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  • 本发明提供一种能够深入芯片间的每个间隙进行彻底清洁,从而提高清洁效果与效率,同时缩短清洁时间的清洗半导体芯片间隙的方法,用于对以助焊剂固定在基板上,经切割后于外围四周形成边缘路径,且于内形成棋盘状的间隔路径的多个芯片的间隙,其包括下列步骤:...
  • 本发明公开了一种长寿命高压放电灯,包括高压放电灯本体和可拆卸辅助灯本体,高压放电灯本体包含放电灯发光单元和波纹结构金属箔供电单元,金属箔表面涂覆铂/银基抗氧化涂层,缓解热应力并延长寿命;辅助灯本体内设多层介质反射膜及抛物面反射面,结合微棱镜...
  • 本发明提供了一种质谱仪用真空馈通装置、加工方法及质谱仪,包括:金属电极、陶瓷板和PCB板;所述陶瓷板连接在所述PCB板的表面;其中,所述陶瓷板和所述PCB板上对应开设有DIP焊盘;所述金属电极穿过在所述陶瓷板和所述PCB板的DIP焊盘,并焊...
  • 本发明公开了一种基于轴向电势差的四极杆碰撞池离子清洗方法,该方法在四极杆碰撞池内建立恒定的轴向电势差,形成从入口到出口的连续电位梯度;样品经电离和质量选择后,特定质荷比的初级离子进入碰撞池,与碰撞气体发生碰撞诱导解离产生产物离子,产物离子在...
  • 本发明公开了仪器分析技术领域的一种用于ICP‑MS的进样装置,包括进液机构和雾化机构;进液机构用于将液体样品输入至雾化机构,雾化机构包括同心雾化器和雾化室,同心雾化器与雾化室连通,雾化室连通有废液桶和ICP炬管;同心雾化器与雾化室连通路径上...
  • 本发明提供了质谱分析装置和方法,质谱分析装置包括电喷雾模块、质谱分析仪和底座,所述质谱分析仪设置在所述底座上;所述电喷雾模块包括毛细管、基座和导电探针,所述毛细管插入所述基座内,基座的外径大于毛细管的外径;支架包括:第一承载部上具有多个并列...
  • 本发明属于半导体设备技术领域,具体涉及一种抑制高温预反应的混合腔体。旨在优化混合腔体的温场调控结构从而抑制副反应的发生。混合腔体包括混合腔主体和匀气件底座。混合腔主体设于匀气件底座上。混合腔主体包括进气口、多个注水端、多个出水端、通道隔板和...
  • 本发明公开了一种硅三维蚀刻装置及蚀刻方法,涉及硅刻蚀技术领域。本发明包括预输送组件,包括加工箱,刻蚀组件,包括固定在加工箱外侧壁的刻蚀箱,安装定位组件,包括固定在加工箱下端面的操作箱,锁紧吸附组件,包括固定在刻蚀箱外底部位置且与之内部相接通...
  • 本发明公开了一种扫描电子显微镜以及其使用方法,属于电子显微镜领域,聚光镜的第一永磁体位于第一外极靴内部,第一内极靴与第一外极靴之间形成第一开口以及第二开口,第一开口以及第二开口沿聚光镜的光轴设置,物镜的第二永磁体安装于第二外极靴以及第二内极...
  • 本发明公开了一种用于离子注入机引出电极的双反馈控制系统及控制方法。用于离子注入机引出电极的双反馈控制系统,包括:控制模组;驱动器,驱动器与控制模组连接;移动机构,包括移动平台和驱动装置,驱动装置与移动平台驱动连接,驱动装置包括电机、传动机构...
  • 本发明提供了一种电子束量测设备的物镜对准方法与电子束量测设备。其中电子束量测设备的物镜对准方法包括:在预设的各偏转线圈的电流情况下,在物镜的起始电流值的基础上添加周期振荡电流以获取电子束所生成的图像的实际图像偏移量;根据预设的各偏转线圈的电...
  • 本发明公开了一种离子注入机及控制方法。离子注入机包括:材料源,用于提供气态反应物;离子源弧室,用于使气态反应物形成等离子体;引出电极,用于从离子源弧室引出离子束;供气系统,包括气源和出气管,气源与出气管相连,气源与出气管之间设置有第一流量计...
  • 本发明提供了一种慢波结构、太赫兹行波管装置以及通信装置。本发明提供的慢波结构通过将第一子慢波结构与第二子慢波结构巧妙结合,能够有效解决现有技术中输出功率不足的技术问题。具体地,第一子慢波结构通过预设的强耦合阻抗对电子束进行群聚调制,从而提高...
  • 本发明属于微波真空电子器件制造领域,具体涉及一种模块化行波管电子枪陶瓷环。本发明将整个电子枪瓷环分解为共计n个模块化瓷环,各模块化瓷环在轴向上首尾相接的拼接构成;以及在模块化瓷环的衔接端面构型使其不在一个水平面形成口径面的限位作用,使其后期...
  • 本发明公开了一种像增强器的自动化制管设备,真空腔室的壳体包括阳极入口、阴极入口和成品出口,阳极支座、阴极支座和成品支座固定在壳体的装配通道中,从阳极入口输入的阳极载具坐落在阳极支座上,从阴极入口输入的阴极治具坐落在阴极支座上;压封机构下端的...
  • 本发明公开了一种小型断路器,涉及低压电器技术领域,由断路器模块以及控制模块互配拼装而成,断路器模块还包括用于安装配件的壳体,该壳体内设置有脱扣机构以及磁系统,磁系统包括与脱扣机构相对设置的动铁芯,壳体内还包括有跟随机构,跟随机构包括设置于磁...
  • 本发明公开了一种热磁脱扣调节机构及断路器,包括磁调节杆、热调节杆以及磁调节旋钮和热调节旋钮,所述热调节杆与所述磁调节杆可活动安装,并通过调节杆轴固定,所述调节杆轴的两端固定断路器的基座上,所述热调节上还设有调节槽,所述热调节旋钮安装在所述调...
  • 本申请提供一种动触头组件和断路器,涉及开关技术领域,用于延长转轴的使用寿命,降低断路器的成本。动触头组件包括转轴、动触头、隔离架和弹性件。其中,动触头设置于转轴。动触头具有接触位置和脱离位置。动触头处于接触位置时,动触头用于与断路器的静触头...
  • 本发明提供一种安全的低压断路器停送电绝缘操作装置,涉及安全配电工具技术领域。该新型低压断路器停送电绝缘操作装置,包括作为操作使用的绝缘操作杆,所述绝缘操作杆内壁一侧与外部贯通,所述绝缘操作杆内壁另一侧中部固定连接有内导向杆,所述内导向杆外壁...
  • 一种断路器,包括:壳体;静触头;动触头;脱扣组件;漏电保护组件,包括串联连接的漏电保护单元和漏电保护开关,漏电保护开关能够在闭合位置和断开位置之间切换,当漏电保护开关处于闭合位置时,漏电保护单元经由漏电保护开关电连接到主回路,使得漏电保护单...
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