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  • 本发明公开了一种声表面波谐振器及滤波器,该谐振器包括:设置于压电衬底上的叉指换能器、位于所述叉指换能器两侧的反射栅以及设置于所述反射栅的外侧区域的至少一个叠层防护结构;所述叠层防护结构包括设置于所述压电衬底表面上的叉指电容,以及覆盖于所述叉...
  • 本申请实施例提供一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器及电子设备,涉及半导体技术领域,用于改善声表面波谐振器中横向能量泄露的问题。声表面波谐振器包括压电层、叉指换能器和覆盖层。叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条,多个第一电极条和多个第二电...
  • 本发明涉及一种弹性波器件,其具备:器件芯片,其在由压电体构成的功能面上,具备包含多个谐振器的电路图案;支撑层,其形成于功能面上除谐振器形成区域之外的区域;屋顶层,其形成于支撑层上,并与功能面及支撑层共同作用,形成谐振器的密封空间;以及多个散...
  • 本发明涉及一种具备弹性波器件的模块。第一弹性波器件与第二弹性波器件分别通过在器件芯片的主面上形成包含谐振器的电路图案构成,且二者的背面均固定在模块基板上。填充部填充于第一弹性波器件与第二弹性波器件之间的间隙中,将该间隙填满。第一层具备以下结...
  • 本申请提供了一种产生谐振频率的器件,该器件包括:谐振单元、对所述谐振单元进行封装的基座、位于所述基座顶部的上盖、和位于所述基座和所述上盖之间的腔体内部的温度处理装置。其中,温度处理装置包括温度测量装置和/或加热装置。所述谐振单元用于产生谐振...
  • 本发明涉及微电子与MEMS制造技术领域,尤其是具有双层压电膜的体声波谐振器及其制备方法,该方法利用中间电极层两侧分别沉积的第一压电层和第二压电层形成异质集成关键结构,突破单层压电薄膜FBAR的物理与工艺极限,在高频段提升,实现更宽的带宽;中...
  • 本发明涉及微电子器件领域,尤其是具有双层压电膜结构的体声波谐振器、制备方法及滤波器,包括盖帽晶圆,盖帽晶圆上依次设置有干膜、钝化层、氧化硅层、高阻硅晶圆和RDL金属;干膜与盖帽晶圆形成干膜空腔,位于干膜空腔上方的钝化层延伸至干膜空腔内,钝化...
  • 本发明公开一种弹性波器件及模块,其中所述弹性波器件包括:配线基板;器件芯片,通过多个凸块以倒装芯片键合方式安装于所述配线基板上,所述器件芯片具备谐振器;金属图案,形成于所述配线基板的外缘部分;多个凸块焊盘,形成于所述配线基板上,所述多个凸块...
  • 本发明涉及无线通讯技术领域,提供了一种声表面波装置,声表面波装置包括支撑衬底、压电基板以及叉指换能器;支撑衬底为蓝宝石材料制成;叉指换能器包括第一叉指电极、第二叉指电极、以及相对设置的第一汇流条和第二汇流条;第一叉指电极分别与第二叉指电极和...
  • 本发明提供了一种压电衬底、声表面波滤波器及其形成方法,所述压电衬底包括:高声速基底;低声速层,所述低声速层层叠于所述高声速基底,所述低声速层的声速低于所述高声速基底;压电结构,所述压电结构间隔地嵌于所述低声速层的表面,所述压电结构用于设置功...
  • 本申请提供了一种体声波器件结构及装置,包括具有本体部和多个相互间隔凸起部的第一压电层,以及分别设于第一压电层相对两侧的第一电极与第二电极;其中,第一电极位于本体部的第一侧,第二电极的电极指沿第二方向延伸、沿第一方向交替间隔排布于凸起部表面,...
  • 本申请涉及一种弹性波装置、声表面波滤波器、通信系统及车辆,其中,弹性波装置,包括:压电层;叉指电极,形成于所述压电层上;左侧反射栅电极和右侧反射栅电极,分别位于所述叉指电极的声波传播方向两侧;支撑衬底,设置于所述压电层的下方;其中,所述叉指...
  • 本发明提供一种包括能够减小温度传感器与晶体振动片的温度差的现实性的新颖的结构的温度传感器内置型的晶体振子。晶体振子(10)包括:AT切的晶体振动片(11);温度传感器(13);内包这些部件的容器(15);及基板(17),与容器不为一体,在第...
  • 本发明提供了一种多芯粒集成系统中的深槽薄膜无源均衡器及其制造方法,包括一个电阻区、一个电容区和一个电感区,所述电阻区和所述电容区并联后跨接于互连线的两点之间,所述电感区一端接地,另一端连接在所述电阻区中两串联电阻之间,共同构成一个T结型无源...
  • 本发明提供了一种LTCC多层双工器等效电路及双工器,采用集总参数模型设计实现新型小型化、宽带低插损LTCC双工器的特殊电性能要求,低频通路采用2阶低通滤波器构成,高频段通过引入跨接电容在通带低频段形成传输零点增强高频通带在低频的抑制能力,另...
  • 本发明提供了一种阻抗匹配电路、薄膜沉积设备、阻抗匹配电路的控制方法及计算机可读存储介质。阻抗匹配电路包括:第一阻抗匹配单元,连接第一射频线圈与第一射频电源,其中,所述第一射频线圈被设于薄膜沉积设备的工艺腔室顶部;第二阻抗匹配单元,连接第二射...
  • 一种滤波器装置以及搭载有该滤波器装置的高频前端电路。滤波器装置具备层叠体、输入端子、接地端子、第一输出端子及第二输出端子、以及与输入端子连接的第一滤波器电路及第二滤波器电路。第一滤波器电路包括在输入端子与第一输出端子之间串联连接的第一线圈和...
  • 本申请提供了一种滤波控制方法及相关装置,本申请中,先对编码器输出的初始信号进行硬件滤波操作得到硬件滤波信号,然后使用所述滤波时间对所述硬件滤波信号进行软件滤波操作,得到软件滤波信号。基于硬件滤波和软件滤波的结合,对外部干扰进行滤除,提高滤波...
  • 本文中公开支持双转换增益读出及双模拟增益读出的列放大器。在一些实施例中,供在图像传感器中使用的列放大器可包含输入节点及输出节点以及耦合在所述输入节点与所述输出节点之间的输入级。所述输入节点可被耦合以从一或多个像素电路接收图像信号。所述输入级...
  • 本申请属于信号差分转换技术领域,具体涉及一种高速低正负极误差单端转差分电路。本申请提出的单端转差分电路,通过单端转差分模块将输入信号分别进行一级和两级增益,生成相位相反的两个放大信号,再结合原信号进行跨导放大输出差分对,从源头构建对称信号路...
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