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标识和/或分析工业过程的操作状态
一种用于标识和/或分析正在工业工厂上执行的工业过程(1)的操作状态(2)的计算机实现的方法(100),包括以下步骤:获取(110)工业过程(1)的至少一个过程变量(3)的测量值的至少一个时间序列(3a);针对时间序列(3a)中的至少一个时间...
用于分割加工板类工件的方法和机器组件
为了监测在正在进行的制造方法的范畴中通过分割加工板类的初始工件(2)而从初始工件(2)、特别是金属板生产的加工产品(11)的性状,在制造方法的进程中,在初始工件(2)的分割加工之前,检测加工产品(11)的性状,其方式是,在初始工件的分割加工...
考虑调节变量限制的基于平坦性的控制
本发明一种用于对控制对象()进行基于模型的运行,尤其是控制,的方法,该控制对象优选呈冷却剂系统的子系统的形式,该控制对象优选用于运行电化学能量转换器,所述方法包括如下步骤:在考虑所述控制对象()的促动器的调节变量限制(/)的情况下确定该促动...
驱动及校准包含可变波长LED的显示设备的方法
本发明提供一种驱动包含可变波长LED的显示设备的方法。该可变波长LED是该设备的像素或设备像素的多个子像素中的一者,且该显示设备经程序化以使用N个可用原色发射波长λP的调色盘来操作,其中该N个可用原色中的各者是可由该可变波长LED发射的波长...
厚膜化组合物、制造经厚膜化的抗蚀剂图案的方法、以及制造经加工基板的方法
[问题]提供一种厚膜化组合物。[解决方案]提供了一种厚膜化组合物,其含有聚合物(A)和溶剂(B),该聚合物(A)含有由式(a1)表示的重复单元(A1)。
负型感光性树脂组合物、干膜、固化物、电子部件
提供:能够得到具有更优异的断裂伸长率的固化物而不有损作为负型感光性树脂组合物的分辨率的目标的溶解对比度(γ值)的负型感光性树脂组合物。提供一种负型感光性树脂组合物,其特征在于,包含:(A)多羟基酰胺化合物、(B)光产酸剂、(C)交联剂和(D...
感光性树脂组合物、固化物及半导体元件
本发明的一种方式的感光性树脂组合物含有马来酰亚胺化合物、交联剂及光聚合引发剂,马来酰亚胺化合物为四羧酸二酐、胺及马来酸酐的反应物,胺包括二聚体二胺及二聚体二胺以外的第二胺,交联剂包括具有含氮原子的杂环的聚合性交联剂。
感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法
本发明所涉及的感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂,粘合剂聚合物具有源自丙烯酸的第1结构单元、源自苯乙烯或苯乙烯衍生物的第2结构单元及源自(甲基)丙烯酸酯化合物的第3结构单元,以源自构成粘合剂聚合物的聚合性...
固化性树脂组合物、固化物、具备该固化物的印刷布线板
(课题)提供一种可在短时间内形成与以往的固化性树脂组合物相比有高分辨率的固化物图案的、高敏感度的固化性树脂组合物。(方案)对于包含有含羧基树脂、无机填充材料、热固化性树脂、光聚合引发剂及光聚合性单体的固化性树脂组合物,将相对于固化性树脂组合...
感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件
本发明公开了一种感光性树脂组合物、将树脂组合物固化而成的固化物、包含固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、层叠体的制造方法、包括固化物的制造方法的半导体器件的制造方法及包含固化物的半导体器件,所述感光性树脂组合物含有:树脂,其为具有聚合性基...
负型感光性树脂组合物、以及使用其的固化浮雕图案的制造方法及固化膜
提供负型感光性树脂组合物,其包含(A)聚酰亚胺树脂:100质量份、(B)含氮杂环式化合物:0.01~10质量份、及(C)光聚合引发剂:1~30质量份。
感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法
本发明所涉及的感光性元件具备支撑体及使用感光性树脂组合物在该支撑体上形成的感光层,其中,感光层的厚度为10μm以下,感光层含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂,粘合剂聚合物具有源自丙烯酸的第1结构单元,粘合剂聚合物的酸值为...
用于将物场成像至像场的成像EUV光学单元
一种用于将物场(5)成像至像场(11)的成像EUV光学单元(10)。成像光学单元(10)具有多个反射镜(M1至M5),用于沿成像束路径引导波长短于30nm的EUV成像光(16)。成像EUV光学单元(10)具有至少0.3的像侧数值孔径。多个反...
储料器隔室
用于储存EUV盒部件的储料器隔室,包括多个子隔室(120a至120e),每个子隔室适于储存一个EUV盒部件,子隔室以竖直堆叠的顺序排列,多个子隔室的每个子隔室限定竖直延伸的前侧和竖直延伸的后侧,其中设置有多个挡板(128a至128e),使得...
防护膜及防护膜组件
一种防护膜(100),其含有第1纤维状材料(1)和第2纤维状材料(2),第1纤维状材料(1)的长度LFB1为20μm以下,第2纤维状材料(2)的长度LFB2为100μm以上且小于250μm。一种防护膜组件(200),其具备:具有框部(31)...
光掩模、制造半导体器件的方法以及半导体器件
本公开涉及一种用于光刻步进机的光掩模(20)。该光掩模(20)包括步进场(111)。步进场(111)包括位于步进场(111)的第一边缘部分(101)中的第一对准标记(107)。第一对准标记(107)限定了包括第一线(121)和多条平行的第二...
光学设备和包括该光学设备的电子设备
一实施例提供了一种光学设备,包括:光源单元;光调制器,设置为与光源单元隔开;反射构件,将从光源单元出射的光反射到光调制器;光学构件,邻近光源单元设置;第一光学元件,设置在光学构件内;以及多个第二光学元件,设置在光调制器与第一光学元件之间,该...
相位调制模块
本发明的相位调制模块(1)包含:基座部(2)、相位调制元件(6)、具有第1侧壁部(71)、第2侧壁部(72)及顶壁部(73)的保持部(7)、以及填充材(8)。顶壁部包含第1延伸部分(75)及第2延伸部分(76)。第1延伸部分及第2延伸部分的...
电子式指示仪表
电子式指示仪表具有:液晶显示面板;印刷电路板,其安装有背光及发热部件,配置于液晶显示面板的背面侧;以及导光板(5),其设置于液晶显示面板和印刷电路板之间,从侧面导入来自背光的入射光而朝向液晶显示面板的背面射出。导光板(5)具有肋部(50),...
高分子分散型液晶膜
本发明的目的在于提供能够实现着色状态和透明状态的切换、并且着色状态下的透明性得到了提高的高分子分散型液晶膜。本发明的高分子分散型液晶膜(100)依次包含第1透明导电性膜(10)、高分子分散型液晶层(20)及第2透明导电性膜(30),上述高分...
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