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最新专利技术
  • 一种晶圆及其制造方法
    一种晶圆及其制造方法_西安奕斯伟材料科技股份有限公司_202510988379.X
    本公开提供了一种晶圆及其制造方法，晶圆可以包括本体和加强部，加强部从晶圆背面填充到晶圆中；其中，加强部的材料的弹性模量大于本体的材料的弹性模量。
    2026-01-28
  • 半导体管芯以及半导体装置的制作方法
    半导体管芯以及半导体装置的制作方法_联华电子股份有限公司_202511136190.4
    本发明公开一种半导体管芯以及半导体装置的制作方法，其中该半导体装置的制作方法包括下列步骤。对半导体晶片进行分离制作工艺以形成半导体管芯。分离制作工艺包括第一切割步骤、薄化步骤与第二切割步骤。第一切割步骤对半导体晶片进行蚀刻而于半导体晶片中形...
    2026-01-28
  • 晶圆内导线的形成方法、半导体制造设备及半导体器件
    晶圆内导线的形成方法、半导体制造设备及半导体器件_芯恩(青岛)集成电路有限公司_202511263212.3
    本申请提供了一种晶圆内导线的形成方法、半导体制造设备及半导体器件，涉及半导体制造技术领域。包括以下步骤：提供晶圆；在所述晶圆表面沉积阻挡层，所述阻挡层位于所述晶圆的边缘区域的厚度大于所述阻挡层位于所述晶圆的中心区域的厚度；在所述阻挡层上刻蚀...
    2026-01-28
  • 形成集成电路器件的后段制程区域的方法
    形成集成电路器件的后段制程区域的方法_三星电子株式会社_202510646347.1
    提供了形成集成电路(IC)器件的后段制程(BEOL)区域的方法。一种形成IC器件的BEOL区域的方法包括在下通路上形成金属层。该方法包括在金属层的上部部分中形成光键。该方法包括在光键上形成绝缘材料。此外，该方法包括平坦化绝缘材料和包括光键的...
    2026-01-28
  • 形成沟槽的方法、半导体器件的制备方法及工艺设备
    形成沟槽的方法、半导体器件的制备方法及工艺设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410692452.4
    本申请提供一种形成沟槽的方法、半导体器件的制备方法及工艺设备，应用于待刻蚀膜层，待刻蚀膜层上设置有掩膜层，掩膜层具有第一开口和第二开口，第一开口的开口尺寸大于第二开口的开口尺寸，第一开口暴露待刻蚀膜层的第一区域，第二开口暴露待刻蚀膜层的第二...
    2026-01-28
  • 一种晶圆预湿方法及装置
    一种晶圆预湿方法及装置_盛美半导体设备(上海)股份有限公司_202410684019.6
    本发明提出一种晶圆预湿方法及装置，包括：对腔体进行抽真空，使腔体内的真空度达到预设值，腔体内含有晶圆；将液体蒸气化处理为蒸气；将蒸气输送至晶圆表面，使蒸气进入晶圆上的孔中并且在晶圆表面凝结形成液体吸附层。本发明的晶圆预湿方法及装置能够去除晶...
    2026-01-28
  • 多层SOI结构及其制备方法
    多层SOI结构及其制备方法_上海超硅半导体股份有限公司_202511108084.5
    本发明涉及一种多层SOI结构及其制备方法。所述多层SOI结构的制备方法包括如下步骤：于第一硅衬底的表面上形成第一氧化层；于第二硅衬底的表面上形成第二氧化层；键合所述第一氧化层和所述第二氧化层，形成SOI结构；于第三硅衬底的表面上形成第三氧化...
    2026-01-28
  • 半导体结构的形成方法
    半导体结构的形成方法_中芯国际集成电路制造(北京)有限公司_202410705588.4
    一种半导体结构的形成方法，提供待刻蚀层；在待刻蚀层上形成第一掩膜结构；以第一掩膜结构为掩膜刻蚀待刻蚀层，在第一掩膜结构内和待刻蚀层内形成初始第一凹槽和初始第二凹槽，初始第一凹槽的宽度大于初始第二凹槽的宽度；在初始第一凹槽的侧壁表面和底部表面...
    2026-01-28
  • 顶针结构以及涂胶系统
    顶针结构以及涂胶系统_深圳市瑞荣自动化有限公司_202510930565.8
    本发明提供的一种顶针结构以及具有顶针结构的涂胶系统，其中，该顶针结构用于与具有多个导向孔的平台配合使用，顶针结构包括多排平行且间隔设置的顶针组，每排顶针组均包括多个依次间隔设置的顶针，顶针的上半部分分别滑动穿设于对应的导向孔内，顶针结构还包...
    2026-01-28
  • 顶升机构以及涂胶系统
    顶升机构以及涂胶系统_深圳市瑞荣自动化有限公司_202510929657.4
    一种应用于涂胶系统中的顶升机构，包括顶针组件以及驱动顶针组件上下移动的动力部件，顶针组件的顶部有载置半导体基片的放置位，该放置位能够有效地支撑半导体基片，其中，动力部件驱动顶针组件从第一高度位置上升移动至第二高度位置，以使放置位接收机械手转...
    2026-01-28
  • 升降销组件、半导体处理系统及转移衬底的方法
    升降销组件、半导体处理系统及转移衬底的方法_ASMIP私人控股有限公司_202510697765.3
    一种升降销组件包括升降销主体、两个或更多个压电单元和引线。升降销主体包括限定在升降销主体的第一端上的接触特征和与接触特征纵向相对的固定特征。两个或更多个压电单元在升降销主体内堆叠在固定特征与接触特征之间。引线电连接到多个压电单元并且延伸到升...
    2026-01-28
  • 卡盘销及基板保持装置
    卡盘销及基板保持装置_株式会社斯库林集团_202510684222.8
    本发明提供一种卡盘销及基板保持装置。卡盘销设于绕沿上下方向延伸的基准轴旋转的旋转基座，包含主保持部及副保持部。主保持部具有在设于旋转基座的状态下与基准轴相对的抵接面。副保持部具有在设于旋转基座的状态下与基准轴相对的辅助面，且设在主保持部上。...
    2026-01-28
  • 电池片堆叠分离装置
    电池片堆叠分离装置_正泰新能科技股份有限公司_202410673609.9
    本发明提供了一种电池片堆叠分离装置，该装置包括升降机构、旋转机构、旋转臂及拾取机构，其中：升降机构用以驱使旋转臂进行升降移动，旋转机构用以带动旋转臂旋转移动；拾取机构设置在旋转臂上，拾取机构设置有固定吸取件及伸缩吸取件，固定吸取件设置为多个...
    2026-01-28
  • 一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法
    一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法_季华实验室_202511582328.3
    本申请涉及静电卡盘技术领域，具体提供了一种用于大尺寸显示面板的静电卡盘及仿真方法，该卡盘包括：卡盘本体，其底面中心设有进气口；两条相互垂直的主气流通道，设置在卡盘本体内，两条主气流通道的中心均与进气口连通，两条主气流通道用于将卡盘本体划分成...
    2026-01-28
  • 晶圆片和玻璃片的键合工艺方法
    晶圆片和玻璃片的键合工艺方法_深圳市凯达扬自动化有限公司_202511191941.2
    本发明提供一种晶圆片和玻璃片的键合工艺方法，其采用固态的热解胶，并使用热解胶贴附机将晶圆片和玻璃片进行键合。热解胶贴附机包括基座、热解胶平台组件、玻璃平台组件和晶圆贴附机构，热解胶平台组件和玻璃平台组件滑动设置在基座上，晶圆贴附机构转动设置...
    2026-01-28
  • 一种自适应吸头组件及芯片吸取方法
    一种自适应吸头组件及芯片吸取方法_深圳市鸿芯微组科技有限公司_202511189675.X
    本发明公开了一种自适应吸头组件及芯片吸取方法，包括上主体和下球体，上主体的下端面开设有第一球面槽，与下球体配合形成球面接触；上主体的侧部设置有第一气路和第二气路，第一气路和第二气路分别与第一球面槽连通；下球体外部为第二球面，其设置与上主体的...
    2026-01-28
  • 芯片固晶装置及芯片固晶系统
    芯片固晶装置及芯片固晶系统_深圳市联得半导体技术有限公司_202511577719.6
    本申请涉及一种芯片固晶装置及芯片固晶系统，包括承载台；顶针帽组件，设于承载台沿第一方向的一侧，顶针帽组件包括顶针帽和顶针，顶针帽具有空腔，以及朝向承载台的端面构造有连通空腔的开口；顶针帽在靠近承载台一端的侧壁设有透光部；光源组件被配置为，向...
    2026-01-28
  • 一种定位装置及其产品定位方法
    一种定位装置及其产品定位方法_深圳市腾盛精密装备股份有限公司_202410681911.9
    本申请属于机械化取料技术领域，涉及一种定位装置，包括底座、承载台、倾斜角度调节机构、至少一个花篮承载机构以及至少一个产品定位机构；承载台转动装设于底座上；倾斜角度调节机构装设于底座上，且与承载台的底部连接，倾斜角度调节机构用于驱动承载台相对...
    2026-01-28
  • 基板输送装置及输送方法
    基板输送装置及输送方法_广东泰来封测科技有限公司_202510957305.X
    本发明公开一种基板输送装置，在其轨道组件的前端设置第一检测件来检测基板是否变形掉落轨道以及是否传送到指定位置，当基板输送到轨道组件的指定位置时，控制器才控制水平输送组件动作以夹持基板并将基板输送到终止位置，并通过顶料组件来吸附固定位于终止位...
    2026-01-28
  • 一种光伏组件生产用电池片上料装置及方法
    一种光伏组件生产用电池片上料装置及方法_中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司_202510956764.6
    本发明实施例提供了一种光伏组件生产用电池片上料装置及方法，涉及电池片加工领域，包括框架，所述框架的内壁通过传动轴传动连接有传送带，所述框架的外壁通过支撑台安装有吸附机械臂，所述框架的外壁固定连接有电机，且电机的输出轴传动连接有驱动轴。本发明...
    2026-01-28
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