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一种金属共晶键合的MEMS压力传感器及其制备方法
本发明涉及一种金属共晶键合的MEMS压力传感器及其制备方法,属于微机电系统技术领域。本发明提供了一种金属共晶键合的MEMS压力传感器及其制备方法,所述传感器的组成包括:基座、下键合薄膜、上键合薄膜、衬底、绝缘膜、电阻条和热敏电阻薄膜;衬底、...
具有仿生微凸结构的压阻式柔性压力传感器及制造方法
本发明公开了一种具有仿生微凸结构的压阻式柔性压力传感器及制造方法,所述压阻式柔性压力传感器由上、下层柔性基底以及封装于其间的柔性压敏层和导电电极组成;所述柔性压敏层的上表面具有仿人体皮肤乳突结构的不规则分级微凸结构,其下表面贴附有两根平行设...
压力检测装置和薄膜压力传感器组件
本发明提供一种压力检测装置,其包括受力层和被设置在所述受力层的容纳腔内的薄膜压力传感组件,其中所述薄膜压力传感组件包括一个印刷电路板、至少两个导电件、一个压力感应层、一个绝缘层和一个力传递件,其中所述印刷电路板形成一个预设表面和至少一个气孔...
压力检测装置和薄膜压力传感器组件
本发明提供一种压力检测装置,其包括受力层和被设置在所述容纳腔内的薄膜压力传感组件,其中所述受力层形成一个容纳腔,所述薄膜压力传感组件包括一个内层、一个薄膜压力传感器和一个力传递件,其中所述内层形成一个支撑平面,所述薄膜压力传感器的支撑侧被放...
一种灵敏度自动补偿的压电石英传感器及测量方法
本发明提供一种灵敏度自动补偿的压电石英传感器及测量方法,涉及传感器技术领域,该压电石英传感器包括传感器壳体、石英敏感单元、预紧单元、信号处理单元以及石英环单元,石英环单元套设于预紧单元,该预紧单元向石英环单元施加预紧力,施加在石英环单元和石...
石英谐振式压力芯体、加工方法及传感器
本发明涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种石英谐振式压力芯体、加工方法及传感器。该石英谐振式压力芯体包括:振梁层、感压层和基底层。振梁层形成差分式测压振梁结构;感压层与振梁层通过石英直接键合,感压层形成有电极引出孔;基底层与振梁层通过石英直...
模块化多功能接触压力锚定测试装置及方法
本发明提供了一种模块化多功能接触压力锚定测试装置及方法,定位配准模块上的第一定位件与非封装传感器上的第一定位孔配合,并与信号转接系统模块上的第二定位孔配合,使非封装传感器和信号转接系统模块的各层结构上下对齐,并使信号转接系统模块的触点与非封...
一种高灵敏度柔性压力传感器
本发明涉及传感器技术领域,特别是涉及一种高灵敏度柔性压力传感器。所述高灵敏度柔性压力传感器,由上至下依次为第一基底层、第一电极层、第一薄膜层、支撑结构层、第二薄膜层、第二电极层、第二封装层,所述支撑结构层上开设有空腔层,所述空腔层的高度与所...
基于磁膜倒置与差分磁传感的抗磁场干扰磁性触觉传感器
本发明公开一种基于磁膜倒置与差分磁传感的抗磁场干扰磁性触觉传感器,包括底层柔性电路板、顶层柔性电路板、磁性薄膜、底部隧道磁阻元件、弹性体和顶部隧道磁阻元件;磁性薄膜的中心位置设有镂空区域,磁性薄膜粘贴在底层柔性电路板上,磁性薄膜的充磁方向沿...
一种用于深槽部位的土压力计装置及安装方法
本发明提供一种用于深槽部位的土压力计装置及安装方法,包括土压力计固定架、土压力计固定盘、锥形框架和弹簧锁紧装置,所述土压力计固定架一端固定连接有液压支撑附件,所述液压支撑附件内设有能伸缩移动的压力推进器,所述压力推进器一端安装有圆盘形的支撑...
力敏层及其制造方法、设备
本申请公开了一种力敏层及其制造方法、设备。该力敏层可应用于基架曲面,该力敏层包括绝缘层和力敏阵列,绝缘层覆设于基架曲面,该力敏阵列包括多个力敏块并设置于基架曲面和绝缘层之间,多个力敏块间隔排列,相邻力敏块之间形成有间隙区,力敏块的电阻值随受...
一种涡轮发动机齿轮动应力测试系统
本发明属于航空发动机测试技术领域,公开一种涡轮发动机齿轮动应力测试系统,包括电器安装座、滑环引电器、驱动轴、第一阻尼环、阻尼环安装座、第二阻尼环和信号线;试验锥齿轮的中心孔与驱动轴的一端连接,试验锥齿轮的轴端与轴承座转动连接,电器安装座与多...
一种锚链轮应力检测方法
本发明涉及锚链轮检测技术领域,公开了一种锚链轮应力检测方法,步骤一:将锚链轮安装在锚机驱动设备上,通过锚链轮上的锚链牙块绷紧锚链;步骤二:将锚链与加载试验台的钢丝绳通过卸扣进行连接;步骤三:利用钢丝绳吊装砝码,模拟锚链轮在船上的受载状态;步...
一种分布式光纤测温校验装置及方法
本发明公开了一种分布式光纤测温校验装置及方法,装置包括恒温装置、升降装置、测控主机、自动校验软件,恒温装置包括恒温槽和恒温控制装置,恒温槽含混合区与工作区,升降装置带动测试工装升降,测试工装固定测温光缆,测温光缆连接测温主机,测温主机反馈温...
一种高精度温度传感器的生产检测设备
本发明公开了一种高精度温度传感器的生产检测设备,涉及传感器生产技术领域,包括测试台,所述测试台侧部安装有控制台,还包括:安装机构,所述安装机构包括连接台,所述连接台固定连接在测试台顶部,所述连接台底部安装有第一电动杆,所述第一电动杆输出端固...
无线传感终端的温度校准方法、装置、设备及存储介质
本发明提供了一种无线传感终端的温度校准方法、装置、设备及存储介质,该方法包括:对无线传感终端在预设温度条件下进行测试,采集外部温度数据和传感器输出数据,得到测试数据集;根据测试数据集,对传感器输出数据进行建模处理,得到温度迟滞误差;根据温度...
一种基于前驱体烧后衍射峰半峰宽的炉温标定方法及应用
本发明公开了一种基于前驱体烧后衍射峰半峰宽的炉温标定方法及应用,属于锂电材料生产设备温度校准技术领域。该方法通过建立镍基前驱体在250~600℃烧结后XRD衍射峰半峰宽(FWHM)与温度的函数关系,实现对烧结炉实际温度的精准标定。具体包括:...
边缘计算驱动的集电环实时监测方法
本发明公开了边缘计算驱动的集电环实时监测方法,涉及集电环温度监测技术领域,包括如下步骤:在集电环正常运行时同步采集所有碳刷的温度,得到碳刷温度样本数据;并进行样本划分,并计算不同温度水平下碳刷温度的差异程度,并进行样本筛选,得到碳刷温度差异...
一种新能源发电系统配电设备故障检测方法
本发明涉及故障检测技术领域,具体公开了一种新能源发电系统配电设备故障检测方法,包括以下步骤:在配电箱顶部的出风口所在位置上安装成像装置,成像装置处于配电箱的外部且不阻碍出风口;保持配电箱内部的温度为安全温度阈值,并保持环境温度满足外部温度节...
一种输电线工程用热棒工作效能远程监测设备及评价方法
本申请涉及输电线工程热棒工程监测技术领域,具体为一种热棒工作效能远程自监测设备及评价方法,采用物联网技术,将监测设备的数据采集传输装置直接安装在热棒顶端,以太阳能光伏供电驱动,测温组块等间距夹持在热棒冷凝段翅片根部,定时监测温度并远程传输到...
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