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最新专利技术
  • 一种光罩辐射型线宽差异的改善方法
    一种光罩辐射型线宽差异的改善方法_兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司_202511079890.4
    本发明公开了一种光罩辐射型线宽差异的改善方法， 属于半导体光罩技术领域。本发明通过选取一片光罩基板， 依次经过预设曝光量的曝光、显影、蚀刻以及去光阻处理， 获得光罩测试片；测量光罩测试片中十字图形阵列中每个十字图形的线宽， 根据光罩测试片中...
    2026-04-04
  • 用于光刻设备的防护膜隔膜
    用于光刻设备的防护膜隔膜_ASML荷兰有限公司_202511040705.0
    提供了一种用于光刻设备的防护膜隔膜， 所述隔膜包括未被覆盖的碳纳米管。还提供一种再生防护膜隔膜的方法， 所述方法包括分解前体化合物， 并且将至少一些分解产物沉积到防护膜隔膜上。还提供一种降低防护膜隔膜的蚀刻速率的方法， 所述方法包括在防护膜...
    2026-04-04
  • 大曝光场的光刻技术实现方法及芯片级芯片互连方法
    大曝光场的光刻技术实现方法及芯片级芯片互连方法_北京中科彼岸集成电路科技有限公司_202510840429.X
    本申请公开了一种大曝光场的光刻技术实现方法、芯片级芯片互连方法以及光刻设备。该大曝光场的光刻技术实现方法应用于光刻设备， 光刻设备包括0.1至2.5倍缩小倍率的投影系统， 包括：将有图形的待曝光衬底装载至载物台， 通过衬底上的对准标记进行对...
    2026-04-04
  • 导孔层版图及导孔层辅助图形添加方法
    导孔层版图及导孔层辅助图形添加方法_重庆芯联微电子有限公司_202510691825.0
    本发明提供了一种导孔层版图及导孔层辅助图形添加方法， 属于半导体领域。该导孔层辅助图形添加方法包括获取导孔层的原始版图， 所述导孔层包括若干导孔图形；在优先顺序排列高的两个目标图形之间添加第一辅助图形， 所述第一端部和第二端部分别靠近优先顺...
    2026-04-04
  • 用于形成膜密度提高了的抗蚀剂下层膜的组合物
    用于形成膜密度提高了的抗蚀剂下层膜的组合物_日产化学株式会社_202511233588.X
    本发明的课题是提供用于形成膜密度、硬度、杨氏模量、扭曲耐性(图案的弯曲耐性)高， 由此具有高的蚀刻耐性的抗蚀剂下层膜的抗蚀剂下层膜形成用组合物。解决手段是一种抗蚀剂下层膜形成用组合物， 其包含具有下述式(1)所示的重复单元结构的酚醛清漆树脂...
    2026-04-04
  • 包含蒽基查尔酮光敏剂的感光树脂组合物及应用
    包含蒽基查尔酮光敏剂的感光树脂组合物及应用_湖南初源新材料股份有限公司_202510943111.4
    本发明公开了一种包含蒽基查尔酮光敏剂的感光树脂组合物及应用。所述感光树脂组合物包括有蒽基查尔酮光敏剂， 所述蒽基查尔酮光敏剂至少包含一种通式(Ⅲ)所示的蒽类衍生物；其中：R1为C1‑C5的直链或支链烷基、N‑甲基吡咯‑2‑基、呋喃‑2‑基、...
    2026-04-04
  • 一种紫外光钝感陶瓷粉末及基于其制备的高精度陶瓷光固化浆料
    一种紫外光钝感陶瓷粉末及基于其制备的高精度陶瓷光固化浆料_武汉理工大学_202511228788.6
    本发明公开了一种紫外光钝感陶瓷粉末及基于其制备的高精度陶瓷光固化浆料， 所述陶瓷粉末由硅烷偶联剂接枝于陶瓷粉体后， 再与酰基化改性的具有磺酸盐基团的紫外光钝感色素进行取代反应并后处理得到。本发明的紫外光钝感陶瓷粉末能够实现粉体本征光学性能调...
    2026-04-04
  • 感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件
    感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件_艾曲迪微系统股份有限公司_202511226177.8
    本发明提供一种感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件。本发明的感光性树脂组合物， 其含有：(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)聚合性单体、(C)光聚合引发剂、(D)环化催化剂、和...
    2026-04-04
  • 一种高韧性的感光树脂组合物及其制备方法
    一种高韧性的感光树脂组合物及其制备方法_中山大简科技有限公司_202511155213.6
    本发明公开一种高韧性的感光树脂组合物及其制备方法， 高韧性的感光树脂组合物按重量份数包括：环氧树脂低聚物52‑58份；丙烯酸酯低聚物22‑28份；聚氨酯丙烯酸酯4‑6份；表面接枝丙烯酸酯基团的DOQDS0.3‑0.4份表面改性纳米二氧化硅1...
    2026-04-04
  • 抗蚀剂组成物及图案形成方法
    抗蚀剂组成物及图案形成方法_信越化学工业株式会社_202510388280.6
    本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中， 感度、分辨率及LWR优良、稳定且操作也容易的抗蚀剂组成物， 以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物， 含有锌四核团簇...
    2026-04-04
  • 正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜
    正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜_DIC株式会社_202510246509.2
    本发明提供一种正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜， 所述正型感光性树脂组合物含有下述的成分A～成分C。成分A：酚醛清漆型酚树脂， 包含衍生自间甲酚和/或邻甲酚的酚结构单元a1、衍生自乙醛的醛结构单元a2、以...
    2026-04-04
  • 耐黄变负性厚膜光刻胶组合物的制备方法与应用
    耐黄变负性厚膜光刻胶组合物的制备方法与应用_儒芯微电子材料(上海)有限公司_202411221184.4
    本发明涉及光刻胶技术领域， 具体是指耐黄变负性厚膜光刻胶组合物的制备方法与应用， 包括如下百分比重量份的组分：SU8树脂45％‑70％、脂环族环氧树脂7％‑30％、交联剂5‑10％、光致产酸剂2‑10％、溶剂10‑20％， 还包括流平剂， ...
    2026-04-04
  • 压印机构及光栅成型设备
    压印机构及光栅成型设备_业桓科技(成都)有限公司_202511307767.3
    本申请涉及光学元件制备技术领域， 旨在解决纳米压印时在基材表面残留较多光刻胶的技术问题， 提供一种压印机构及光栅成型设备。压印机构包括滚压件。滚压件被构造为可卷绕且被配置为沿其延伸方向滚动刮印。滚压件包括多个压印结构。多个压印结构沿延伸方向...
    2026-04-04
  • 掩模版制版数据生成方法、制版工具、介质及设备
    掩模版制版数据生成方法、制版工具、介质及设备_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202410427755.3
    本发明提供一种掩模版制版数据生成方法、制版工具、介质及设备， 通过对待排版版图做唯一化命名， 然后开发脚本自动生成掩模版制版工具中版图相关信息， 可显著节省人力， 提高效率， 并降低手动操作导致的错误。
    2026-04-04
  • 一种硅化钼层干法刻蚀方法
    一种硅化钼层干法刻蚀方法_中国科学院上海光学精密机械研究所_202511001320.3
    该发明提供一种硅化钼层干法刻蚀方法， 涉及半导体掩模版领域。该方法用于对相移掩模版中的硅化钼相移层进行干法刻蚀图形转移。其包括以下步骤：1、将图形化的硅化钼层放入ICP干法刻蚀机；2、向刻蚀腔体中通入混合后的SF6和Ar气体；3、通过控制I...
    2026-04-04
  • 可投影底座及电子设备
    可投影底座及电子设备_深圳市星桐科技有限公司_202511107012.9
    本申请涉及可投影底座及电子设备。所述可投影底座包括外壳、磁性件和投影模组。外壳包括安装部和视窗部。所述视窗部包括开口。当所述可投影底座放置于投影表面时， 所述视窗部相对于所述安装部靠近所述投影表面。磁性件设置于所述外壳内， 用于将外部设备吸...
    2026-04-04
  • 极轴对准方法、成像设备和计算机程序产品
    极轴对准方法、成像设备和计算机程序产品_苏州振旺光电有限公司_202511143491.X
    本申请提供一种极轴对准方法、成像设备和计算机程序产品， 涉及天文摄影领域。该极轴对准方法包括：控制成像设备的光学模块在第一高度角下， 绕成像设备的两轴对位装置的水平旋转轴旋转所得的不同方位角下， 获取至少两张天体图像；基于至少两张天体图像和...
    2026-04-04
  • 一种防水型加热镜头模组
    一种防水型加热镜头模组_湖北云泰时代光学仪器有限公司_202511209384.2
    本发明提供了一种防水型加热镜头模组， 包括座体以及设置在座体内的透镜组；透镜组包括设置在座体一侧的外镜片；座体的一侧开设有嵌槽， 第三密封圈设置在嵌槽内；外镜片一侧嵌入至嵌槽中；压盖与座体螺纹连接；压盖套设至外镜片上， 压盖压紧外镜片远离座...
    2026-04-04
  • 一种闪光灯模组及电子设备
    一种闪光灯模组及电子设备_华为技术有限公司_202410430504.0
    本申请实施例提供了一种闪光灯模组及电子设备， 涉及电子设备领域， 用于改善具有光斑调节功能的闪光灯调节范围有限、结构占用体积大的问题。该闪光灯模组包括照明光源、准直装置和可变焦透镜；其中， 照明光源用于形成向准直装置投射的照明光束；准直装置...
    2026-04-04
  • 一种宽带非线性频率转换器和制备方法
    一种宽带非线性频率转换器和制备方法_上海交通大学_202511293406.8
    本发明公开了一种宽带非线性频率转换器， 该转换器自上至下包括二氧化硅涂覆层、x切铌酸锂薄膜层、二氧化硅缓冲层、硅衬底层， x切铌酸锂薄膜层上有弱弯曲脊型波导， 弱弯曲脊型波导的弯曲角度不大于5度。本发明在铌酸锂薄膜上通过弱弯曲波导的形式， ...
    2026-04-04
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