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一种远程等离子体系统及薄膜沉积设备
本发明提供了一种远程等离子体系统及一种薄膜沉积设备。所述远程等离子体系统包括:远程等离子体源;连接柱, 其第一端连接所述远程等离子体源;底座, 其第一端连接所述连接柱的第二端, 而其第二端连接工艺腔室, 其中, 所述工艺腔室与所述底座的第二...
一种高腔PVD启辉放电装置及方法
本发明公开了一种高腔PVD启辉放电装置及方法, 涉及技术领域, 包括:外壳、靶材、基片台、压板、侧防着板、启辉板。外壳上端设置有磁控管;靶材安装于外壳内部的顶壁;基片台水平设置于外壳内, 基片台用于承载基板;压板环绕设置于外壳内侧壁, 压板...
用于半导体工艺设备的检测模组及半导体工艺设备
本申请提供了一种用于半导体工艺设备的检测模组及半导体工艺设备, 半导体工艺设备包括电极组件和用于向电极组件馈入射频信号的馈入电极;检测组件包括:第一导电套筒, 环绕馈入电极设置且与馈入电极绝缘设置;第二导电套筒, 环绕第一导电套筒设置且接地...
用于半导体工艺设备的工艺控制方法及半导体工艺设备
本发明提供一种用于半导体工艺设备的工艺控制方法及半导体工艺设备。所述工艺控制方法包括:至少一个工艺步骤;每个所述工艺步骤分为多个时段, 每个所述时段将所述电流比例维持在一预定值, 且相邻所述时段的所述电流比例的预定值不同, 以提高刻蚀的径向...
一种离子研磨专用样品夹具及其制备方法
本发明公开了一种离子研磨专用样品夹具及其制备方法, 包括主支撑组件, 所述主支撑组件上设置有主安装组件, 所述主安装组件上设置有辅助安装组件, 所述辅助安装组件内设置有第一夹紧组件, 所述主安装组件上开设有辅助孔, 所述辅助孔内设置有导向组...
基板处理装置
本发明涉及基板处理装置, 就在内部成为真空的处理室中对基板进行既定处理的基板处理装置而言, 本发明的课题在于减少流入真空预备室的微粒子。作为本发明的解决手段的基板处理装置在内部成为真空的处理室中对基板进行既定处理, 该基板处理装置具备:真空...
一种X射线管
本发明提供一种X射线管, 阳极组件的靶盘与转子套筒固定连接, 转子套筒与轴承可转动连接;阴极头固定于支撑件靠近阳极组件的一端, 玻璃芯柱固定于支撑件远离阳极组件的一端;阴极头的绝缘瓷安装固定控制栅极和聚焦极, 平面阴极、控制栅极与聚焦极同心...
一种X射线管阴极组件及其装配方法和装配工装组件
本发明提供一种X射线管阴极组件及其装配方法和装配工装组件, 蚊香形灯丝在灯丝台上, 两个灯丝压杆固定于灯丝片两端;灯丝引脚穿过灯丝台与灯丝压杆固定连接;陶瓷组件的电极引脚与连接台、灯丝引脚固定连接, 蚊香形灯丝与聚焦孔中心同轴。本发明通过灯...
碳纳米管冷阴极离子源中子管及基于该中子管的测井方法
本发明属于中子管领域, 具体涉及一种碳纳米管冷阴极离子源中子管及基于该中子管的测井方法。该中子管包括管壳组件、芯柱组件、碳纳米管冷阴极离子源、加速系统、氚钛靶组件和储存器。管壳组件为该中子管的真空密封外壳;芯柱组件与碳纳米管冷阴极离子源、阳...
一种加强电子发射导向性的装置
本发明属于电子流发射装置技术领域, 具体是一种加强电子发射导向性的装置, 包括:基座、导引件柱及至少一条灯丝, 每对导电柱穿设于基座且与一个电源电性连接, 灯丝与导电柱电性连接, 导电柱与基座的连接位置两端分别设有绝缘件包裹在导电柱外部, ...
熔断器、电池包和用电设备
本申请实施例提供一种熔断器、电池包和用电设备, 涉及熔断器技术领域。熔断器包括器件本体和电连接件。器件本体包括可熔断的熔体。电连接件与熔体的端部电连接, 电连接件被构造为还与外部电路电连接, 电连接件的制成材料包括纯度大于99%的铝单质。本...
触头开关及断路器
本公开的实施例提供了一种触头开关及断路器, 该触头开关包括静触头组件;动触头组件, 与所述静触头组件对应设置;传动组件, 与所述动触头组件连接;连杆组件, 与所述传动组件连接, 所述连杆组件包括连杆轴以及背离所述传动组件设置的止位部, 并且...
基于位置式PID控制器的补偿型断路器热脱扣器
本发明公开了基于位置式PID控制器的补偿型断路器热脱扣器, 本发明涉及电力电子技术领域, 包括电流测量模块、补偿电路和步进电机;所述电流测量模块通过电流传感器与断路器电路连接, 用于实时采集开断电流数据并传输至补偿电路。该基于位置式PID控...
框架断路器的电动操作机构
本发明提供一种框架断路器的电动操作机构, 包括电操壳体, 在电操壳体内设置有电机、传动装置和主轴, 传动装置包括传动壳体, 在传动壳体内设置有行星齿轮减速组件、锥齿轮传动组件和直齿轮传动组件, 行星齿轮减速组件与电机输出轴连接并通过锥齿轮传...
一种双断点断路器
本申请提供一种双断点断路器, 属于电气设备技术领域。本申请提供的双断点断路器包括壳体、静触头以及操作机构。壳体内设有安装空间。静触头位于安装空间内。操作机构位于安装空间内, 操作机构位于静触头的一侧, 操作机构包括支持件、触头支持及动触头组...
一种小型断路器
本发明公开了一种小型断路器, 包括:断路器壳体, 所述断路器壳体内设置有端子;可插入直板, 可插拔地设置在所述断路器壳体内;簧片, 安装在所述可插入直板上, 所述簧片与所述端子弹性接触通电;圆筒形安装筒, 与所述簧片一体设置;NTC测温元件...
一种具有监测功能的弹簧组件及断路器
本发明涉及一种具有监测功能的弹簧组件及断路器, 属于高压开关领域, 使用弹簧的设备往往无法对其电气、机械非健康状态进行实时监测, 因而无法预先防范事故的发生, 弹簧压力值、压缩量、疲劳寿命是机械设备非健康状态的关键参数。本发明包括弹簧上固定...
一种基于物联网的智能断路器
本发明属于断路器技术领域, 尤其公开了一种基于物联网的智能断路器, 包括:断路器本体, 用于切断故障线路;安装槽, 所述安装槽数量设置为多个, 多个安装槽分别处于断路器本体顶面及底面, 用于连接线路组件;夹持组件, 设置在安装槽内部, 用于...
一种断路器快速更换装置
本发明涉及一种断路器快速更换装置, 包括基座, 基座固定安装在配电柜内, 基座的上端面两侧沿纵向中轴线对称设有L型固定板, 且通过调节组件相互靠近或远离, 基座的纵向中轴线上设有若干定位柱, 定位柱通过电磁线圈驱动其上下运动;两侧L型固定板...
继电器
本申请公开一种继电器, 包括线圈架、线圈和电路板。线圈缠绕于线圈架的外周;电路板直接与线圈架机械连接, 线圈与电路板电性连接。线圈架起到机械连接电路板的作用, 而线圈仅用于与电路板电性连接, 并不起到机械连接电路板的作用, 如此可避免由于线...
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