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一种芯片扇出封装器件及其制备方法
本申请提供一种芯片扇出封装器件及其制备方法, 涉及半导体技术领域, 利用金属散热基板、贴合材料和芯片构建更短、散热效率更高的热传导路径, 由于该热传导路径的加入, 使得芯片所累积的热量能够经由所构建的热传导路径, 快速向外界传递, 以维持芯...
背封结构、半导体结构及背封结构的制备方法
本发明提供了一种背封结构、半导体结构及背封结构的制备方法, 该背封结构中设置有掺杂抑制层, 即在衬底的侧面和底面设置掺杂抑制层, 并且, 该掺杂抑制层用于抑制衬底中的掺杂离子从衬底的底面和侧面析出, 使得在衬底的正面生长外延层时能够精确控制...
一种基于金丝键合的超宽带毫米波过渡结构
本发明提供一种基于金丝键合的超宽带毫米波过渡结构, 涉及毫米波芯片封装技术领域, 所述过渡结构包括:基板、矩形腔体、芯片、并联金丝连接结构、阶梯型接地共面波导GCPW匹配结构以及多个盲孔;所述基板, 包括:顶层介质层、中间金属层以及底层金属...
电子装置及制造电子装置的方法
电子装置及制造电子装置的方法。在一个实例中, 一种电子装置包含:电子组件, 所述电子组件包括传感器和电互连件;衬底, 所述衬底包括导电材料和半透明模制化合物, 其中所述导电材料耦合到所述半透明模制化合物, 并且其中所述电子组件的所述电互连件...
电子装置及制造电子装置的方法
电子装置及制造电子装置的方法。在一个实例中, 一种电子装置可包含有源区、位于所述有源区上方的掩埋氧化物层以及安置于所述掩埋氧化物层的第一端和所述掩埋氧化物层的与所述第一端相对的第二端上方的加强件。所述加强件的内侧壁可在所述掩埋氧化物层上方界...
半导体装置及制造半导体装置的方法
半导体装置及制造半导体装置的方法。在一个范例中, 一种电子装置可包含包括通道区的有源区。第一隔离区可安置在所述通道区的横向侧处。源极区可位于所述通道区的覆盖面积中且安置在所述通道区与所述第一隔离区之间。装置钝化层可覆盖所述通道区的与所述源极...
底部填充膜、包括底部填充膜的半导体封装及其制造方法
底部填充膜可以包括:第一膜层, 具有第一介电常数;以及第二膜层, 在第一膜层上并具有第二介电常数, 其中, 第二介电常数高于第一介电常数。
封装结构及其形成方法
一种封装结构及其形成方法, 其中方法包括:中介层, 所述中介层包括中心区和包围所述中心区的边缘区, 所述中介层包括相对的第一面和第二面, 所述第二面具有若干中介层凸点;封装至所述中心区的所述第一面的至少一个第一芯片和至少一个第二芯片;框架结...
一种CoW模组及芯片封装结构
本发明涉及芯片封装领域, 尤其涉及一种CoW模组及芯片封装结构。包括:多个芯片、硅基转接板、塑封料层及翘曲抑制层硅基转接板, 翘曲抑制层固定连接于硅基转接板未安装芯片的一侧;翘曲抑制层的CTE大于硅基转接板的CTE;翘曲抑制层的CTE与塑封...
高阶汽车保护用整流器晶片及其生产工艺
本发明提供了一种高阶汽车保护用整流器晶片及其生产工艺, 涉及晶片生产技术领域。整流器晶片的生产工艺相较于传统工艺流程缩短, 在高温自动化扩散炉约6‑8个小时配合少量人力即可完成, 大幅提升了生产效率;取消了玻璃烧结工序, 减少有机粉尘等环境...
一种量子芯片封装装置
本发明属于芯片封装技术领域, 公开了一种量子芯片封装装置, 其技术要点是:包括基板, 所述基板表面开设有安装槽, 所述安装槽内放置有芯片本体, 所述基板表面设置有封装盖, 所述基板表面设置有固定机构, 所述固定机构包括有卡接组件与调节组件,...
半导体结构以及形成方法
本公开提供了一种半导体结构以及形成方法, 其中, 半导体结构包括:晶圆、至少一个凹槽和填充结构;至少一个凹槽形成在晶圆边缘;填充结构填充凹槽;其中, 填充结构的缓冲系数大于晶圆。这样, 在晶圆的边缘受外力冲击的情况下, 凹槽能够迫使裂纹沿凹...
一种带金属划线区的半导体芯片切割方法
本发明提供一种带金属划线区的半导体芯片切割方法, 半导体芯片具有多个半导体芯片形成区域和分隔多个半导体芯片形成区域的划线区域, 且划线区域中设有划片道金属, 所述切割方法包括:通过激光烧蚀所述划片道金属形成开口槽, 所述开口槽的深度小于或等...
金属互连方法、半导体器件制备方法以及半导体器件
本申请实施例公开了金属互连方法、半导体器件制备方法以及半导体器件。本申请实施例提供的技术方案通过在第一金属层上沉积第一介质层, 在第一介质层上沉积第二介质层, 对第一金属层、第一介质层和第二介质层进行炉管退火以及蚀刻处理, 并在炉管退火以及...
金属互连结构的制备方法和半导体器件
本申请涉及一种金属互连结构的制备方法和半导体器件。该金属互连结构的制备方法, 包括:在半导体叠层结构上依次形成第一绝缘层、停止层与第二绝缘层;导电结构从半导体叠层结构暴露出来;刻蚀第二绝缘层、停止层与第一绝缘层形成第一沟槽, 第一沟槽暴露导...
深硅通孔制备方法、集成芯片制备方法及集成芯片
本申请公开了一种深硅通孔制备方法、集成芯片制备方法及集成芯片, 涉及半导体制造技术领域。该深硅通孔制备方法包括:在晶圆的硅中介层上表面沉积氧化硅以形成氧化硅薄膜;在氧化硅薄膜上表面涂覆光刻胶, 通过预设的通孔掩膜对光刻胶进行曝光显影以露出通...
一种高带宽闪存芯片的加工方法
本发明涉及存储技术领域, 尤其涉及一种高带宽闪存芯片的加工方法, 包括以下步骤:S1、提供硅衬底, 加工功能电路层;S2、双光刻胶掩蔽注入;S3、沉积功能电路层互连介质及铜导线;S4、在功能电路层上生长存储阵列层:沉积厚度≤20nm的磷掺杂...
可浸润侧翼基板结构及其制作方法、存储介质
本发明公开了一种可浸润侧翼基板结构及其制作方法、存储介质, 涉及封装基板技术领域。该方法包括:准备承载板;在第一金属种子层的表面设置保护层;在保护层的表面设置牺牲铜柱;在第一金属种子层的表面覆盖绝缘层;蚀刻牺牲铜柱, 形成第一空腔;根据第一...
半导体结构及其制备方法
本公开提供了一种半导体结构及其制备方法, 涉及半导体技术领域, 方法包括:提供堆叠结构, 包括第一牺牲层、第一介质层、第二牺牲层和目标层;刻蚀第一牺牲层以形成第一图案;在第一图案的侧壁上形成第一间隔物层;去除第一牺牲层的剩余部分的至少部分;...
一种半导体结构及其制造方法
本申请提供一种半导体结构及其制造方法, 半导体结构包括金属层, 金属层包括多个凹槽。方法包括:形成牺牲层, 牺牲层覆盖凹槽的侧壁, 沿着凹槽的顶部朝向凹槽的底部的方向, 牺牲层的厚度逐渐降低, 以预设角度去除位于凹槽的顶部的部分形状的牺牲层...
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