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半导体装置以及其制作方法
本发明公开一种半导体装置以及其制作方法, 其中该半导体装置包括半导体基底、多个垫结构、填充介电层、第一压应力层以及第二压应力层。多个垫结构设置在半导体基底上。填充介电层设置在半导体基底上且覆盖多个垫结构。填充介电层包括第一部分与第二部分。第...
封装结构
本发明提供一种封装结构, 包括电路板、光学共封装基板、专用集成电路组件、玻璃中介层、电子集成电路组件、光子集成电路组件以及光纤组件。光学共封装基板配置于电路板上, 而专用集成电路组件配置于光学共封装基板上。玻璃中介层配置于光学共封装基板上且...
一种功率模块及其制备方法、功率设备
本发明涉及半导体器件加工领域, 尤其涉及一种功率模块及制备方法、功率设备。一种功率模块包括封装基板和功率器件, 功率器件内嵌在封装基板内;还包括陶瓷板和阵列散热组件, 封装基板与陶瓷板层叠设置, 封装基板与陶瓷板之间设置有导热胶片, 阵列散...
功率模组及功率变换装置
本申请实施方式提供一种功率模组及功率变换装置。功率模组包括金属基板、第一绝缘层、功率芯片及第一外线路层, 金属基板包括沿第一方向层叠设置的金属基材、介质层、基板线路层, 第一绝缘层覆盖基板线路层及介质层, 功率芯片埋设于第一绝缘层内并与基板...
利用热自分裂工艺制造GaN HEMT器件的方法
本发明涉及一种利用热自分裂工艺制造GaN HEMT器件的方法。根据本发明的实施方式提供一种具有增强电绝缘性的GaN HEMT外延晶片, 包括:生长衬底;在生长衬底上生长的成核区域;具有高电阻电特性的高电阻区域, 其包括由生长为掺杂碳的III...
半导体结构及其制作方法
本发明提供一种半导体结构及其制作方法, 所述方法包括:提供衬底, 衬底包括MOS器件区与熔丝区, MOS器件区内形成有MOS器件;在MOS器件区与熔丝区内形成阻挡层, 阻挡层覆盖MOS器件与衬底;在MOS器件区的阻挡层上形成与MOS器件相连...
修复铜表面损伤和凸起缺陷的方法
本发明提供了一种修复铜表面损伤和凸起缺陷的方法, 包括:S1:在经化学机械研磨和退火工艺之后得到的铜互联结构及其周围的第一介质层的表面沉积得到隔绝层;S2:采用刻蚀、清洗以及退火工艺, 去除位于铜互联结构区域的隔绝层, 并露出铜互联结构;S...
硅通孔互连结构的制备方法
本申请公开了一种硅通孔互连结构的制备方法, 其中, 硅通孔互连结构的制备方法包括:提供硅晶圆, 其中, 硅晶圆具有通孔, 通孔内填充有导电金属;对硅晶圆的上表面与上载片进行临时键合;基于第一减薄方式对硅晶圆远离上载片的一侧进行减薄, 以使减...
一种多层层压机顶针机构
本发明公开了一种多层层压机顶针机构, 包括顶针驱动部、顶针连杆和顶针部, 每层加热板均具有沿水平方向分布的伸缩槽和沿竖直方向分布的顶针安装槽, 且伸缩槽和顶针安装槽相连通;顶针驱动部安装在加热板的侧面且与伸缩槽位置相对应;顶针连杆与顶针驱动...
晶圆夹持工具
一种晶圆夹持工具包含主框、多个抵压装置、移动装置以及手把。抵压装置绕中心设置于主框, 抵压装置中每一者配置以至少部分可沿第一方向朝向中心移动以抵压晶圆。移动装置设置于主框, 并配置以在晶圆被抵压装置抵压后夹持及移动晶圆。手把设置于主框并沿第...
基板保持装置及湿法设备
本发明公开了一种基板保持装置及湿法设备, 包括旋转卡盘, 旋转卡盘具有中间通道, 旋转卡盘用于绕中间通道的轴线旋转;旋转卡盘的顶部设置有从内向外径向延伸的导流槽, 导流槽具有第一侧壁、多个第二侧壁和底壁, 第一侧壁围设在中间通道的外围, 多...
机械手、半导体设备以及机械手的调节方法
本申请提供了一种机械手、半导体设备以及机械手的调节方法, 涉及半导体技术领域, 解决了机械手不能灵活调节吸附部伸出长度的技术问题。机械手包括移动部与固定部, 移动部与固定部密封连接;移动部的末端设置有能够吸附基板的吸附端, 吸附端上设置有吸...
芯片拾取方法及芯片由下至上键合方法
本发明属于半导体材料加工技术领域, 公开了一种芯片拾取方法、芯片由下至上键合方法。该方法包括控制顶出装置在芯片的背面将芯片由初始位置顶起至待吸附位。控制吸附机构移至待吸附位吸附保持芯片。吸附机构的保持空间内壁接触芯片的正面棱边, 以使芯片正...
一种翘曲晶圆真空吸附撕膜平台
本发明涉及晶圆加工技术领域, 提供一种翘曲晶圆真空吸附撕膜平台, 包括弹性吸盘、边缘真空吸附槽、翘曲吸盘本体和真空截止阀, 所述弹性吸盘安装在翘曲吸盘本体上, 用于根据晶圆翘曲形状进行自适应第一次吸附, 所述边缘真空吸附槽开设在翘曲吸盘本体...
一种光伏电池片串焊排版设备及其串焊方法
本发明公开了一种光伏电池片串焊排版设备及其串焊方法, 涉及电池片串焊排版相关领域。本发明该光伏电池片串焊排版设备通过多电机协同驱动, 实现了电池片的自动化上料、精准排版及有序输送, 第一电机带动主动轮与皮带, 使滑动件沿方形导槽运动, 并通...
一种用于晶圆的对中机构
本发明涉及一种用于晶圆的对中机构, 包括定位基座、驱动装置、夹持板以及两对用于直接接触frame晶圆的接触件, 驱动装置安装在定位基座上, 夹持板与驱动装置的运动输出端连接, 用于夹持frame晶圆;其中一对接触件安装在夹持板上且位于定位基...
一种晶圆纠偏方法及晶圆纠偏装置
本发明涉及晶圆加工技术领域, 具体涉及一种晶圆纠偏方法及晶圆纠偏装置。晶圆纠偏方法, 包括:将晶圆放置在旋转吸盘上, 光电传感装置测量晶圆上任一边缘点与晶圆圆心的第一距离、上述边缘点与旋转吸盘的旋转中心的第二距离以及上述边缘点与晶圆圆心的第...
晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法
本申请实施例提供了一种晶圆对中机构、晶圆加工设备和晶圆对中控制方法, 属于半导体器件的技术领域, 晶圆对中机构包括单元主体平台(1), 设备机架(2)、光电传感器(3)、单元调平组件(4)和电磁式滑销组件(5), 在单元主体平台(1)上安装...
基板对准系统
基板对准系统包括:工作台模块, 在工作台模块上设置第一基板和在第一方向上与第一基板间隔开的第二基板, 工作台模块包括框架、移动部和支撑部, 移动部使第一基板和第二基板移动, 支撑部支撑第一基板和第二基板;以及机器人模块, 用于向工作台模块移...
一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统
本发明涉及晶圆技术领域, 尤其为一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统, 包括机架、调位组件、解锁组件、载物台和晶圆装载盒, 所述机架包括架板, 所述架板的前侧固定连接有托板, 所述架板的内侧开设有处于托板上侧的取口, 所述架板的前侧...
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