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  • 公开了各种3D存储器单元、阵列架构和工艺。在一个实施例中,提供了一种单元结构,包括:第一材料,其形成位线;第二材料,其形成耦合到位线的第一部分的存储区;以及第三材料,其形成连接到存储区和位线的第二部分和第三部分的沟道。单元结构还包括:第四材...
  • 一种电感器件包括多个封装器件,每个封装器件包括主体和位于该主体内的导体层以及一组外部连接器。封装器件的导体层包括电连接到该封装器件的一组外部连接器的一组导线。电感器件的两个封装器件的导线相对于彼此成角度。封装器件的外部连接器彼此耦合来电连接...
  • 提供了功率半导体封装件。在一个示例中,功率半导体封装件可以包括功率半导体芯片。功率半导体封装件可以包括壳体,该壳体具有第一侧和与第一侧相对的第二侧。功率半导体封装件可以包括从第一侧延伸的一个或多个电气引线。功率半导体封装件可以包括在第二侧的...
  • 本申请针对控制半导体封装中的底部填充物溢出。第一基板安置于支撑基板上,且托架结构放置于所述支撑基板上,所述托架结构与所述第一基板具有第一间隔。底部填充材料施加于所述支撑基板上。所述托架结构自动地控制所述底部填充材料的溢出。在一些实施例中,根...
  • 中子射线屏蔽材是屏蔽中子射线的中子射线屏蔽材,含有硼化物,所述硼化物的平均粒径为500μm以下。
  • 中子射线屏蔽材是屏蔽中子射线的中子射线屏蔽材,含有硼化氢。
  • 放射线屏蔽材是屏蔽放射线的放射线屏蔽材,含有硼化物。
  • 本发明抑制了在设置有两个半导体芯片的半导体封装中由热量引起的任何性能劣化。该半导体封装包括第一半导体芯片、第一引线框架、第二半导体芯片以及第二引线框架。第一半导体芯片安装在第一引线框架的第一岛部上。第二引线框架的第二岛部与第一岛部以规定的间...
  • 一种用于半导体装置的在顶表面上具有高介电常数介电膜的结构可以用于形成由具有减少的介电表面区域及减少的金属柱的节距的混合接合结构所组成的装置。介电膜的介电常数可以是约或大于8。可以将结构的介电膜与类似结构的介电膜混合接合来形成装置。用于形成结...
  • 提供一种在焊合系统上处理基板的方法。所述方法包括:(a)在焊合系统上提供氧化物还原传送系统;(b)在所述焊合系统的支撑结构上支撑基板;以及(c)相对于彼此移动所述氧化物还原传送系统和所述支撑结构的至少其中之一,使得由所述氧化物还原传送系统提...
  • 本发明的静电吸盘具备:第一电极(11)、第二电极(12)以及绝缘部件(13),在至少一个部位包括在绝缘部件(13)相对于第一电极(11)的一侧和绝缘部件(13)相对于第二电极(12)的一侧中的至少一侧具有间隙(14、15)的结构,对于选自第...
  • 本发明提供一种提高设置在运送臂上的传感器的测量精度的技术。本发明提供一种包括基片处理装置、运送装置和控制部的基片处理系统。基片处理装置包括基片处理腔室、基片支承部以及具有第一水平面和第一倾斜面的边缘环。运送装置包括运送腔室、运送臂、光学传感...
  • 本公开案的实施方式包括清洁基板的设备及方法。清洁基板的方法包括:通过第一马达来旋转基板桌,输送流体至基板的表面,所述基板放置于清洁模块的所述基板桌的支撑表面上;以清洁速度来旋转清洁垫,且使用控制器来感测由第二马达所产生的初始扭力值;使用升降...
  • 本案揭露了用于快速且有效地检测晶片中的缺陷的系统和技术,包括具有耦接到晶片载器和装载闸腔室的工厂接口(FI)的系统。FI包括机器人,机器人从晶片载体取得晶片并将第一晶片移送至对准器装置。对准器装置向晶片施加旋转运动并使用晶片的旋转运动来识别...
  • 半导体装置的制造方法是制造如下半导体装置的方法,所述半导体装置包括具有构成电性连接的连接区域以及不构成电性连接的非连接区域的芯片的主表面。半导体装置的制造方法具有:第一工序,通过将具有与连接区域R1的平面形状对应的拾取部的工具压接到烧结基材...
  • 本发明涉及一种在激光透过性基板1上依次层叠有激光吸收性临时接着层1、保护层1、以及半导体层1的层叠体。
  • 本发明的一个方式的基片处理方法包括第一蚀刻工序,向形成有栅极电极和用于调节栅极电极的功函数的功函数调节膜的基片供给第一蚀刻液,来对功函数调节膜进行蚀刻。在第一蚀刻工序中,将氢氟酸、SPM(硫酸与过氧化氢水溶液的混合液)或SC1(氨与过氧化氢...
  • 一种金属间隙填充的方法,包括通过等离子体增强原子层沉积,在存在于场上和/或特征开口中的介电层上沉积金属层,所述方法使用金属卤化物前驱物和含有氢及惰性气体的等离子体;并在场上和开口中直接在金属层上方沉积金属间隙填充材料,其中金属间隙填充材料完...
  • 本公开涉及半导体结构、存储器器件及其制造方法。半导体结构包括第一衬底、第二衬底、键合层、第一导电层和第一介质层。第二衬底设置在第一衬底上。第二衬底是单晶衬底。键合层设置在第一衬底与第二衬底之间。第一导电层设置在键合层与第二衬底之间。第一介质...
  • 基板接合装置具有:第一夹具11;第二夹具21,在第二基板与被第一夹具11保持的第一基板W1铅垂地相向的位置保持第二基板;Z致动器18,变更第一夹具11以及第二夹具21在铅垂方向上的间隔;以及第一变形致动器71A,使第一夹具11在平坦形状与凸...
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