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最新专利技术
  • 一种柔性浮动力控加工打磨自适应控制方法及系统
    一种柔性浮动力控加工打磨自适应控制方法及系统_无锡职业技术大学_202511873406.5
    本发明涉及柔性浮动力控加工打磨技术领域，公开了一种柔性浮动力控加工打磨自适应控制方法及系统，通过获取打磨过程中的接触力、电机驱动、振动、机器人运动以及工件几何等多维度信息，并基于这些信息识别打磨过程中的异常原因，包括通过施加微小扰动分析磨具...
    2026-03-01
  • 一种滚柱丝杠外螺纹磨削力测量方法
    一种滚柱丝杠外螺纹磨削力测量方法_北京精密机电控制设备研究所_202511619595.3
    本发明公开了一种滚柱丝杠外螺纹磨削力测量方法，包括：将待测丝杠以被机床两端顶尖夹持的方式安装至外螺纹磨削机床；将两个力学传感器安装于正对待测丝杠的中心位置，且分别向法向磨削力方向和切向磨削力方向；将被双顶尖夹持的待测丝杠视为一端固定铰支、另...
    2026-03-01
  • 用于微丝样品柱端面定位与模块化快换的高精度磨抛夹具
    用于微丝样品柱端面定位与模块化快换的高精度磨抛夹具_重庆大学_202610065353.2
    本发明公开了用于微丝样品柱端面定位与模块化快换的高精度磨抛夹具，属于电子显微镜样品制备技术领域。本发明的用于微丝样品柱端面定位与模块化快换的高精度磨抛夹具，包括夹持底座、微丝定位模块和端面压盖。本发明解决了现有夹持技术对10‑100μm直径...
    2026-03-01
  • 长工作距大数值孔径透镜抛光用装夹机构
    长工作距大数值孔径透镜抛光用装夹机构_苏州六三二八光电科技有限公司_202512037459.X
    本发明涉及长工作距大数值孔径透镜抛光用装夹机构，包括定心夹持机构、上压组件和吸盘夹持组件，实现多组件协同作业，提升装夹稳定性与抛光精度；定心夹持机构包括夹持座、环形槽和竖直连接槽，明确各部件组成，为后续装配提供清晰结构依据；夹持座的中部开设...
    2026-03-01
  • 一种不规则体抛光头、装置及其抛光方法
    一种不规则体抛光头、装置及其抛光方法_海南智德信瑞科技有限公司_202511943031.5
    本发明公开了一种不规则体抛光头、装置及其抛光方法，涉及抛光机床设备技术领域。相邻的两个传动机构之间均设有连接机构；同动机构与两个联动机构传动，同动机构的同动外壳固定连接在转动机构的转动端上，转动机构用于改变三个滚刷的朝向，使三个滚刷可以沿不...
    2026-03-01
  • 一种气浮动的力控装置
    一种气浮动的力控装置_盐城建豪跃智能科技有限公司_202511740651.9
    本发明涉及打磨技术领域，且公开了一种气浮动的力控装置，包括固定壳，所述固定壳的外壁固定安装有密封板，所述固定壳的顶部固定安装有延伸壳，所述固定壳的内壁滑动连接有力控安装板，所述力控安装板的外壁固定装配有连接板。通过中枢控制器操纵四个排气电磁...
    2026-03-01
  • 一种高速电磨装置及其制造与使用方法
    一种高速电磨装置及其制造与使用方法_重庆协正机电有限公司_202511736064.2
    本发明涉及一种高速电磨装置及其制造与使用方法，属于电动工具技术领域，包括机壳、端盖及一体化长轴，一体化长轴与双轴承支撑构成高精度传动结构，配合轴承预紧结构消除运行游隙，大幅提升旋转精度与稳定性；机壳配复合散热结构，结合离心式风叶加速热量导出...
    2026-03-01
  • 一种螺旋桨叶片电解的复合抛光工具头结构
    一种螺旋桨叶片电解的复合抛光工具头结构_镇江同舟螺旋桨有限公司_202511599623.X
    本发明涉及螺旋桨加工技术领域，且公开了一种螺旋桨叶片电解的复合抛光工具头结构，解决了目前不便根据需求对打磨头进行快速切换的问题，其包括驱动轴，所述驱动轴的底端设有切换机构，切换机构与驱动轴之间设有弹性机构，切换机构包括对称位于驱动轴底端的立...
    2026-03-01
  • 一种磨床双V式滑轨系统
    一种磨床双V式滑轨系统_中机(泉州)精密装备有限公司_202511985664.2
    本发明涉及磨床滑轨技术领域，尤其是涉及的是一种磨床双V式滑轨系统，包括加工床身，所述加工床身顶部两侧设置有V型滑槽，所述加工床身顶部安装有工作台，所述工作台通过与V型滑槽相匹的V型导轨进行连接。本发明通过将工作台通过V型导轨将工作台安装在V...
    2026-03-01
  • 一种导柱导套智能上下料加工设备
    一种导柱导套智能上下料加工设备_康采金属制品(宜兴)有限公司_202511907083.7
    本发明公开了一种导柱导套智能上下料加工设备，涉及导柱导套技术领域，包括底板，所述底板的顶部设置有上下料加工切换机构；该导柱导套智能上下料加工设备，通过设置升降翻转自适应装夹机构与PLC控制器、视觉传感器的协同，第一视觉传感器捕捉导柱与导套的...
    2026-03-01
  • 一种磨抛机用夹持式砂纸自动更换设备
    一种磨抛机用夹持式砂纸自动更换设备_安徽普华大数据股份有限公司_202511873375.3
    本发明涉及磨抛机技术领域，尤其涉及一种磨抛机用夹持式砂纸自动更换设备，包括操作台机构和安装支架，所述安装支架上设置有旋转打磨机构和驱动吸附机构，旋转打磨机构包括活动安装在安装支架上的旋转竖轴，旋转竖轴的外部固定安装有固定圆台，固定圆台的下方...
    2026-03-01
  • 研磨头及抛光设备
    研磨头及抛光设备_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202512029542.2
    本发明提供一种研磨头及抛光设备，研磨头包括保持环和耐磨耐蚀结构，保持环用于将晶圆固定在内，保持环的轴向一端面为研磨面；多个耐磨耐蚀结构沿保持环的周向依次间隔地设置在研磨面上。当保持环夹持晶圆在抛光设备的抛光垫上研磨时，通过在保持环上依次设置...
    2026-03-01
  • 一种用于改善双面抛光晶圆背面格布印缺陷的方法
    一种用于改善双面抛光晶圆背面格布印缺陷的方法_山东有研艾斯半导体材料有限公司_202512004089.X
    本发明公开了提供一种改善双面抛光晶圆背面格布印缺陷的方法，适用于12英寸晶圆双面抛光。该方法包括以下步骤：(1)将数个游星轮置于双面抛光机下盘上，将晶圆置于各个游星轮内衬孔位中；(2)对晶圆进行双面抛光加工，该加工包括5个阶段，优化双面抛光...
    2026-03-01
  • 一种摆动式球面研磨装置及使用方法
    一种摆动式球面研磨装置及使用方法_深圳市球形动力科技有限公司_202511846872.4
    本发明提供一种摆动式球面研磨装置及使用方法，包括支架，支架上固定有球面外壳，球面外壳内部套设有球面内壳，球面外壳内球面与球面内壳外球面通过球面转动配合；球面内壳内套设有用于夹紧工件的工装夹具；球面内壳与箱体连接，箱体内设有旋转驱动组件，旋转...
    2026-03-01
  • 抛光装置及控制方法、CMP设备
    抛光装置及控制方法、CMP设备_吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司_202511763640.2
    本申请涉及一种抛光装置及控制方法、CMP设备，包括抛光头和控制组件。抛光头包括基座、多个主气囊、次气囊和保持环。多个主气囊设置于基座的基面，部分主气囊作为第一气囊，另一部分主气囊作为第二气囊，第二气囊上设置有与外界连通的吸附通道。保持环设置...
    2026-03-01
  • 兼具喷丸与抛光功能的磁粒研磨装置
    兼具喷丸与抛光功能的磁粒研磨装置_太原理工大学_202610055745.0
    本发明涉及磁粒研磨技术领域，具体涉及一种兼具喷丸与抛光功能的磁粒研磨装置，主要解决现有技术中因喷丸和抛光功能无法集成导致的设备成本高、工作效率低等缺陷以及现有喷丸和抛光装置无法适用于较长管道的缺陷。本装置包括往复直线驱动副、磁场发生组件和行...
    2026-03-01
  • 一种金属手机壳抛光打磨设备
    一种金属手机壳抛光打磨设备_马鞍山绿德电子科技有限公司_202511977982.4
    本发明涉及手机壳抛光打磨技术领域，且公开了一种金属手机壳抛光打磨设备，包括工作机台和连接板，所述连接板的下表面设置有随动涂抹机构。该金属手机壳抛光打磨设备，通过由驱动电机、传动轴、齿轮一、齿条一、连接弹簧及阀门等部件的主体部分，将抛光打磨轮...
    2026-03-01
  • 一种纳米研磨工艺的自适应调整方法及系统
    一种纳米研磨工艺的自适应调整方法及系统_深圳市华瑞纳米科技有限公司_202511890044.0
    本发明提供一种纳米研磨工艺的自适应调整方法及系统，通过获取力信号数据、声发射信号数据、温度信号数据以及振动信号数据并组成为研磨数据，对研磨数据进行特征提取，获取特征参数，并结合经验小波变换获取研磨状态，通过拓扑数据分析和隐马尔科夫模型对研磨...
    2026-03-01
  • 一种基于预氧化的碳化硅陶瓷高效低损伤研磨方法
    一种基于预氧化的碳化硅陶瓷高效低损伤研磨方法_重庆臻宝半导体材料有限公司_202511700599.4
    本发明公开了一种基于预氧化的碳化硅陶瓷高效低损伤研磨方法，包括如下步骤：1)采用热氧化方法在硅基底晶圆的表层形成二氧化硅层；2)对步骤1)中硅基底晶圆表层形成的二氧化硅层进行化学机械抛光，得到符合要求的硅基底晶圆。本发明通过对硅基底晶圆进行...
    2026-03-01
  • 一种用于化学机械抛光机台的掉钻检测装置及检测方法
    一种用于化学机械抛光机台的掉钻检测装置及检测方法_物元半导体技术(青岛)有限公司_202511574735.X
    本发明提供一种用于化学机械抛光机台的掉钻检测装置，包括基座，设置于机台的腔室内；研磨垫，设置于基座上；修整器，设置于研磨垫上，用于修理研磨垫；激光散射传感器，设置于机台的研磨腔室内，配置为向研磨垫表面投射激光，并接收因修整器脱落颗粒而产生的...
    2026-03-01
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