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用于光刻的晶圆分配方法、APC系统
本发明提供了一种用于光刻的晶圆分配方法、APC系统,所述方法包括:获取待执行光刻的晶圆的第一批次号、ID号及历史信息;根据所述晶圆的第一批次号的尾号及ID号的尾号的奇偶性,将所述晶圆分配于所述第一载台或所述第二载台用于曝光;根据所述晶圆分配...
基于分段多项式非线性拟合的掩膜版关键尺寸补偿方法
本发明涉及掩膜版制造,具体涉及基于分段多项式非线性拟合的掩膜版关键尺寸补偿方法,设计不同孔径大小的孔层,并进行光刻形成整版的孔层,计算每种孔径的孔层对应的CD偏差值;预设分界点,将不同孔径划分为多个区间;采用基于误差梯度的动态分界算法对分界...
光刻胶三维形貌的坏点检测方法、介质、产品及设备
本发明提供了一种光刻胶三维形貌的坏点检测方法、介质、产品及设备。其中上述方法包括:在待检测设计版图的版图图形中筛选得到训练图形;利用预先建立的物理仿真模型对训练图形进行仿真,得到光刻胶三维形貌;从光刻胶三维形貌中提取光刻胶顶部仿真轮廓;使用...
光刻工艺优化方法、装置、终端及介质
本申请提供一种光刻工艺优化方法、装置、终端及介质,其中,光刻工艺优化方法,包括:构建掩膜图形数据组、光源数据组和光刻胶数据组,并基于掩膜图形数据组、光源数据组和光刻胶数据组随机生成父代种群;父代种群包括多个父代个体;基于预设的迭代次数,对父...
结合局域光热效应的超分辨光刻方法及其应用
本公开提供了一种结合局域光热效应的超分辨光刻方法,可应用于微纳加工与先进光刻技术领域,该方法包括:在基底上制备包括光刻胶层和至少一层金属层的超透镜膜层结构,光刻胶层包括具有热交联反应特性的光刻胶;提供具有纳米衍射结构的掩模,纳米衍射结构被配...
自由照明系统及方法
本公开提供了一种自由照明系统,可应用于微纳光刻技术领域,该系统包括沿光路依次设置的:照明光源,用于提供入射光束;数字微镜器件,包括呈阵列排布的多个微反射镜单元,用于根据输入的照明模式的控制图形控制微反射镜单元的角度,以将入射光束中与照明模式...
套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法
本发明提供一种套刻标记以及校正套刻精度量测准确性的方法,所述套刻标记包括:前层套刻标记与当层套刻标记;前层套刻标记包括沿第一方向排列的第一对前层标记、沿第二方向排列的第二对前层标记以及沿第三方向排列的第三对前层标记;当层套刻标记包括第一对当...
一种滴管组件和喷头装置及显影机
本发明公开了一种滴管组件、喷头装置和显影机,该滴管组件包括连接有驱动组件的滴管本体;滴管本体的顶端和驱动组件铰接连接;滴管本体包括用于容置液态材料的柱状管;柱状管的顶端和输送管道连通,底端连接有滴嘴;柱状管的上区段设置有排气口,排气口上设置...
基于状态监测的硒鼓寿命评估方法、装置、设备及介质
本发明涉及LED控制电路板制造技术领域,解决现有技术中上位机难以准确地获悉硒鼓实际健康状态,导致硒鼓寿命评估不准确影响LED电路控制板的可靠性问题,提供了一种基于状态监测的硒鼓寿命评估方法、装置、设备及介质。该方法包括进行测试打印获取打印数...
导电性部件、带电装置、处理盒及图像形成装置
一种导电性部件、带电装置、处理盒及图像形成装置,所述导电性部件,其具备:基材;弹性层,设置于所述基材上;及表面层,设置于所述弹性层上,所述表面层具有由包含第1树脂而构成的海部和包含第2树脂而构成的岛部组成的海岛结构,并且导电剂偏在于所述海部...
图像形成装置及显影装置
一种图像形成装置,具备:图像保持体;及显影装置,使用流动性不同的显影剂对各图像保持体上的图像进行显影,且具备:容纳部,容纳显影剂,且包括沿一方向延伸的第1输送路径、配置于其下且沿该方向延伸的第2输送路径、分别连接第1与第2输送路径的一端与连...
一种计算全息图高效压缩编码方法、校验方法及文件生成方法
一种计算全息图高效压缩编码方法、校验方法及文件生成方法,属于光学检测领域,解决了现有技术存在由于编码前的误差估计不合理,导致计算速度慢,对编码精度和编码文件大小的可控性低,并且压缩效率低的技术问题。基于CGH的相位分布函数,得到条纹线分布示...
一种钟表的上条机构
本发明公开了一种钟表的上条机构,包括钟表外壳、第一蓄能器和第二蓄能器,所述钟表外壳内按距离计时盘距离由近及远分别安装有一层隔板、二层隔板和三层隔板、并且所述钟表外壳内还设置有报时机构、和用于转化第一蓄能器和第二蓄能器动力转环的传动机构,本发...
环形摆陀和包括该摆陀的钟表
本发明涉及一种用于自动上弦钟表的摆陀(1),所述摆陀(1)包括驱动环(2)和配重部分(3),所述驱动环(2)包括第一环形传动部分(20)和第二环形支承部分(22),所述第一环形传动部分(20)设有同轴齿部(21)以驱动钟表上弦,所述配重部分...
电子钟表
本发明提供电子钟表,在切换为计时模式时,能够使作为计时分针和计时时针发挥功能的时分针在短时间内移动到测量开始位置。电子钟表具有:第一操作部,其进行在时刻显示模式与计时模式之间切换的模式切换操作;第一指针,其在时刻显示模式下以12小时制显示时...
一种钟表机构走时测试工装
本发明公开一种钟表机构走时测试工装,应用在钟表机构检测设备技术领域,其技术方案要点是:所述实验台的顶部表面分别设置有用于对数字秒表上设置的三个按钮起按压作用的按压机构、用于对制转销运动瞬间进行同步计时的同步机构、用于对同步机构进行延时断电的...
一种集成热屏蔽层的MEMS原子气室及其制备方法
本发明提供了一种集成热屏蔽层的MEMS原子气室及其制备方法,属于微机电系统与精密计时技术领域。本发明提供的集成热屏蔽层的MEMS原子气室,包括自上至下层叠设置的第一玻璃基板、硅基板和第二玻璃基板;所述硅基板设置有贯穿上下表面的通孔和与所述通...
多周期极低占空比线性光学采样信号的有效信号提取方法
本发明公开了一种多周期极低占空比线性光学采样信号的有效信号提取方法。本发明利用对多周期极低占空比线性光学采样信号中第一个脉冲能量最大值的时间位置的判断,并利用位置迭代的方法,提取出多周期极低占空比线性光学采样信号中所有的完整单周期信号;利用...
一种表冠磁编系统
本发明涉及一种表冠磁编系统,包括设置于表冠旋钮内部的磁体,所述磁体通过转动轴与弹片连接,所述弹片与设置有微型传感器的PCB板连接;当所述表冠旋钮旋转时,所述微型传感器通过感应所述磁体旋转时产生的磁场变化来检测旋转角度,外置的微控制单元根据所...
基于智能传感与自适应调控的手表表芯精准运行系统
本发明涉及智能传感技术领域,提供基于智能传感与自适应调控的手表表芯精准运行系统,包括:多模态传感器模块,用于采集环境参数、表芯状态及地理位置数据;数据处理模块,连接传感器模块,通过多源数据融合生成调控指令;自适应调控模块,连接数据处理模块,...
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