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  • 本发明属于硅通孔检测技术领域,具体涉及一种用于检测硅通孔内壁几何参数的探针。探针包括探针杆和探针头;所述探针杆的长径比为10~50 : 1;所述探针头包括半圆球部分和针尖,所述半圆球部分和所述针尖一体式连接,且所述针尖的尖端远离所述半圆球部...
  • 本申请属于半导体技术领域,公开了一种磷硅酸玻璃小球探针的制备方法。该方法包括:通过低压化学气相沉积方法在绝缘体上硅片上制备磷硅酸玻璃薄膜,所述绝缘体上硅片包括由下至上依次排列的硅衬底层、绝缘二氧化硅中间层和单晶硅顶层;通过光刻和干法刻蚀对所...
  • 本发明公开了一种基于太赫兹近场显微镜的细菌种类鉴别方法及鉴别系统,属于太赫兹生物成像技术领域。本发明方法包括:THz s‑SNOM扫描目标细菌表面,获得面积值area;AFM探针测量目标细菌,获得高度值h;THz s‑SNOM扫描目标细菌表...
  • 本发明公开了一种铁电光学隧道扫描显微镜针尖,针尖由铁电材料制备而成;针尖分为对称的左右两部分,且左右两部分的极化方向相反,针尖上制备尾对尾或头对头的极化的正畴和负畴;针尖长度为100μm~10mm,针尖宽度小于等于100μm,针尖厚度小于等...
  • 本发明提供一种用于扫描探针显微镜的样品更换装置、其显微镜和样品更换方法。本发明的样品更换装置、其显微镜和方法不仅提供了一种新型扫描探头换样设计,适用于扫描探头在极低温条件下不介入外部机械结构实现自动换样,能够适配极低温强磁场等极端环境;还避...
  • 本申请涉及矿用传感器测试技术领域的一种速度传感器自动测试系统及基于该测试系统的测试方法,包括测试台、速度传感器专用夹紧装置、信号测量模块、电机、滚轮装置、调速控制装置及控制计算机。与现有技术相比,本发明检测效率提升300%,实现全流程自动化...
  • 本申请提出一种风速传感器的补偿方法,涉及数据处理技术领域,其中,风速传感器的补偿方法包括:获取风速传感器的输出数据,输出数据至少包括温度、湿度和当前风速;基于输出数据中的温度和湿度,查询映射关系曲线库,确定对应的目标曲线集合;基于目标曲线集...
  • 本发明公开了一种加速度测试校准装置及方法,涉及校准设备领域,包括标准加速度获取装置、固定刚体、压电堆栈驱动器、位移放大组件(一级杆件、二级杆件和杠杆放大部件)、导向柔性梁和桥式结构;压电堆栈驱动器与固定刚体固连,压电堆栈驱动器输出部与一级杆...
  • 本发明公开一种用于MEMS加速度计测试的安装精度调节装置及方法,装置包括:底座,其包括相互平行的底面和上表面,底座周部设有多个调节孔,调节孔由底座边缘起、朝底座中部方向、经底座内部贯通至底座上表面;安装柱,数量为多个,分布设置于底座的上表面...
  • 本申请涉及微机电技术领域,具体涉及一种加速度传感器制备方法及加速度传感器,方法包括:在衬底表面依次沉积第一牺牲层以及作为固定电极的第一结构层;对第一结构层进行图案化刻蚀,形成保护结构;在第一结构层表面沉积第二牺牲层;对第二牺牲层表面进行刻蚀...
  • 本发明属于微机电系统传感器领域,公开了一种桥接纳米线MEMS加速度传感器,包括框架、质量块、悬臂梁和桥接纳米线;框架支撑悬臂梁,悬臂梁支撑质量块;桥接纳米线位于质量块与框架之间,用于感知质量块的位移。传感器的电学性能和机械性能,分别取决于纳...
  • 一种横向力增敏型的光纤加速度计,骨架为左半圆柱和右半圆柱之间通过第一连杆相连,左半圆柱和右半圆柱的弧形面向外,光纤首端设置有第一光栅和第一固定点,尾端设置有第二固定点和第二光栅,第二光栅与第一光栅相同,第一固定点和第二固定点位于第一光栅与第...
  • 本发明公开了一种加速度传感系统及其测量方法,属于光学加速度传感技术领域。本发明通过激光光源模块输出线偏振光至换能模块,换能模块包含MEMS换能结构和超表面单元,超表面单元将入射的线偏振光分解为左旋和右旋圆偏振光,并引入与位移相关的初始相位调...
  • 本发明公开基于通风柜的面风速实时监测方法及系统,涉及异常检测领域,方法包括:同步采集通风阀门开度值、管道内压力值和面风速值;根据阀门开度调整值进行阶跃划分:计算调整值,并考虑压力与风速响应的滞后性,通过聚类算法将数据分类,得到各调整值下的阶...
  • 本申请提供一种钢管塔风载监测预警方法及装置,该方法包括:获取钢管塔地理位置参数,据此查询环境特征与历史电压数据,利用卡尔曼滤波得理论电压值,监测太阳能板实时电压并计算电压裕量,判断其是否低于理论值预设比例,是则选目标函数关系调节数据采集频率...
  • 本发明提供一种列车瞬时速度估算方法及系统,属于轨道交通运营监测技术领域,采集对钢轨的垂向或横向动态位移信号,并将某一测量通道的时域动位移数据按照固定长度划分为多个滑动窗口子序列;对各滑动窗口子序列依次进行平滑处理,以获得完整信号的去噪平滑波...
  • 本发明涉及电感式轮速信号采集装置,包括:电感式轮速传感器设置在车辆的车轮轮毂区域,产生与转速成正比的交变正弦信号;信号处理器,用于对交变正弦信号进行干扰滤除,得到滤波信号,对滤波信号进行超速判断,在确定滤波信号的频率未超过预定频率的情况下,...
  • 本发明公开了一种水利工程河道中心水流测量装置,包括漂浮安装座,还包括:稳固结构,包括多个均匀分布设置漂浮安装座周向的稳固气囊;纵向安装条块,设置在漂浮安装座上,且两端分别可拆卸安装有倒U形安装座;测量机构,包括转动设置倒U形安装座底部的旋转...
  • 本发明涉及传感器温度调节技术领域,具体公开了基于双神经网络的磁电式速度传感器温度误差补偿方法,本发明解决了主动隔振系统中磁电式速度传感器因温度漂移引发测量误差,并且温度波动导致传感器输出信号失真、进而降低振动抑制效能的问题,具体步骤包括:构...
  • 本发明涉及水空跨介质机器人的水面滑行速度测量方法、装置和设备,并未采用传统的速度传感器,而是利用水空跨介质机器人已有的传感器,通过算法间接获得滑行速度信息,如机器人通过感知自身位置信号,利用算法对这些数据进行处理和计算,实时获取水空跨介质机...
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