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抗蚀剂组成物及图案形成方法
本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题为提供在使用高能射线的光学光刻中,感度、分辨度及LWR优良、稳定且操作也容易的抗蚀剂组成物,以及提供使用该抗蚀剂组成物的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物,含有:具有金属原子、...
抗蚀剂底层组合物以及使用所述组合物形成图案的方法
公开一种抗蚀剂底层组合物以及使用所述抗蚀剂底层组合物形成图案的方法,所述抗蚀剂底层组合物包含聚合物及溶剂,所述聚合物包括由化学式1表示的结构单元、由化学式2表示的结构单元及由化学式3表示的结构单元。[化学式1][化学式2][化学式3]
抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的制造方法和镀敷造型物的制造方法
本发明的课题在于提供能够形成可以得到充分的分辨率和曝光宽容度的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物。另外,其课题还在于提供使用了该抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法和镀敷造型物的制造方法。本发明涉及抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案的制造方法和镀敷造型物的制造方...
掩模版的制作方法
本发明提供一种掩模版的制作方法,其属于集成电路制造领域。所述掩模版的制作方法在将版图转移到掩模基板上之前,检测原始版图,并对原始版图的斜边上存在的连续的多个最小尺寸小于设定值的小阶梯图形进行平滑化处理,使得修正后的版图中所有的图形的尺寸均大...
亚分辨率辅助图形的设置方法
本发明提供一种亚分辨率辅助图形的设置方法。所述设置方法包括:在将主图形的优化图形外侧能够用于设置辅助图形的区域确定为第一区域,第一区域划分为多个像素,第一区域内的所有像素的初始状态均设置为未写入状态;针对优化图形的关键边界在第一区域内设置初...
光学修正模型及其获取方法、掩膜版图形修正方法
一种光学修正模型及其获取方法、掩膜版图形修正方法,掩膜版图形修正方法,包括:提供待修正版图,所述待修正版图包括第一待修正图形和第二待修正图形;提供光学修正模型;采用第一修正模型对所述第一待修正图形进行第一光学临近效应修正,获取第一修正图形;...
一种可以从多个不同视角独立成像的光学设备
在普通单镜头、单图像传感器的照相机、摄像机、内窥镜、显微镜的镜头和机身之间,加入一个光学系统,实现从进入原镜头的光线中分离出能分别的独立的完整的成像的多路光线,并让这多路光线在原机身内的图像传感器(CMOS或CCD)的不同区域上同时成多个不...
一种双面切换的投影展示装置及其展示面切换方法
本发明公开了一种双面切换的投影展示装置及其展示面切换方法,包括展示件和切换装置;展示件的一侧为展示方向,展示方向上有投影装置;展示件有正反两面;正面为投影面,投影面朝向展示方向时,能显示出投影装置所投射的画面;反面为绘制面,绘制面上有绘制内...
投影屏幕及投影系统
本申请提供一种投影屏幕及投影系统,投影屏幕包括:显示膜片,显示膜片具有投影受光面;屏幕框架,屏幕框架包括内框架,内框架包括第一边框和第二边框,第一边框和第二边框均为两个,且两个第一边框和第二边框交替设置,以围设在显示膜片的外周,其中,第二边...
一种激光光源装置和投影设备
本申请公开了一种激光光源装置和投影设备,包括:出射三基色激光的激光器和位于激光器出光侧的合光棱镜。合光棱镜包括合光表面和多个连接表面,激光器出射的红色激光、蓝色激光和绿色激光均入射至合光棱镜的合光表面,其中红色激光被合光表面直接反射,而蓝色...
一种照明系统及偏振成像设备
本发明涉及一种照明系统及偏振成像设备。照明系统的偏振照明装置包括第一光源、偏振棱镜、第一偏振转换器、第二光源和第二偏振转换器;偏振棱镜用于将第一光源的第一初始光束的部分偏振分量分离为第一偏振出射光束出射,并用于将另一部分偏振分量经第一偏振转...
一种激光光源
本申请提供实施例属于激光显示技术,提供一种激光光源,所述激光光源包括:多个发光芯片和与多个发光芯片相对应的多个准直透镜;发光芯片包括多个发光点,发光点用于沿第三方向出射激光,激光在第一方向的扩散角小于第二方向的扩散角;准直透镜位于对应的发光...
一种具有新型散热结构的投影仪光机及投影仪
本发明提供的一种具有新型散热结构的投影仪光机及投影仪,其中光机包括壳体、光源板、光斗、镜片模组、反射镜、投影镜头、第一散热器、内风机、第一导风罩、第二导风罩、第一外风机、第二散热器、第二外风机和第三导风罩,本发明还提供一种投影仪,包括外壳,...
一种可电动调焦的菲林投影灯及电动调焦方法
本发明公开了一种可电动调焦的菲林投影灯及电动调焦方法,属于车灯控制技术领域。电动调焦方法包括如下步骤:通过车载摄像头采集初始投影图像;对车载摄像头采集的初始投影图像进行图像预处理;对经过图像预处理的初始投影图像进行对比度计算;判断计算出的对...
摄影手柄及摄影套件
本发明公开一种摄影手柄及摄影套件,该摄影手柄包括:持握件,持握件设有容置腔;轴盘组件,包括转轴、锁盘、第一夹盘和第二夹盘,转轴的一端用于连接摄影器材,转轴的另一端与锁盘连接,锁盘位于容置腔内,第一夹盘和第二夹盘套设于转轴且分别位于锁盘的相对...
一种具有内置电动滤镜轮的制冷相机
本申请涉及一种具有内置电动滤镜轮的制冷相机,涉及天文相机的技术领域,制冷相机包括相机外壳以及设置在相机外壳内的图像传感器、滤镜转笼和控制主板;图像传感器上设置有制冷器,制冷器上设置有散热器;滤镜转笼套设在图像传感器外侧,滤镜转笼的轴向与图像...
一种可微调角度的偏振片切换装置
本发明公开了一种可微调角度的偏振片切换装置,解决了现有角度调制方法只能实现特定几个偏振角度的成像或操作繁琐的问题,具体包括设有通光孔的支座、垂直设置在支座侧壁上的旋转轴、可旋转套装在旋转轴上的靶轮、绕周向分布在靶轮上且大小相同的四个偏振组件...
一种书画文物技术摄影系统
本发明提供一种书画文物技术摄影系统,涉及书画文物的拍摄与修复技术领域,包括,自动光源调节单元,所述自动光源调节单元包括光源识别模块和光源优化模块,所述光源识别模块用于识别所述书画文物的物理特征参数,所述物理特征参数包括所述书画文物的材质、尺...
自动驾驶汽车摄像头模组遮光罩和自动驾驶汽车摄像装置
本发明提供了一种自动驾驶汽车摄像头模组遮光罩和自动驾驶汽车摄像装置,具体涉及摄像头技术领域。该自动驾驶汽车摄像头模组遮光罩,包括遮光罩本体以及涂覆在遮光罩本体上的超黑涂层;超黑涂层具有类森林状阵列结构,厚度为50~200μm。超黑涂层借助类...
遮光器机构、信息处理装置以及遮光器机构的制造方法
本发明涉及遮光器机构、信息处理装置以及遮光器机构的制造方法。遮光器机构具备:相机,搭载于信息处理装置的框体;遮光器,能够在限制受光部的受光的第一位置与解除上述受光的限制的第二位置之间滑动移动;第一片构件,是相对地固定于上述框体的片状磁片,在...
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休闲,运动,玩具,娱乐用品的装置及其制品制造技术
木材加工工具,设备的制造及其制品制作技术
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