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  • 本发明涉及高精度靶材位移控制的镀膜装置,包括支撑底座、靶位移控制装置、固设于支撑底座支撑面上的镀膜腔体,靶位移控制装置包括支撑支架、安装于支撑支架上的且整体悬空内置于镀膜腔体内的靶位移控制机构;支撑支架非接触式的被容置于支撑底座内部;还包括...
  • 本发明公开了一种天然气发动机用活塞环及其加工方法,涉及活塞环加工技术领域,包括在真空室中对活塞环主体制备低摩擦涂层,出气结构使得反应气体从真空室的底部中心排出、过滤罩对出气结构进行防护,清理结构将过滤罩上的杂质清理至收集盒中;通过设置的真空...
  • 一种连续镀膜系统以及连续镀膜方法,其中连续镀膜系统包括:第一缓冲仓,用于接收待镀膜的器件;工艺仓,用于对所述器件进行镀膜,所述工艺仓设置于所述第一缓冲仓的下游;抽真空组件,至少用于对所述第一缓冲仓抽真空;其中,在所述第一缓冲仓的入口开放以接...
  • 一种连续镀膜系统以及连续镀膜方法,其中连续镀膜系统包括:第一缓冲仓,用于接收待镀膜的器件;至少一个工艺仓,用于对器件进行镀膜,至少一个工艺仓设置于第一缓冲仓的下游;抽真空组件,至少用于对第一缓冲仓抽真空;其中,在第一缓冲仓的入口开放以接收器...
  • 本发明涉及真空镀膜领域,特别是涉及一种基于反向包辊结构的真空卷绕镀膜设备,包括设备本体、两个转动杆、可变形支架、限位杆件和夹持件;设备本体内部设置为镀膜腔,镀膜腔的相对两端设置有设备腔,镀膜腔侧面设置有蒸发件,用于对靶材进行蒸发,设备腔内设...
  • 本发明公开了一种增强传动零件表面硬度的方法,包括:对传动零件进行清洗及烘干处理;将烘干后的传动零件置于真空室内,在传动零件的表面上镀一层金属过渡层;在所述金属过渡层的表面上镀一层DLC涂层。采用本发明的技术方案能够通过在传动零件的表面镀膜来...
  • 本发明公开了一种螺纹杆的镀膜方法,包括:对待镀膜的螺纹杆进行刻蚀清洗处理;通过溅射在清洗后的螺纹杆的表面上形成过渡层;在所述过渡层的表面上沉积DLC涂层。采用本发明的技术方案通过对螺纹杆的表面镀膜,能够有效解决螺纹杆磨损而导致线性运动不准确...
  • 本发明公开了一种切割刀具的镀膜方法,包括:对切割刀具的刀片的表面进行清洗处理;在清洗后的刀片的表面上沉积硅过渡层;在所述硅过渡层的表面上沉积DLC层。采用本发明的技术方案通过在切割刀具的刀片表面镀膜,能够达到良好的切割效果,使得切割边缘更加...
  • 本申请公开了一种大面积金刚石生长的腔体设计与等离子体调控方法,包括:谐振腔壳体;微波馈入系统,设置于所述谐振腔壳体的顶部,用于向腔体内输入微波能量;包括微波入口、馈电天线外导体和馈电天线内导体;绝缘观察窗,水平设置于所述谐振腔壳体的中部,用...
  • 本发明公开了本发明提供了一种高迁移率的n型纳米金刚石薄膜,对单晶硅进行种晶预处理,得到种晶后的单晶硅作为衬底,以丙酮为碳源,利用热丝化学气相沉积法在其表面生长纳米金刚石薄膜;将所述纳米金刚石薄膜置于酸性电解液中,连接电化学工作站,进行循环伏...
  • 一种石英容器的镀膜装置及镀膜方法,该镀膜装置包括:用于容纳石英容器的管式炉,所述管式炉为密封结构,内部设置有用于定位所述石英容器的支承架,以使所述石英容器的中心轴线与所述管式炉的中心轴线同轴;加热机构,其至少覆盖所述管式炉上的容纳有所述石英...
  • 本发明涉及信息技术领域,公开了基于金刚石装甲的防御控制方法、系统及存储介质。方法包括:通过激光扫描和三维建模软件获取金刚石装甲的几何数据,计算区域曲率并标识高冲击和低风险区域;采用有限元分析软件模拟气体流动,细化网格并优化流动路径,识别流量...
  • 本发明提供了一种真空反应腔室的定位系统及定位方法,PLC通过判断挡片的第一当前位置与指定关键位置的关键标定位置的相对位置关系,即可确定第一移动方式,在带动晶圆载台和挡片按照第一移动方式进行移动的过程中,根据挡片对检测光电传感器的触发信号,可...
  • 本发明公开复合镀钌液,按重量份计,包括:含钌化合物前驱体1份,有机溶剂8‑15份,纳米导电增强剂0.05份‑0.5份,粘结剂0.01份‑0.06份,流平剂0.01份‑0.06份;含钌化合物前驱体为水合三氯化钌、无水三氯化钌或硝酸钌的任一种,...
  • 本发明的目的在于提供一种无电解镀钌浴,其是使用肼类作为还原剂的无电解镀钌浴,能够提高浴稳定性,并且钌的析出性优异,能够抑制退火处理时覆膜的收缩。无电解镀钌浴至少含有钌化合物、还原剂和稳定剂,其中,还原剂为肼类,稳定剂由羟胺化合物和具有羟基的...
  • 本发明提供一种BC组件高抗氧汇流带的生产方法。涉及光伏组件技术领域,BC组件高抗氧汇流带的生产方法,包括;S1、基材预处理:选取无氧铜带作为基材,依次进行脱脂、酸洗、水洗和烘干处理;S2、超声波清洗:将S1中烘干后的基材放入超声波清洗槽,采...
  • 本申请涉及表面强化的技术领域,具体涉及一种复合防护层及其制备方法、水轮机过流部件,本申请的复合防护层自水轮机的过流部件基体表面向外依次包括:与基体表面形成冶金结合的镍基抗空蚀激光熔覆层,镍基抗空蚀激光熔覆层用于提供抗空蚀性能,由含有铬、钼和...
  • 本发明公开了一种高强耐磨矫直辊及生产制造工艺, 涉及矫直辊制造技术领域。包括辊套和辊轴,辊套上设置有菱形纹路且覆盖有双层涂层,且包括下层涂层和上层涂层;下层涂层按照重量份计,包括:45~55份的Co,25~30份的Cr,8~12份的W, 3...
  • 本发明提出了一种复合材料及其制备方法,复合材料至少包括:基层;以及聚合物薄膜,原位生长于所述基层的表面上,所述聚合物薄膜的材料包括含氟聚合物、聚酰亚胺或聚苯硫醚中的至少一种。通过本发明提出的材料及其制备方法,能够使复合材料具有优异的耐高温、...
  • 本发明涉及燃料电池金属极板技术领域,具体涉及一种燃料电池金属极板及其镀层加工工艺,包括如下步骤:(1)在燃料电池金属极板表面沉积Me,形成Me打底层;(2)在Me打底层上沉积MexC1‑x,形成第一功能层;(3)对燃料电池金属极板的反应区进...
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