, 包括机箱, 机箱上设置有控制系统以及与控制系统信号连接的料盒定位模块、机器人搬运模块以及对中校准模块, 料盒定位模块包括负载端口以及料盒翻转机构, 料盒翻转机构中安装有FOUP晶圆料盒, 机箱的一侧设置有CST晶...
  • 本发明提供一种光刻机的晶片传送装置, 涉及半导体材料生产技术领域, 包括:对接座;所述对接座与机械臂固定连接, 对接座外部连接有支撑架, 支撑架外部固定连接有中空圆座;所述中空圆座内部环绕安装有六个内转块, 内转块外部连接有拉杆, 拉杆位于...
  • 本发明公开了一种物料搬运系统及其异常控制方法, 异常控制方法包括:预先存储针对目标控制区域的至少一组互不干涉的可通行方向组, 所述可通行方向组是在区域控制器故障时, 能够被同时授权天车通行且不会在所述控制区域内发生路径冲突的一个或多个行驶方...
  • 本发明涉及电池片加工技术领域, 尤其涉及一种太阳能TOPCon电池片加工用翻边装置, 包括设置在基座下方的支撑横板, 以及固定在支撑横板和基座之间的支撑柱, 基座上设置有用于定位电池片并翻转的定位翻边机构, 定位翻边机构包括分别滑动设置于支...
  • 本发明涉及半导体搬运设备技术领域, 尤其是指一种高架移栽车搬送方法及系统, 包括以下步骤:S01、将行走组件沿输送方向经过数个拼接安装的轨道段, 以使得行走组件平稳连续的移动至预定位置;S02、搬运机构设置有抓取位置和支撑位置, 采用搬运机...
  • 本发明涉及上下料设备技术领域, 提供了一种晶圆上下料设备, 包括料台和位于料台上的托盘, 所述托盘设有对称的两个, 两个所述托盘在料台上通过一组升降机构同步升降, 两个所述托盘上均放置有能够取出的料架, 两个料架分别用于上料和下料;本发明通...
  • 本发明涉及光伏生产设备技术领域, 公开一种防吸合的插片机上料装置, 包括插片机主体, 设置于插片机主体内部的水槽, 设置于水槽内侧的料篮, 还包括设置于料篮底部的喷流机构, 以及设置于水槽内部靠近料篮处用于产生水流和气泡的混流机构;喷流机构...
  • 本发明公开一种光伏组件的双工位联动搬运平台, 包括:底板, 所述底板的上表面可活动地安装有2个基板, 一个所述基板上表面安装有一气缸2个所述基板各自的上方均设置有一矩形框, 每个所述矩形框上表面的左、右两端均对称安装有左载块、右载块, 所述...
  • 本发明提供一种插片自动退料框的方法, 包括以下步骤:获取待插片的晶棒长度及硅片在皮带上的缓存距离;获取所述皮带的移动长度;当所述皮带的移动长度≥所述缓存距离+所述晶棒长度+补偿值时, 进行自动退料框。本发明的有益效果是可自动检测料框中的硅片...
  • 本发明涉及太阳能电池技术领域, 尤其涉及一种石墨舟卡点装置, 包括若干个沿纵向等间隔布置的石墨舟主体以及用于分别固定若干个石墨舟主体的卡点机构, 若干个石墨舟主体以两个为一组设置成多组, 且石墨舟主体的数量设置为偶数, 卡点机构包括一体成型...
  • 本发明公开了一种用于晶圆清洗装置的从动机构及晶圆清洗装置, 包括:基座, 内部中空形成安装腔;转动轴, 通过旋转传动组件可转动地连接于安装腔, 第一端自基座伸出;晶圆承托单元, 同心同轴地连接于转动轴, 用于承托晶圆;结构件, 与基座密封连...
  • 本公开涉及半导体制造技术领域, 具体涉及一种半导体机台控制方法、装置、介质及产品, 方法包括:根据训练时序数据训练初始权重预测模型至权重预测误差不大于预设目标值, 得到目标权重预测模型;将测试时序数据输入目标权重预测模型, 预测目标权重;测...
  • 本发明公开了一种具有图形结构的晶圆湿法干燥方法, 包括步骤:对具有图形结构的晶圆进行湿法清洗, 湿法清洗完成后, 图形结构之间的间隔区域中填充有清洗液。采用流动超临界气体对晶圆进行干燥, 在干燥过程中, 超临界气体的流动方向和图形结构的延伸...
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