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  • 本发明公开了一种用于微波等离子体化学气相沉积的真空系统,包括真空腔本体、处理器和分别设置在真空腔体进气口用于精确控制各种组分气体的流量和比例的进气系统和设置在真空腔体出气口用于与进气系统联动并通过处理器控制真空腔本体内气压的出气系统;所述的...
  • 本发明涉及半导体制造工艺技术领域,公开了一种加热基座的校准方法、校准系统及化学气相沉积设备,加热基座的校准系统包括控制器和用于调整加热基座水平度的调整器,方法包括:在维护加热基座后,获取晶圆表面沉积的当前膜厚数据;根据当前膜厚数据和晶圆的目...
  • 本申请提供一种晶圆传输装置以及化学气相沉积设备,涉及半导体芯片制造技术领域。晶圆传输装置包括旋转机构和密封机构。旋转机构包括第一驱动单元和传动轴,第一驱动单元驱动传动轴旋转,传动轴具有支撑端,支撑端用于支撑晶圆。密封机构靠近传动轴的支撑端,...
  • 本申请涉及一种半导体设备零件的表面涂层工艺,包括如下步骤:S1、含钇复合涂层沉积:将零件放入至ALD沉积设备中,通入前驱体进行涂层沉积,得到生长含钇复合涂层的零件;S2、等离子轰击:将生长含钇复合涂层的零件在等离子设备中进行等离子轰击,从而...
  • 本发明公开了一种TiAl合金梯度抗腐蚀涂层制备装置与工艺,属于金属涂层制造领域,一种TiAl合金梯度抗腐蚀涂层制备装置,包括:分段控温烧结炉、封闭门板、炉膛、基材支架,所述封闭门板通过转动轴设置于分段控温烧结炉上,所述炉膛固定连接在分段控温...
  • 本发明公开了一种特种工程塑料表面金属化的处理工艺,应用于波导天线塑料基板金属化,具体包括以下步骤:S1、除油:使用除油液对工程塑料的表面进行除油,S2、亲和:使用磺酸类溶剂对工程塑料的表面进行亲和,S3、蚀刻:使用碱/第一有机溶剂的混合液对...
  • 本发明涉及电路板加工技术领域,尤其涉及一种电路板沉铜设备及方法,包括沉铜池本体,沉铜池本体前后侧均设有清洗池,清洗池背离沉铜池本体一端均设有用于换料的攀登梯,所述沉铜池本体两侧均设有滑动座,滑动座顶端滚动安装有平移架,平移架两侧前后端内壁均...
  • 本发明提供一种半导体功率芯片铝基纯钯化学镀液及化学镀方法,镀液包括以下组分:水溶性钯盐、四复合络合剂、pH缓冲剂、还原剂和含硫稳定剂;以镀液总量计,所述水溶性钯盐和四复合络合剂含量为:所述水溶性钯盐以钯计,钯的含量为0.8‑1.2 g/L;...
  • 本发明提供一种用于功率芯片低成本、高镀速纯钯化学镀液,以镀液总量计,包含以下组分:水溶性钯盐0.4‑0.6 g/L、复合络合剂20‑30g/L、pH缓冲剂10‑20 g/L、双还原剂8‑12 g/L、加速剂0.1‑0.5 g/L和稳定剂5‑...
  • 本发明公开了一种铂铑合金化学镀溶液、配制方法以及铂铑合金薄膜的制备方法,属于化学镀技术领域。化学镀溶液包括铂盐、铑盐、还原剂、醇胺类第一络合剂、聚合醇胺类第二络合剂、磷酸盐类稳定剂、添加剂。本发明选用醇胺类与聚合醇胺的复配作为络合剂,以碳酰...
  • 本发明涉及感光材料板技术领域,名称是感光材料板基板氧化装置,包括装置架,在装置架下面安装有氧化槽,所述的升降部件连接有横板,所述的升降部件连接控制装置,在横板的左侧具有竖直设置的固定板,这个固定部是左固定板,在左固定板上安装有朝向右侧的夹具...
  • 本发明公开了一种基于界面键合增强相的钛合金高温拉拔复合皮膜剂及其制备方法与应用,属于钛合金皮膜剂技术领域。本发明基于界面键合增强相的钛合金高温拉拔复合皮膜剂按质量百分比包括:磷酸铝粘结剂15‑20%、纳米羟基磷灰石3‑8%、固体润滑剂14‑...
  • 本发明提供一种管线钢的防腐处理方法、管线钢。本发明提供的管线钢的防腐处理方法包括以下步骤:对包括管线钢基体的氧化体系进行表面氧化处理,得到管线钢中间体;对包括管线钢中间体的还原体系进行表面还原处理,得到管线钢;其中表面还原处理,包括还原体系...
  • 本发明提供一种基于络合反应的铝合金前处理方法,包括如下步骤:S1.使用砂纸打磨LDH生长面,进行清洗和干燥;S2.配制络合剂溶液,所述络合剂选自单宁酸、没食子酸、原儿茶酸中的至少一种;S3.将经过步骤S1处理后的铝合金样品放入步骤S2的络合...
  • 本发明涉及腐蚀防护技术领域,具体为一种基于缓蚀剂浸渍反应的铝合金表面前处理方法,在生长LDH膜层之前,先将铝合金浸入含氧酸盐类缓蚀剂溶液中进行预处理,在表面生成保护膜,以降低铝合金表面不同区域间的电位差,促进电化学分布更加均匀,从而促进后续...
  • 本发明属于材料表面涂层技术领域,具体涉及一种螺杆马达传动轴、其耐磨涂层制备方法和螺杆钻具。该方法包括以下步骤:步骤1):将多边形纯钛颗粒与球形碳化钨陶瓷颗粒按照一定比例装入球磨罐中进行充分混合,得到冷喷涂用耐磨粉末;步骤2):对螺杆马达传动...
  • 本发明提供一种抑制TaHfNbZrWV难熔高熵合金熔覆层开裂的方法,其成分为Ta,Hf,Nb,Zr,W和V各元素按照等摩尔比16.7±0.1mol%组成;将基板放入保温炉内,其中预热温分别为:500℃,700℃,900℃;保温时间分别:20...
  • 本发明提供了一种基于交替激光熔覆技术的高导电耐磨复合基材制备方法,方法包括:以激光熔覆工艺进行高导电银铜基熔覆层与高硬度耐磨镍铝基熔覆层交替制备方式形成一层耐磨性导电性良好的混合搭接熔覆层。以纯Ag、纯Ni、La2O3和纯Cu为银铜基激光熔...
  • 本发明公开了一种水轮机缺陷叶片自适应性激光沉积修复方法和系统,涉及激光增材制造领域,包括:S1、对缺陷叶片进行测量,得到缺陷叶片的轮廓测量点;S2、基于缺陷叶片的轮廓测量点进行曲面重构,得到缺陷叶片模型;S3、利用缺陷叶片模型的无缺陷区域对...
  • 本公开关于齿轮设计技术领域,涉及一种钛合金齿轮及其制备方法,方法包括:形成钛合金齿轮基体,钛合金齿轮基体的周向上设有齿面;在钛合金齿轮基体的齿面上形成熔覆层,熔覆层的材料与钛合金齿轮基体的材料相同;熔覆层包括沿垂直于齿面的方向延伸的柱状晶结...
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