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掩模结构参数的优化方法、装置和计算机可读存储介质
本申请提出一种掩模结构参数的优化方法、装置和计算机可读存储介质。该掩模结构参数的优化方法基于入射光遇到掩模后的传播路径, 构建与待优化的第一掩模结构参数相关联的第一衍射场分布, 根据成像系统的成像模型, 构建第一衍射场分布经成像系统后成像的...
非等边矩形光罩容器
本发明关于一种非等边矩形光罩容器, 其包含单层盒与双层盒的非等边矩形光罩容器, 单层盒的盒体与双层盒的外盒, 两者的长度与宽度为非等边矩形光罩的长度与宽度乘以1.25至2.5。双层盒的内盒的长度与宽度为非等边矩形光罩的长度与宽度乘以1.05...
用于确定掩模图案的方法、设备和存储介质
根据本公开的示例实施例提供了用于确定掩模图案的方法、设备和存储介质。该方法包括:将目标图案划分为多个区域;基于目标图案, 分别确定多个区域中的每个区域的掩模图案;确定多个区域之间的多个重叠区域;以及通过对在多个重叠区域中的相应掩模图案的图案...
监控晶圆边缘曝光直边去边宽幅的掩模版及其使用方法
本申请公开了一种用于监控晶圆边缘曝光直边去边宽幅的掩模版及方法。本申请提供的掩模版包含带标尺图案的图形层。监控方法包括:在晶圆上涂布光刻胶;使用该特殊掩模版对覆盖待形成晶圆边缘曝光直边区域的目标区域进行曝光, 形成标尺图案的潜像;对晶圆执行...
光学临近修正方法、装置、电子设备及介质
本申请提供一种光学临近修正方法、装置、电子设备及介质, 涉及半导体技术领域。该方法包括:获取设计版图;以设计版图中任一通孔图形为目标通孔图形, 确定距离目标通孔图形最近的邻近图形;确定目标通孔图形的第一目标边和邻近图形的第二目标边;根据第一...
一种掩模版图优化方法、设备、存储介质以及程序产品
本申请实施例提供了一种掩模版图优化方法、设备、存储介质以及程序产品, 方法包括:基于可调整范围对每个待优化掩模图形进行初次调整, 将初次调整后图形中的孤立边视为优化完成, 剩余图形作为待检查图形。对待检查图形进行多轮次的掩模规则检查, 每轮...
光学临近修正方法及其系统、计算机设备和存储介质
本公开涉及一种光学临近修正方法及其系统、计算机设备和存储介质。该光学临近修正方法包括:获取目标图形;基于目标图形获取目标图形对应的辅助图形引导图;根据辅助图形插入规则和辅助图形引导图, 确定辅助图形引导图内允许添加辅助图形的最大数量以及各辅...
一种干式胶片制备方法
本发明公开了一种干式胶片制备方法, 属于医用胶片技术领域。本发明用于解决现有技术中干式胶片采用染色剂变色效果差、采用的乳胶液胶粘剂成膜性差的技术问题。一种干式胶片制备方法, 包括以下步骤:PET基材涂布改性SBR乳胶液, 形成涂层;涂层上涂...
一体化可移动电容触摸反射式投影系统
本申请涉及光学领域, 具体涉及投影设备。一体化可移动电容触摸反射式投影系统, 包括投影支架、投影幕布以及投影仪, 投影幕布固定在投影支架上, 投影仪位于投影幕布上方, 投射方向朝向前方;在投影仪前方设置有一反射镜, 反射镜的镜面朝向投影幕布...
光学组合器及使用其的光学装置
一种光学装置包含影像投影机以及光学组合器。影像投影机配置以发射影像光。光学组合器设置于影像光的光路上。光学组合器包含色料元件。色料元件配置以吸收在至少一特定波长范围内的光。藉此, 可以调整通过光学组合器的光的颜色, 从而实现色彩吸收和平衡的...
投影设备及投影系统
本申请提供一种投影设备及投影系统, 涉及投影技术领域, 投影设备包括:发光组件, 发光组件包括多个第一发光件、第二发光件以及第三发光件;第一发光件发出的激光用于形成第一光斑, 第二发光件发出的激光用于形成第二光斑;多个第一发光件和多个第二发...
光源系统
本发明提供光源系统, 包括准直件、第一光源、第二光源、第一折光件、第二折光件及反射件。准直件具有光轴。第一光源配置在光轴的第一侧或第二侧且用以发出第一光束, 其中第一侧与第二侧分别为光轴的相对两侧。第二光源配置在光轴的第一侧或第二侧且用以发...
投影设备及投影系统
本申请提供一种投影设备及投影系统, 涉及投影技术领域, 投影设备包括:壳体, 壳体内部具有容置腔和第一腔体, 容置腔和第一腔体相邻设置且相互分隔;壳体上设有与第一腔体相连通的进液口和出液口;色轮, 色轮位于容置腔中, 且位于容置腔靠近第一腔...
便携式显示设备
本发明涉及一种便携式显示设备, 包括壳体、短焦投影仪、收卷机构和幕布, 短焦投影仪连接于壳体, 且短焦投影仪的投射比大于0.15且小于0.4, 收卷机构连接于壳体, 幕布与收卷机构联动以被驱使在展开状态和收卷状态之间切换, 短焦投影仪用于向...
多相机模组
一种多相机模组, 包括壳体以及设置在壳体内的多个相机模组及多个加热模组。各相机模组包括:镜头支持件;电路板, 设置在镜头支持件的背面, 并且具有控制元件;以及镜头模组, 部分设置在镜头支持件内, 并且具有位于镜头支持件之外的前镜片。各加热模...
一种光圈结构
本发明提出一种光圈结构, 包括固定座、转盘、多个叶片及驱动组件, 所述固定座上设置有多个定向导柱, 所述转盘可绕其中心轴线转动并设有多个动力导柱, 所述叶片上开设有与定向导柱和动力导柱滑动配合的导向结构。工作时, 驱动组件驱动转盘转动, 转...
一种基于事件相机主动曝光的空间目标探测方法及系统
本发明涉及了空间目标探测技术领域, 具体涉及了一种基于事件相机主动曝光的空间目标探测方法及系统, 该系统包括指向子系统、光学成像子系统及信息处理子系统。指向子系统搭载光学成像子系统, 并与信息处理子系统通信, 负责根据目标指令进行指向调整和...
光合波器、光合波部件、带光调制功能的光合波部件、可见光光源模块、光学引擎及XR眼镜
本发明提供能够较以往小型化且光损耗降低的光合波器、光合波部件、带光调制功能的光合波部件、可见光光源模块、光学引擎及XR眼镜。光合波器(100)具备第一MMI型光合波部和具有比第一MMI型光合波部的宽度窄的宽度的第二MMI型光合波部耦合而成的...
电子纸显示面板及其控制方法、电子纸显示装置
本申请公开了一种电子纸显示面板及其控制方法、电子纸显示装置, 主要涉及显示技术领域, 电子纸显示面板包括多个像素单元区域, 每个像素单元区域包括防窥区域和分享区域, 电泳层和防窥功能层依次设置在阵列基板上, 公共电极层设置在电泳层背离阵列基...
显示模组、显示装置和电子设备
本申请提供一种显示模组、显示装置和电子设备。显示模组包括依次层叠设置的驱动基板、微腔层和公共电极层, 微腔层包括多个微腔和密封层, 微腔连接在驱动基板和密封层之间, 微腔的容纳空间用于容纳介质, 微腔的腔壁的顶部具有开口, 开口用于在多个微...
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