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微机电器件及其制造方法
本发明涉及微机电器件及其制造方法。该微机电器件包括有器件层以及第一梳状结构和第二梳状结构。第一梳状结构的底部具有比器件层的底面的z坐标和第二梳状结构的底部的z坐标两者更大的z坐标。第二梳状结构的顶部具有比器件层的顶面的z坐标和第一梳状结构的...
一种晶圆级封装盖帽深腔中吸气剂图形化制备方法
本发明涉及一种晶圆级封装深腔吸气剂图形化制备方法,包括以下步骤:S2、在盖帽晶圆上刻蚀深腔;S3、在盖帽及深腔内喷涂光刻胶;S4、在光刻胶上覆盖第一金属掩膜版并曝光;S5、经过显影后在深腔中形成上小下大的锐角梯形图形凹槽;S6、将第二金属掩...
用于连续式血糖监测芯片的封装结构及其工艺
本发明公开了一种用于连续式血糖监测芯片的封装结构及其工艺,通过3D异质整合技术,将生物传感器芯片、信号处理模块、无线传输单元和电源管理模块集成于单一微型封装体内;包括:对硅晶圆进行TSV加工,形成孔径5‑10μm、深宽比10 : 1的通孔,...
一种红外焦平面阵列MEMS芯片及其制备方法
本发明公开了一种红外焦平面阵列MEMS芯片及其制备方法,所述芯片包括读出电路晶圆、设置于其上的吸气剂模块以及位于吸气剂模块上方的悬浮像元结构。其制备方法的主要步骤在于:在形成具有间隙环和顶部微孔的介质结构后,于高温下使低熔点材料熔化流平,并...
含MgH2的碳化锆基MOF复合材料及其制备方法与应用
本发明涉及储氢材料技术领域,尤其涉及含MgH2的碳化锆基MOF复合材料及其制备方法与应用。碳化锆基MOF复合材料包括C/Zr‑BTC和MgH2,C/Zr‑BTC是由Zr‑BTC煅烧碳化获得,该MOF复合材料的比表面积为1105~1623m2...
携氧增效剂及其制备方法和其在地下超临界水煤气化中的应用
本发明提供了一种携氧增效剂及其制备方法和其在地下超临界水煤气化中的应用。该制备方法包括:使碱金属碳酸盐、双氧水和复合稳定剂混合,形成第一体系,并控制第一体系的pH值为7~9;将第一体系加入至包含有硅氧烷、油包水型乳化剂和分散剂溶液的分散液中...
一种从全氟碘代烷烃中回收单质碘的方法
本发明公开了一种从全氟碘代烷烃中回收单质碘的方法,一种从全氟碘代烷烃中回收单质碘的方法,包括以下步骤:(1)将全氟碘代烷烃和碱性溶液混合成反应溶液,加热搅拌形成脱碘液;(2)利用酸性溶液将脱碘液的pH调节至6~7,蒸馏后得到无机碘盐固体;(...
一种熔硫釜、硫泡沫增浓熔硫装置和增浓熔硫方法
本发明公开了一种熔硫釜、硫泡沫增浓熔硫装置和增浓熔硫方法,属于焦化行业煤气净化技术领域。增浓熔硫方法包括:1)对硫含量质量占比为15%‑25%的低浓度硫泡沫进行过滤,分离得到硫膏和脱硫清液;2)将得到的硫膏调配成硫含量质量占比为75%‑85...
复合材料及其制备方法、薄膜、光电器件和显示装置
本申请公开了一种复合材料及其制备方法、薄膜、光电器件和显示装置,所述复合材料包括无机粒子和金属氮化物内嵌富勒烯。本申请所述的复合材料具有较高的稳定性。
一种空间匹配的供体受体型氮化碳聚合物及其制备方法与应用
本发明公开一种空间匹配的供体受体型氮化碳及其制备方法与应用,属于半导体光催化剂制备技术领域。本发明包括S1:将三聚氰胺与3‑氨基‑1, 2, 4‑三唑溶解于热水中,并进行水热反应,收集沉淀产物并干燥后,得到前驱体;S2:对所述步骤S1得到的...
一种采用有机-无机杂化膜制备水合肼方法
本发明属于水合肼制备领域,具体涉及一种采用有机‑无机杂化膜制备水合肼方法。丁酮连氮与水进行水解反应,采用有机‑无机杂化膜将水解产物水合肼分离,促进水解反应正向进行。本发明利用有机‑无机杂化膜代替传统反应塔及时分离出反应产物丁酮和水合肼。过程...
一种外尔半金属催化剂及其制备方法和应用
本发明涉及一种外尔半金属催化剂及其制备方法和应用,在石英管中放入片状钽箔和磷粉作为原料,加入碘粉作为输运剂,密封石英管;将石英管置于装有干冰与丙酮溶液的烧杯内,将石英管进行抽真空处理;将密封石英管放入管式炉中,升温至反应温度800℃‑900...
一种由金属有机框架制备钴锰双金属磷化物的方法
本发明为一种由金属有机框架制备钴锰双金属磷化物的方法。该方法包括如下步骤:将钴盐和锰盐的混合溶液加入到双金属CoMn‑ZIF‑67溶液混合,然后置于有聚四氟乙烯内衬的反应釜中,于100‑150 ℃条件下保持50‑90 min,得到CoMn‑...
一种利用高碳酸盐磷矿生产湿法磷酸的方法
一种利用高碳酸盐磷矿生产湿法磷酸的方法,先将高碳酸盐磷矿与加入硫酸的湿法磷酸进行预反应,然后在第一浓密机中用循环酸泵冲散预反应产生的泡沫,将第一浓密机溢流的含钙离子的磷酸加入硫酸沉淀钙离子,第一浓密机底流稠浆是脱钙后的含磷矿物,可继续用于湿...
一种采用离心萃取技术制备净化磷酸的方法及系统
本发明公开了一种采用离心萃取技术制备净化磷酸的方法及系统,解决了现有的净化磷酸生产技术无法同时满足高纯度效果和低成本的要求。本发明包括如下步骤:S1:初酸浓缩,过滤得到浓缩粗酸;S2:采用脱硫剂对S1得到的浓缩粗酸进行脱硫;S3:采用脱氟剂...
一种采用膜法用于生产高纯度磷酸的方法
本发明涉及磷酸净化技术领域,尤其涉及一种采用膜法用于生产高纯度磷酸的方法,包括将原水输送至陶瓷膜系统进行过滤,输送至陶瓷膜产液箱进行缓冲;在陶瓷膜产液箱的下游依次设置三次纳滤和离子交换树脂,滤液依次经过三次纳滤和离子交换树脂吸附后输出至储罐...
一种生物炭源溶解性有机质调控制备多孔羟基磷灰石的方法
本发明公开了一种生物炭源溶解性有机质调控制备多孔羟基磷灰石的方法,制备低温热解生物炭,将低温生物炭与纯水置于球磨机中混匀球磨,然后置于超声机中超声,过滤得到生物炭材料和溶解性有机质提取液;钙源粉末与溶解性有机质提取液一同置于球磨机,在球磨初...
一种高纯焦磷酸钾的制备方法
本发明公开了一种高纯焦磷酸钾的制备方法,其将磷酸和液钾混合后加入复合调理剂,继续保温反应合格后降温,加入双氧水反应,最后经过滤、喷入聚合炉中一步完成干燥和聚合,制备得到高纯焦磷酸钾;其中复合调理剂由谷氨酸和柠檬酸按照质量比为1 : 1组成。...
磷酸锰铁锂及其制备方法、碳包覆的磷酸锰铁锂、电池单体、用电装置
本申请公开了一种磷酸锰铁锂及其制备方法、碳包覆的磷酸锰铁锂、电池单体、用电装置。一种磷酸锰铁锂的制备方法,包括:将含有锰元素和铁元素的碱式盐、含有磷元素和锂元素的酸式盐和水的物料进行混合处理后,在第一预设条件下进行固液中和反应,得到磷酸锰铁...
一种钛废液制备碳氮共掺杂型磷酸铁锂正极材料的制备方法、锂离子电池
本发明公开了一种钛废液制备碳氮共掺杂型磷酸铁锂正极材料的制备方法、锂离子电池,所述制备方法包括以下步骤:S1,将铁源、磷源与去离子水混合,然后加入含钛废液,搅拌均匀后调节pH为2‑7,加热搅拌、干燥得到粉体,将所述粉体焙烧得到钛改性的FeP...
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