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  • 本发明公开了一种氧化镓的外延生长方法, 包括在反应腔室内设置氧电离装置, 控制氧电离装置的输出功率不低于100瓦, 以在氧化镓衬底上进行氧化镓生长。控制反应腔室内温度为不超过1000℃的第一温度, 压力为不超过200mbar的第一压力, 控...
  • 本发明公开了一种氧化镓的异质外延生长方法, 该氧化镓的异质外延生长方法包括在反应腔室内设置氧电离装置。控制反应腔室内的温度为不超过500℃的第一温度, 压力为不低于100mbar的第一压力, 向反应腔室内通入氧源和镓源, 控制氧源流量不低于...
  • 本发明涉及纳米材料技术领域, 具体公开了一种在范德华衬底HOPG上异质外延大面积单层三碘化铬磁性半导体薄膜的方法, 包括:A级HOPG(0001)面为衬底, 对其机械解理, 扫描隧道显微镜检测解理后表面质量, 超高真空退火除气, 测试生长前...
  • 本发明涉及金刚石材料制备技术领域, 特别是涉及基于Ir衬底异质外延与马赛克拼接的单晶金刚石制备方法, 包括以下步骤:选择基底衬底并进行表面处理, 在所述基底衬底表面沉积铱金属薄膜形成化学惰性且匹配良好的Ir衬底;在微波等离子体化学气相沉积反...
  • 本发明公开了一种重掺硅单晶衬底制备硅外延片的方法及形成的外延片, 所述方法为:以碳氧共掺的重掺硼或磷的直拉单晶硅片为衬底, 经外延高温氢气预处理后, 再升温至外延温度进一步生长外延层制得高质量硅外延片。所述高温氢气预处理步骤为以40℃~60...
  • 本发明属于材料科学和宝石加工技术领域, 尤其涉及一种基于辐照技术的黄色钻石毛坯制备方法, 选取除晶种面外无明显杂质的高温高压(HPHT)合成无色钻石毛坯, 将其放入高能电子束设备中按照一定剂量进行辐照, 随后将辐照后的钻石毛坯取出, 并通过...
  • 本发明提供了一种新型金刚石均温生长台, 属于金刚石生长装置技术领域。本发明包括自下而上依次设置的冷却结构、导热结构、衬底托和衬底;衬底用于供金刚石生长, 衬底托的内部集成蒸汽腔均热板, 蒸汽腔均热板的外壳材料采用高导热材料, 其内部工作介质...
  • 本发明公开了一种水冷式晶棒熔融的高频感应加热装置。一种水冷式晶棒熔融的高频感应加热装置, 包括高频线圈;高频线圈的开口侧的两端分别通过螺栓可拆卸连接两个水冷电极;还包括水冷法兰, 水冷法兰上开设有用于水冷电极延伸且穿过的穿孔, 穿孔与水冷电...
  • 本发明公开了一种碘离子掺杂的无机钙钛矿晶体材料及其制备方法, 属于光电晶体材料技术领域, 碘离子掺杂的无机钙钛矿晶体的化学式为CsPb2IxBr5‑x, 其中x为0~0.5。本发明采用上述的一种碘离子掺杂的无机钙钛矿晶体材料及其制备方法, ...
  • 本发明涉及损伤修复技术领域, 公开了一种单晶氧化铝及其表面划痕修复方法与应用。所述修复方法包括以下步骤:将单晶氧化铝放置到运动平台上;向内炬管和外炬管中分别通入惰性气体;向线圈中提供射频电源, 将上述通入的惰性气体激发成等离子体, 所述等离...
  • 本发明提供了一种碳化硅外延结构及其制备方法, 属于半导体技术领域, 包括自下向上依次布置的碳化硅衬底、渐变缓冲层、生长中断区、常规缓冲层及漂移层;渐变缓冲层和生长中断区借助掺杂浓度梯度变化而产生晶格应变, 以降低基平面位错和堆垛层错密度。本...
  • 本发明公开了一种半绝缘碳化硅外延片及制备方法、半导体器件及制备方法、功率模块、功率转换电路和车辆, 半绝缘碳化硅外延片包括:衬底;位于衬底一侧的至少一层半绝缘碳化硅外延层;位于至少一层半绝缘碳化硅外延层远离衬底一侧的第一外延层。本发明可以有...
  • 本发明公开了一种晶体生长装置, 涉及晶体生长技术领域, 所述晶体生长装置包括:气体输送结构、炉体、保温层和长晶机构, 所述气体输送结构包括进气结构和抽气结构, 所述保温层设于所述炉体内, 所述保温层限定出安装空间, 所述长晶机构设于所述安装...
  • 本发明公开了一种新型氮化镓反应室加热结构及其使用方法, 包括:高温炉(103)、载台(106)和镓舟(101);还包括:热电偶A(102), 所述热电偶A安装在高温炉的侧壁用于检测炉内温度;石英罩(104), 所述石英罩将镓舟的下部和载台笼...
  • 一种化合物碲酸钪铷二阶非线性光学晶体及其制备方法和用途, 属于光学晶体材料技术领域。将含钪化合物、含铷化合物和含碲化合物混合, 采用固相反应法制得所述化合物碲酸钪铷, 将所得化合物碲酸钪铷单相多晶粉末或所得化合物碲酸钪铷单相多晶粉末与助熔剂...
  • 本发明提供一种硫酸钙晶须的制备方法, 包括以下步骤:S1、原料预处理:选取脱硫石膏或磷石膏作为原料;对脱硫石膏, 依次采用筛分去除大颗粒杂质、球磨细化颗粒、酸洗去除亚硫酸钙与粉煤灰, 使预处理后脱硫石膏中二水石膏含量≥95%, 且不含亚硫酸...
  • 本发明公开了一种π共轭有机酸胍盐双折射光学晶体及其制备方法和应用, 属于无机化学材料技术领域, 化学式为[C(NH2)3]2[C12H6O4]·4H2O, 属于单斜晶系, 其晶体空间群为P21/c;[C(NH2)3]2[C12H6O4]·4...
  • 本发明属于多功能光电材料技术领域, 具体涉及有机‑无机杂化铜基卤化物晶体材料及制备方法和应用。所述有机‑无机杂化铜基卤化物晶体材料的化学式为R‑2MePICu2X4、S‑2MePICu2X4、(R‑2MePI)4Cu4X12或(S‑2MeP...
  • 本发明公开了YAG系列激光晶体的无胶键合方法及键合激光晶体组件, YAG系列激光晶体的无胶键合方法, 包括:活化、真空加热、真空光胶和热键合, 将所述光胶晶体组件置于真空条件下进行热键合, 得到YAG系列键合激光晶体组件。本申请中先对待键合...
  • 本发明公开了一种热泵能提纯炉, 涉及热泵技术领域, 包括:炉体、储罐、减压器、压缩机、第一热交换器。炉体内布置有换热管路;储罐用于储存换热介质;减压器用于接收来自储罐或换热管路的换热介质;压缩机的入口与减压器相连, 用于抽出减压器内蒸汽, ...
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