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最新专利技术
  • 用于光刻设备的防护膜隔膜
    用于光刻设备的防护膜隔膜_ASML荷兰有限公司_202511040705.0
    提供了一种用于光刻设备的防护膜隔膜， 所述隔膜包括未被覆盖的碳纳米管。还提供一种再生防护膜隔膜的方法， 所述方法包括分解前体化合物， 并且将至少一些分解产物沉积到防护膜隔膜上。还提供一种降低防护膜隔膜的蚀刻速率的方法， 所述方法包括在防护膜...
    2026-04-05
  • 一种光罩辐射型线宽差异的改善方法
    一种光罩辐射型线宽差异的改善方法_兴华芯(绍兴)半导体科技有限公司_202511079890.4
    本发明公开了一种光罩辐射型线宽差异的改善方法， 属于半导体光罩技术领域。本发明通过选取一片光罩基板， 依次经过预设曝光量的曝光、显影、蚀刻以及去光阻处理， 获得光罩测试片；测量光罩测试片中十字图形阵列中每个十字图形的线宽， 根据光罩测试片中...
    2026-04-05
  • 一种掩膜版制造方法及曝光系统
    一种掩膜版制造方法及曝光系统_寰采星科技(宁波)有限公司_202511172495.0
    本发明公开了制造掩膜版的方法， 包括对料带进行曝光， 得到具有多个第一图形的第一带段， 其中， 所述料带包括带状箔材和形成在所述带状箔材表面的光刻胶层， 相邻两个所述第一图形之间存在间隔区， 所述第一图形包括多个母标记图形和多个像素孔图形；...
    2026-04-05
  • DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机
    DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机_安徽陶芯科半导体新材料有限公司_202511276897.5
    本发明公开了DBC陶瓷覆铜基板专用曝光机， 属于曝光机技术领域， 其包括机台， 所述机台顶部设置有热交换散热端口， 所述机台一侧固定连接有照明板， 所述照明板的底部设置有LED灯板， 所述机台对应照明板一侧开设有台框交换口， 所述台框交换口...
    2026-04-05
  • 匀光控制方法、复眼透镜单元及光刻系统
    匀光控制方法、复眼透镜单元及光刻系统_东莞泽攸科技有限公司_202511305881.2
    本发明提供了一种匀光控制方法、复眼透镜单元及光刻系统， 该方法基于LED紫外光源对应的光斑入射参数在光刻系统中设置与光源对应的复眼透镜单元；其中， 复眼透镜单元中包含双排复眼透镜和聚光透镜；然后获取双排复眼透镜对应的第一焦距、双排复眼透镜与...
    2026-04-05
  • 一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构
    一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构_奈米科学仪器装备(杭州)有限公司_202511317367.0
    本发明提出了一种红外双面套刻的独立自动被测物焦距与透射光焦距调节结构， 包括：载物台， 其用于承载晶圆， 其为一中空结构， 其与载物台对焦单元的输出端连接；所述载物台对焦单元， 其可沿基座且沿Z向移动；成像光路单元， 其设置于载物台的上方；...
    2026-04-05
  • 液处理装置、液处理方法和计算机可读取的存储介质
    液处理装置、液处理方法和计算机可读取的存储介质_东京毅力科创株式会社_202511143341.9
    本发明提供一种液处理装置、液处理方法和计算机可读取的存储介质。液处理装置的一例包括：构成为能够保持基片的基片保持部；构成为能够向基片的表面供给处理液的处理液供给部；构成为能够向基片的表面供给气体的气体供给部；控制部。气体供给部包括扩散喷嘴，...
    2026-04-05
  • 一种光刻胶剥离液组合物及其制备方法
    一种光刻胶剥离液组合物及其制备方法_华璞微电子科技(宁波)有限公司_202511242962.2
    本申请公开了一种光刻胶剥离液组合物及其制备方法， 涉及电子材料技术领域， 包括按质量百分比为5‑10%的氢氧化钾、2‑5%的脂肪酸、10‑20%的苯甲醇、15‑25%的一乙醇胺、4.6‑15.5%的组合添加剂和作为余量的溶剂；其中， 所述组...
    2026-04-05
  • 一种显影盒
    一种显影盒_珠海纳思达信息技术有限公司_202510074966.8
    本申请涉及一种显影盒， 包括盒体， 盒体包括供粉腔和补粉腔， 第一搅拌架设置于供粉腔内， 第二搅拌架设置于补粉腔内；传动组件包括：第一齿轮组、第二齿轮组、第三齿轮组、第一搅拌齿轮和第二搅拌齿轮， 第一搅拌齿轮与第一搅拌架连接， 第二搅拌齿轮...
    2026-04-05
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202511240497.9
    提供了一种配置成在片材上形成图像的图像形成装置， 该图像形成装置包括装置本体和可拆卸单元。可拆卸单元包括第一被定位部分和第二被定位部分。装置本体包括具有第一定位部分和第二定位部分的框架构件， 第一定位部分和第二定位部分分别与第一被定位部分和...
    2026-04-05
  • 一种激光打印机的转印带安装结构
    一种激光打印机的转印带安装结构_恒科科技产业有限公司_202511275421.X
    本发明提出一种激光打印机的转印带安装结构， 属于打印机设备技术领域， 包括：转印架、主动转印辊、安装板、夹持块、弹性限位件和滑动壳体， 转印架与主动转印辊转动连接， 主动转印辊上安装有静电转印带， 夹持块通过滑槽与安装板连接， 弹性限位件一...
    2026-04-05
  • 一种合成孔径数字全息成像系统
    一种合成孔径数字全息成像系统_湖北华中长江光电科技有限公司_202511097635.2
    本发明公开了一种合成孔径数字全息成像系统， 属于数字全息技术领域， 包括激光器、分束器、准直镜、第一光束偏转模块、成像透镜、分光棱镜、第二光束偏转模块、时序控制模块、探测器和数据处理模块。激光器发射激光经过分束器分成信号光束和参考光束；信号...
    2026-04-05
  • 钟表日历系统
    钟表日历系统_劳力士有限公司_202510440133.9
    本发明涉及一种钟表日历系统(100)， 该系统包括：围绕第一轴线(A1)枢转的日期移动件(1)；驱动日期移动件的第一元件(32)， 诸如指状件；用于驱动日期移动件的第二元件(12)， 该第二元件包括例如用于驱动日期移动件的齿(12a)， 第...
    2026-04-05
  • 钟表日历系统
    钟表日历系统_劳力士有限公司_202510440471.2
    本发明涉及一种钟表日历系统(100)， 包括：包括能量累积器(4)和凸轮(33)的能量累积和恢复装置， 日期移动件(1)， 月份移动件(2)， 用于使日期移动件(1)转位的第一元件(7)， 用于使月份移动件(2)转位的第二元件(8)， 用于...
    2026-04-05
  • 一种原子钟原子气室充制方法
    一种原子钟原子气室充制方法_安徽感知未来电子科技有限公司_202511207526.1
    本申请公开了一种原子钟原子气室充制方法。其中， 该方法包括：依次采用丙酮溶液、盐酸溶液、超临界CO2对原子气室进行清洗；将清洗后的原子气室放入设置有紫外光辐照的烘箱内烘烤， 并通过原子气室的接口向原子气室内引入脉冲式真空‑惰性气体交换环境，...
    2026-04-05
  • 一种冷原子微波钟内原子通过时刻确定系统及方法
    一种冷原子微波钟内原子通过时刻确定系统及方法_中国计量科学研究院_202511294285.9
    本申请公开了一种冷原子微波钟内原子通过时刻确定系统及方法， 属于原子频率标准技术领域， 系统包括：信号控制与分析模块、微波开关、微波源、微波腔、原子跃迁几率探测装置， 利用信号控制与分析模块， 产生第一控制信号、第二控制信号以及第三控制信号...
    2026-04-05
  • 一种基于改进时间同步的管道内检方法及系统
    一种基于改进时间同步的管道内检方法及系统_中国石油大学(北京)_202510773886.1
    本发明公开了一种基于改进时间同步的管道内检方法及系统， 该方法包括：在目标管道的内检任务开始前， 生成目标格式的标准时间信号；对目标格式的标准时间信号进行解析， 再对解析后得到的标准时间进行误差校正， 得到实际同步时间；基于实际同步时间进行...
    2026-04-05
  • 一种基于1553B总线的卫星系统校时功能测试系统及方法
    一种基于1553B总线的卫星系统校时功能测试系统及方法_中国空间技术研究院_202510844202.2
    本发明涉及一种基于1553B总线的卫星系统校时功能测试系统及方法， 测试设备包括星上部分和地面部分， 星上部分包括遥测遥控单元、中心管理单元、GNSS和多个远程终端；地面部分包括1553B总线监视器、地面遥测遥控设备和一体化测试设备；一体化...
    2026-04-05
  • 一种基于双链路监测的流程控制系统的热备方法
    一种基于双链路监测的流程控制系统的热备方法_中国人民解放军海军工程大学_202510790938.6
    本发明公开了一种基于双链路监测的流程控制系统的热备方法， 流程控制系统包括通过点对点连接通信的流程控制设备A和流程控制设备B， 流程控制设备A和流程控制设备B通过光纤与外部系统接口设备连接并进行交互通信， 通过以太网组成环网与内部系统接口设...
    2026-04-05
  • 一种煤气化过程煤浆浓度控制系统的双层数据驱动模型预测控制方法
    一种煤气化过程煤浆浓度控制系统的双层数据驱动模型预测控制方法_上海交通大学_202510844050.6
    本发明提出一种煤气化过程煤浆浓度控制的双层数据驱动预测控制方法， 采用双层控制架构：上层基于历史运行数据动态更新模型参数， 通过开环仿真模型求解含煤/水流量约束与浓度波动限制的优化问题， 实时调整流量设定值以主动抑制给料口堵塞引发的浓度波动...
    2026-04-05
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