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从模块以及至少开始模块化控制器系统的从模块的迭代注册的方法
本发明涉及一种用于模块化控制器系统(100)的从模块(1),该模块化控制器系统包括主模块(50)并且采用工业网络(90)。从模块(1)包括处理单元(10)和耦接到处理单元(10)的网络适配器(20)。为了促进控制器系统(100)的调试并允许...
带有无刷永磁马达的致动器
公开了一种用于移动HVAC系统中负载的致动器(1)。致动器(1)包括马达(15),马达为无刷永磁马达。致动器包括齿轮单元(16),其中齿轮单元(16)的输入侧耦合到转子,并且齿轮单元(16)的输出构件(12)被配置为耦合到负载。致动器还包括...
用于形成设施的、尤其工业环境中的设施的、用于形成设施的数字孪生的三维运动学模型的计算机辅助的方法和装置
本发明涉及用于形成设施、尤其工业环境中的设施的、用于形成设施的数字孪生的三维运动学模型的计算机辅助的方法以及装置,其中a)通过第一模块在第一时间点创建并存储设施的第一3D扫描,b)根据检测结果通过第三模块在至少一个随此之后的第二时间点创建并...
用于训练机器学习系统的方法和设备
用于训练机器学习系统(60)的计算机实施的方法(300),所述机器学习系统(60)用于在工程系统(100,200)的模型预测控制中使用,其中机器学习系统(60)构成用于:关于待控制的工程系统(100,200)的运行状态和/或环境状态求出表征...
使用数据通信的增强型远程控制
本说明书提出一种根据从控制器(CTLR)重复接收的命令来控制操作至少一个执行器的代理(AGT)的方法,所述代理从感测执行器的环境的至少一个传感器重复接收测量数据,所述测量数据在迭代k处定义由执行器在先前迭代k‑1处应用标称命令(2)产生的执...
包括传感器组件的电子装置
根据本文中公开的实施例,电子装置可以包括:壳体,包括第一表面和面对与第一表面相反的方向的第二表面;印刷电路板,设置在第一表面和第二表面之间的空间中;传感器组件,包括设置在第一表面和印刷电路板之间的至少一个传感器和设置在面对印刷电路板的表面上...
用于金属氧化物光刻胶的后显影处理
本文所披露的实施方式包括金属氧化物光刻胶的后显影处理的方法。在实施方式中,一种方法包括在基板之上沉积金属氧化物光刻胶,通过极紫外线(EUV)曝光来暴露金属氧化物光刻胶以形成已暴露区域及未暴露区域,使已暴露的金属氧化物光刻胶显影,及对经显影的...
抗蚀剂图案填充液以及使用其来制造抗蚀剂图案的方法
提供了一种抗蚀剂图案填充液以及使用其来制造抗蚀剂图案的方法。
用于在光刻设备中夹持图案化装置的系统和方法
图案化装置(例如,掩模版)通常通过真空夹具夹持到光刻设备中的卡盘,以在扫描方向上驱动图案化装置。用于扫描的图案化装置的加速通常会导致图案化装置以螺旋形和/或扭曲形状变形。描述了一种新的夹持系统,该夹持系统包括被配置为向图案化装置施加夹持力的...
衬底边缘图案化技术
用于快速地对衬底面板的一个或多个边缘区域进行成像而不对衬底面板的其他区域(诸如衬底面板的已暴露于紫外(UV)光的区域)进行成像的各种技术。在一些示例中,照明掩模组件可以联接到夹具组件并用于对衬底面板的至少一个边缘区域(诸如包括一个或多个虚设...
具有流体处理结构的光刻装置
本文中公开了一种光刻装置,该光刻装置包括与衬底和/或衬底支撑件间隔开间隔距离的流体处理结构;被配置为移动衬底支撑件并且由此移动衬底的定位设备;以及控制系统,该控制系统被配置为控制定位设备,使得衬底支撑件沿着包括一个或多个准备运动和一个或多个...
用于控制光学元件的位置的方法和系统
本公开提供了一种控制光学元件的位置用于投影图像的方法,该方法包括以下步骤:‑提供光学元件,光学元件具有至少一个致动器,以允许光学元件在至少第一自由度和至少第二自由度中的移动;‑确定光学元件在至少第二自由度中的移动误差;‑使用光学元件在第一自...
分解性膜的使用方法及抗蚀图案的制作方法
本发明提供一种分解性膜的使用方法,其具备:准备分解性膜的工序,所述分解性膜含有脂肪族聚碳酸酯和通过照射能量射线产生酸或碱的酸/碱产生剂,除上述脂肪族聚碳酸酯以外的粘着性树脂的含量为10质量%以下;对上述分解性膜的整个面或俯视平面的一部分照射...
感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法及固化膜
本发明涉及感光性树脂组合物等。一种感光性树脂组合物,其为包含(A)聚酰亚胺、(B)溶剂以及(C)光聚合引发剂的负型感光性树脂组合物,前述(A)聚酰亚胺具有下述通式(1):所示的结构,且侧链不具有聚合性官能团,前述(A)聚酰亚胺的重均分子量(...
感光性树脂组合物、图案固化物、图案固化物的制造方法和电子部件
感光性树脂组合物含有具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体和具有烯丙基位为烃基的乙烯基的交联剂。
感光性树脂组合物、固化物及电子部件
本发明以提供具有优异的耐热性、与金属材料、特别是铜的密合性优异、并且耐迁移性优异的电子部件所具备的固化物作为目的,以提供含有(A)树脂、(B)感光剂、(C)式(1)所示的化合物和(D)式(2)所示的化合物的感光性树脂组合物作为宗旨。
用于评估投射镜头的像差的测量值的方法
本发明涉及一种用于评估微光刻投射曝光设备(10)的投射镜头(22)的至少一个像差的测量值(50)的方法。测量值已在投射镜头的场平面中的多个场点(52)处确定,其中投射镜头包括用于引导曝光辐射(14)的多个光学元件(E1‑E4)并且包括操纵器...
用于模拟光刻中的重叠校正诱发的成像影响的方法和系统
本文描述了一种用于获得与光刻设备在光刻过程期间执行的规定重叠校正相关的衰减数据的方法和系统。可以基于该衰减数据模拟光刻过程,以预测通过光刻过程的图案的成像。该模拟预测指示归因于重叠校正的成像影响的图案化参数集合。基于所预测的影响,可以在对衬...
投影装置和包括该投影装置的电子装置
实施方式公开了投影装置,该投影装置包括:光源单元,其发射光;光调制器,其用于调制光;投影透镜单元,在该投影透镜单元上入射有由光调制器调制的光;以及棱镜,其布置在光调制器与投影透镜单元之间,其中,投影透镜单元包括沿光轴顺序地布置的第一投影透镜...
用于投影仪光圈的组合傅里叶滤波器
用于投影透镜组件的组合傅里叶滤波器。一个实施例提供了一种投影透镜组件,该投影透镜组件包括被配置为将来自调制器的三色光在空间上傅里叶变换到傅里叶平面上的透镜,以及设置在傅里叶平面处并被分成多个区域的滤光器。滤光器的至少第一区域对三色光基本上透...
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