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抗蚀剂下层膜形成用组合物
本发明涉及一种抗蚀剂下层膜形成用组合物,其含有聚合物和交联剂,所述聚合物具备具有多环芳香族结构的结构单元(A),所述抗蚀剂下层膜形成用组合物用于在使用了光致抗蚀剂膜或电子束抗蚀剂膜的光刻中,在含氮原子基板上形成所述抗蚀剂膜的下层膜。
EUV光刻的底层及方法
公开了用作EUV底层的新型光刻组合物。本发明包括使用这些组合物制造微电子结构体的方法,以及通过这些方法形成的结构体。所述方法涉及在光刻胶层正下方使用底层。所述底层可以直接施加到基材上,或者可施加至任意中间层上,所述中间层可施加至所述底层。优...
叠层体、叠层体的制造方法及感光性表面改性剂
一种叠层体,其具有基板和表面改性膜,上述表面改性膜由含有感光性聚合物的感光性表面改性剂形成,并被照射了光或电子束,上述表面改性膜具有被照射了上述光或上述电子束的曝光区域、和未曝光区域,上述曝光区域和上述未曝光区域中的任一者为选择性形成上层的...
光固化性组合物
一种光固化性组合物,其可以包含可聚合材料、受阻稳定剂和光引发剂,其中可聚合材料包含至少一种多官能芳族乙烯基单体;并且受阻稳定剂是式(1)的受阻胺或式(2)的受阻酚(1),或(2),其中X是H、CH3或Y‑Z;Y是CH2、O、S或N;Z是有机...
柔性印刷原版和柔性印刷版的制造方法
一种柔性印刷原版,其是至少层叠支承体(a)、感光性树脂组合物层(b)和红外线烧蚀层(c)而成的柔性印刷原版,对于构成前述感光性树脂组合物层(b)的感光性树脂组合物的0.5mm厚的成型体,在常温常压下边照射照度为10mW/cm2的波长365n...
正型感光性颜料组合物、固化物及有机EL显示装置
本发明是以提供下述正型感光性颜料组合物为课题而做出的,所述正型感光性颜料组合物在图案开口部没有残渣、能够一并形成具有高遮光性的像素分割层及间隔物层。本发明为正型感光性颜料组合物,其含有颜料(a)、碱溶性树脂(b)、具有酚式羟基的分子量100...
增强型EUV光刻胶及其使用方法
本申请公开了可用于EUV光刻胶组合物中的两性离子材料。所述组合物提供了光定义线几何形状的改善以及增加的光刻感光速度。还提供了含有所公开的新型两性离子的光刻胶组合物。
图案生成器和用于驱动图案生成器的方法
图案生成器(1)包括脉冲激光光源、空间光调制器、控制模块、光学终端系统(50)和台定位设备。光学终端系统被布置成用于将来自空间光调制器的激光照射图案(13)定位在写入平面(43)上。该光学终端系统还包括条带开关(70),其经配置以在垂直于该...
投影装置和包括该投影装置的电子装置
实施方式中公开的是投影装置,其包括:多个光源,所述多个光源发射光并且彼此间隔开;第一棱镜,其面向多个光源;光学调制器,其用于调制光;反射单元,其布置在第一棱镜的后端处,以将穿过第一棱镜的光反射至光学调制器;第二棱镜,其布置在光学调制器与反射...
薄膜同步泵浦光学参量振荡器
一种包括光子集成电路的设备,光子集成电路包括一个或多个OPO,每个OPO包括:输入,被配置为接收包括脉冲的泵浦波或具有泵浦重复率的频率梳;一个或多个非线性部分,作为谐振器的一部分或耦合到具有自由光谱范围的谐振器,其中自由光谱范围或其谐波之一...
显示面板及其制备方法、显示装置
一种显示面板(00)及其制备方法、显示装置,显示面板(00)包括相对设置的阵列基板(0)和对置基板(1)。其中,阵列基板(0)中栅导电层(GATE)能够用于形成像素(02)连接的栅线(G1)和位于相邻的至少两个像素(02)的间隔区(B1)的...
调光片及调光片的制造方法
调光片的片材区域具有:绝缘部,一对透明电极层各自的非导电部位于该绝缘部;以及调光部,一对透明电极层各自的导电部位于该调光部,该调光部由绝缘部划分。第二端部区域具有:带状的桥部,与各调光部相连,且沿着调光片的外缘延伸;以及第二连接部,从桥部延...
一种曲面调光膜、曲面调光玻璃及其制备
本发明提供了一种曲面调光膜、曲面调光玻璃及其制备方法,通过脉冲热击、热压成型平面调光膜的技术手段,制备具有预定曲面函数θ的曲面调光膜,并进一步使用与之对应的曲面玻璃,制备曲面调光玻璃,可避免使用平面调光膜在制备曲面调光玻璃时导致调光膜产生皱...
针对显示设备的IPD调整
本公开内容的各方面涉及用于设备调整的方法、设备和装置。所述装置可以识别显示设备的第一眼距离,其中,显示设备的第一眼距离是显示设备的左眼显示器和右眼显示器之间的长度。装置还可以检测显示设备的第一眼距离是否等效于显示设备的用户的第二眼距离,其中...
用于近眼显示器的新型波导系统
用于近眼显示器的波导系统可以包括第一波导部分和第二波导部分。第一波导部分可以包括第一组至少部分反射表面,该第一组至少部分反射表面被配置成将与图像对应的光耦出第一波导部分,以在第一维度中扩大孔径。第二波导部分可以设置在第一波导部分的一侧上,并...
多用户拆分XR系统中的高效多视图渲染
本公开提供了用于多用户拆分XR系统中的高效多视图渲染的系统、设备、装置和方法,包括在存储介质上编码的计算机程序。一种图形处理器可以获得用于第一可穿戴显示设备的第一位姿信息和用于第二可穿戴显示设备的第二位姿信息。该图形处理器可以基于该第一位姿...
光学子组件
本发明涉及一种用于投射曝光设备(1)的照明光学单元(4)或投射光学单元(7)的光学组件,其包括至少一个光学部件(20)、承载结构(60)和支承装置,其中至少一个光学部件(20)通过支承装置安装在承载结构(60)上,且其中支承装置包括一个或多...
用于投射曝光系统的照明光学单元的分面反射镜的单独反射镜
本发明涉及一种用于投射曝光设备(1)的照明光学单元(4)的分面反射镜(13;14)的可枢转安装的单独反射镜(20),其具有与方向相关的枢转范围。
用于光学成像系统的设备、光学成像系统、方法和计算机程序
示例涉及一种用于光学成像系统的设备、光学成像系统、方法和计算机程序。示例提供了一种用于光学成像系统的设备,包括一个或多个处理器和一个或多个存储装置。设备配置成接收指示光学成像系统的用户运行测量的期望的第一触发信号,该测量需要第一几何元素和第...
光纤准直器的连接器化和耦合
一种连接器化光纤准直器,包括保持器、轴承和光纤准直器。所述保持器具有前侧和后侧,所述前侧具有平坦参考表面。保持器的外圆周表面限定圆形参考圆周。前侧或后侧具有凹部。凹部处的通孔从前侧延伸到后侧。所述轴承具有安置在所述凹部中的球面。光纤准直器位...
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