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碳化硅金属氧化物半导体场效应管及其制造方法
本发明涉及一种碳化硅金属氧化物半导体场效应管及其制造方法,所述碳化硅金属氧化物半导体场效应管包括:第一外延层,具有第一导电类型;第二外延层,具有第一导电类型,位于所述第一外延层上,且掺杂浓度大于所述第一外延层的掺杂浓度;所述第一导电类型和第...
调节MOS晶体管的阈值电压的方法
本发明提供了一种调节MOS晶体管的阈值电压的方法,所述方法包括提供衬底,所述衬底包括第一沟道、第二沟道、第一氧化层及第二氧化层,所述第一氧化层覆盖所述第一沟道表面,所述第二氧化层覆盖所述第二沟道表面;对所述第一氧化层执行第一粒子辐照,在所述...
形成半导体结构、沉积偶极层及形成半导体器件的方法
公开了形成半导体结构的方法。所公开的方法包括通过循环沉积过程在高k电介质材料的表面上沉积包含三元镓材料的偶极层。还公开了通过原子层沉积过程在衬底上沉积偶极层的方法。还公开了采用三元镓材料形成半导体器件的方法。
半导体装置
本发明涉及半导体装置。课题在于实现即使是微细的像素电路,也在不使开口率变小的情况下具备良好电特性的半导体装置。半导体装置具备:具有图案的氧化物半导体层;栅电极,其与前述氧化物半导体层对置;栅极绝缘层,其设置在前述氧化物半导体层与前述栅电极之...
半导体功率器件及其制备方法
本发明涉及半导体功率器件技术领域,公开了一种半导体功率器件及其制备方法,旨在提升器件耐压性能与可靠性。该终端结构包括衬底;外延层,位于衬底的上方;重掺杂区,位于外延层中;结终端扩展区,位于外延层中,且与重掺杂区接触;氧化层,位于重掺杂区和结...
一种优化电场的超结结构及其制备方法
本发明公开了一种优化电场的超结结构及其制备方法,包括:第一导电类型衬底层;第一导电类型外延层,位于衬底层的上表面;第二导电类型杂质注入区,位于器件两端的外延层内;第二导电类型体区,位于器件两端的外延层内,且位于对应的杂质注入区上;第一导电类...
碳化硅MOSFET及其制备方法、芯片、电子设备
本申请提供一种碳化硅MOSFET及其制备方法、芯片、电子设备,在碳化硅MOSFET中的源极沟槽底部设置的第一保护层,可以有效降低碳化硅MOSFET处于关断状态时,降低源极沟槽底部的电场。其中,具体通过避免高能量对体区的注入损伤,可有效屏蔽碳...
半导体装置
本公开的目的在于提供能够兼得“恢复dV/dt max”及导通损耗的折衷的改善和栅极总电荷量Qg降低的半导体装置。本公开的半导体装置具备:半导体基板;发射极电极,形成在半导体基板之上;第一导电型的漂移层,形成在半导体基板之中;第二导电型的基极...
半导体晶体管器件以及制造半导体晶体管器件的方法
公开了半导体晶体管器件以及制造半导体晶体管器件的方法。本申请涉及一种半导体晶体管器件(1),其具有:源极区(2);本体区(3),其包括在竖向方向(10)上延伸的沟道区(3.1);漏极区(4);栅极区(6),被布置成在横向方向(11)上在沟道...
半导体装置
提供一种半导体装置,能够提高可靠性。一实施方式的半导体装置具备:半导体部,其具有单元区域和设置在单元区域的外侧的终端区域;第一电极,其设置在半导体部的背面上;第二电极,其设置在半导体部的正面侧;控制电极,其经由沿从单元区域朝向终端区域的方向...
半导体结构及其制备方法、存储阵列、存储器、逻辑器件、电子设备
本申请的实施例提供一种半导体结构及其制备方法、存储阵列、存储器、逻辑器件、电子设备,旨在增加栅极与栅介质层的接触面积,从而提高栅极的控制能力。本申请实施例中提供的半导体结构,栅极包括面向沟道柱侧壁的第一表面、以及与第一表面相邻的第二表面;栅...
半导体装置
一种半导体装置,包括:下层间绝缘层、有源图案、多个纳米片、栅电极、源极/漏极区域、衬垫层、接触隔离层和源极/漏极接触件,其中,接触隔离层的侧壁包括在第一水平方向上与源极/漏极接触件接触的第一侧壁、在第一水平方向上与衬垫层和有源图案中的每个接...
半导体器件及其制备方法、电子设备
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、电子设备,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决半导体器件的制备过程中,湿法刻蚀技术会导致势垒层被栅极材料沾污的问题;所述半导体结构包括:衬底、沟道层、势垒层、盖帽层、栅极、源极、漏极和第一隔离结构;沟道层...
半导体器件及其制备方法、电子设备
本公开提供了一种半导体器件及其制备方法、电子设备,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决半导体器件的制备过程中,湿法刻蚀技术会导致势垒层被栅极材料沾污的问题;所述半导体结构包括:衬底、沟道层、势垒层、盖帽层、栅极、源极、漏极和第一隔离部;沟道层和...
基于p型氧化铌偶极子的金属-氧化物-半导体器件及其制造方法
本发明涉及基于p型氧化铌偶极子的金属‑氧化物‑半导体器件及其制造方法,属于半导体器件制造技术领域。本发明的技术方案包括一种MOS器件,其栅介质叠层自下而上依次包括界面层、高k介电层和包含氧化铌的p型电偶极子层。其制备方法采用原子层沉积工艺沉...
具有外延轻度掺杂部分的半导体元件及其制造方法
本申请公开一种具有外延轻度掺杂部分的半导体元件及其制造方法。该半导体元件包括:一基板;多个凹槽,从该基板的一顶表面凹陷且定义一通道区,其中该通道区位于该多个凹槽之间且相邻于该基板的该顶表面;一栅极结构,位于该通道区上;多个杂质区,包括多个轻...
平坦触点沟槽MOSFET及其制造方法
一种包括多个沟槽的平坦触点沟槽MOSFET(210,220),其中两个沟槽之间的台面包括半间距P+掺杂的平坦触点区(212)和半间距N+掺杂的NP结区(222),并且其中所述半间距N+掺杂的NP结区(222)的表面与所述半间距平坦触点区(2...
一种芯片、制备方法及电子设备
本申请公开了一种芯片、制备方法及电子设备,芯片包括衬底、沟道结构、设置于沟道结构两侧的源极和漏极。沟道结构包括堆叠且交替设置的栅极结构和沟道层,栅极结构包括在第一方向上依次设置的第一牺牲层、第一内侧墙、控制栅、第二内侧墙和第二牺牲层,不仅降...
一种P-Cr2O3/P-NiO为复合盖层的增强型GaN HEMT器件及其制备方法
本发明公开了一种P‑Cr2O3/P‑NiO为复合盖层的增强型GaN HEMT器件及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括:依次层叠设置的衬底、缓冲层、沟道层、插入层、势垒层;复合盖层,位于势垒层的上表面,复合盖层包括层叠设置的P‑Cr2O3层...
一种晶体管器件及其制备方法
一种晶体管器件及其制备方法,本发明涉及于功率半导体器件,为提高器件的可靠性及效能,本发明通过设置激活浓度不同的第一P型盖层及第二P型盖层,下层的P型盖层的激活浓度较高,保证了器件的阈值电压可达到较高的数值,减低增强型器件被误开启的机会;上层...
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