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  • 本发明提供一种半导体器件的形成方法,刻蚀栅极材料层并停止在高阻膜层上,刻蚀高阻膜层以同时形成栅极结构和高阻结构,然后依次形成第一介质层和第二介质层,接着刻蚀第二介质层形成第一接触孔,继续刻蚀第一介质层形成第二接触孔和第三接触孔,第一接触孔位...
  • 本申请提供一种改善具有位错结构的半导体器件漏电的方法,包括:提供一衬底,在衬底上形成栅极结构;在栅极结构侧面形成第一侧墙后,在第一侧墙两侧的衬底中形成LDD区;在衬底的PMOS区形成锗硅层;在衬底的NMOS区形成非晶化区域;在NMOS区沉积...
  • 本申请公开了一种集成电路装置的制备方法,包括:提供基板,基板包括依次层叠设置的衬底、缓冲层、空穴俘获层、沟道层、势垒层以及空穴提供层;制备间隔窗口,各间隔窗口由空穴提供层延伸到势垒层且相邻两个间隔窗口之间形成半导体器件的栅控结构;制备隔离窗...
  • 在一些示例中,一种方法包括:在衬底上形成第一纳米片层叠层,在所述第一纳米片层叠层上形成第二纳米片层叠层,其中,所述第一叠层和所述第二叠层的所述纳米片层分别包括交替的硅层和硅锗层,其中,所述第一叠层的所述硅层具有第一厚度,所述第二叠层的所述硅...
  • 本发明提供一种具有金属硅化物的半导体器件及其制造方法,在不影响器件特征尺寸和其他性能的前提下,通过对栅极结构侧壁上的侧墙的部分底部进行侧掏,扩大栅极结构外侧的衬底上的金属硅化物的形成面积和线宽,从而能够获得更小的金属硅化物电阻,减弱金属硅化...
  • 本申请提供了一种半导体器件的制作方法、半导体器件及电子设备。制作方法包括:去除侧壁结构背离替代栅的部分以形成第二隔离层,层间介电结构背对替代栅的部分伸出第二隔离层。以层间介电结构为掩模版形成第二半导体层,第二半导体层位于层间介电结构的内侧。...
  • 本申请公开了一种二极管功率器件及其制备方法。该二极管功率器件包括:基底,包括层叠的衬底和外延层,外延层具有第一表面以及由第一表面延伸至内部的多个沟槽;注入区,包括位于外延层中的表层注入区和多个反型区,表层注入区为外延层中通过对部分第一表面进...
  • 本申请涉及一种半导体结构及其制备方法、半导体器件,包括:提提衬底;以及位于衬底的第一表面上沿平行于第一表面的第一方向交替排列的层间介质层、栅沟槽;栅沟槽内包括沿背离衬底的第二方向依次排列的介质叠层、目标功函数层、保护层、阻挡层及金属导电层;...
  • 本发明公开一种半导体结构,包括基底、第一导电层、第二导电层、功函数层、填充层与第一介电层。第一导电层位于基底中。第二导电层位于第一导电层与基底之间。功函数层位于第一导电层上。功函数层的剖面形状为U型且具有凹陷。填充层位于凹陷中。填充层的顶面...
  • 本申请提供了一种晶圆表面薄膜的沉积方法及半导体加工系统,其中沉积方法包括提供晶圆;对所述晶圆的边缘进行处理,用于去除所述晶圆边缘的羟基;采用原子沉积的方式在晶圆的表面沉积薄膜。本申请提供的晶圆表面薄膜的沉积方法通过在晶圆表面进行薄膜沉积之前...
  • 本发明公开了一种具有铁电极化耦合场板的GaN场效应晶体管,该晶体管包括GaN外延结构以及在GaN外延结构上制备的源极金属、漏极金属、源漏保护介质、栅极金属,以及铁电极化耦合场板;所述GaN外延结构从下到上依次包括:衬底、成核层及高阻缓冲层、...
  • 本公开实施例提供了一种半导体材料及其制备方法,其中,半导体材料包括第一碳化硅层;第一碳化硅层包括孪晶结构和非孪晶结构;孪晶结构嵌入在非孪晶结构中;孪晶结构的生长方向在第一碳化硅层的厚度延伸方向上的投影大于零;孪晶结构的尺寸大于非孪晶结构的晶...
  • 本申请提供了一种半导体结构和半导体结构的制备方法。该半导体结构包括基底层、中间层以及外延层,基底层的材料包括硅;中间层位于基底层的一侧,中间层的材料包括AxByP1‑x‑yQ,其中,A的摩尔比沿预定方向逐渐增大,B和P的摩尔比分别沿预定方向...
  • 本发明公开了一种离子调控诱导二维半导体产生铁电性的方法及应用,该方法包括步骤:S1,将碱金属和芳香烃化合物加入到醚类溶剂中,溶解后形成混合溶液;S2,对混合溶液进行稀释,获得碱金属‑芳香烃预掺杂溶液;S3,将二维半导体材料完全浸没于S2制备...
  • 本发明提供一种提升金属‑氧化物‑半导体晶体管性能的方法。该方法包括:确定MOS晶体管的沟道长度(Lg)与应力金属栅的厚度(TMG)的比值;并根据晶体管类型,调节该Lg/TMG比值,以在沟道中产生目标类型的应力。本发明关键在于揭示并利用了拉伸...
  • 本申请公开了一种碳化硅功率器件,包括:有源区,形成有碳化硅功率器件的有源结构。终端区围绕有源区的外围设置,终端区包括:碳化硅外延层和叠层设置于碳化硅外延层上的至少一层无机绝缘层。其中,终端区包括至少一个一级沟槽,一级沟槽在厚度方向上贯穿各无...
  • 本申请提供了一种功率半导体器件和功率半导体器件的制备方法,功率半导体器件包括衬底;外延层位于衬底的一侧;栅极结构至少部分位于外延层内,栅极结构的至少部分结构的形状为半球形;肖特基接触区位于外延层内,并且位于相邻的两个所述栅极结构之间;源极结...
  • 本发明提供一种能够提高PRSM耐受量的半导体装置。本发明的半导体装置100包括:半导体基体110;绝缘层120,形成在半导体基体110的表面上并且具有使半导体基体110的表面露出的开口122;以及表面电极130,至少形成在与开口122重叠的...
  • 本发明涉及器件恢复优化技术领域,一种基于SiC超结的快速反向恢复方法及系统,包括:对工作电压集进行频次统计,得到电压单位时长集,基于超结参数集对碳化硅晶圆进行超结掺杂,得到超结器件,利用工作电压及恢复时长测试装置对超结器件进行反向恢复时长测...
  • 本发明提供了一种二维材料的转移和堆叠方法。本发明提供的方法实现了以微小面积精准接触二维材料从扎堆材料、衬底边缘材料中精准拾取目标材料并实现转移材料、堆叠异质结,保证最终器件周围无其他材料影响;本发明提供的方法还可实现目标材料周围不想要材料的...
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