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  • 本公开实施例提供了一种半导体结构的制备方法及半导体堆叠结构,其中,制备方法包括:提供第一半导体结构;在第一半导体结构上形成第一对准标记。提供第二半导体结构,第二半导体结构用于在后续的操作中与第一半导体结构键合,第二半导体结构包括第一晶圆或者...
  • 本发明提供了一种提升粘片胶快速凝固的电子封装结构,其确保粘片胶快速凝固,提高对元件的封装效果。其包括:操作台,其布置有一龙门架;固定台;冷却机构,其包括有冷却管路;定位机构,其有两组移动输出端组成;以及点胶机构,其包括有点胶针;所述操作台的...
  • 本发明涉及半导体技术领域,公开了一种半导体结构的制备方法,半导体结构的制备方法包括:在第一衬底上形成半导体功能层;半导体功能层包括若干功能器件;在第二衬底上形成芯片连线层;芯片连线层包括层叠的多个子连线层;每个子连线层中包括金属层和包围金属...
  • 本发明公开的大面积胶层厚度快速检验方法,将芯片晶圆切分成独立的芯粒,均匀抽样并测量抽样所得芯粒的电性,剔除电性异常的芯粒,使用顶针对电性正常芯粒进行刺探作业,测量刺探后芯粒的电性,基于电性未受损或产生漏电的芯粒数量计算漏电率,从刺探后的芯粒...
  • 本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种撕膜机,包括:承载板,用于吸附固定晶圆;驱动装置,通过支撑杆安装于承载板上且远离晶圆设置,驱动装置朝向晶圆的中心;撕膜机构,撕膜机构通过第一驱动机构与驱动装置相连,在第一驱动机构的作用下沿晶圆径向进行往...
  • 本发明提供了一种干法刻蚀机,包括前端模块、加热过滤单元和风机,前端模块位于干法刻蚀机的最前端,加热过滤单元位于干法刻蚀机的顶部,前端模块的非装载端设有至少一个进风口,进风口通过风管与加热过滤单元贯通,风机用于驱动空气气流通过加热过滤单元并流...
  • 本发明提供了一种晶圆侦测装置、CMP设备及晶圆侦测方法,所述CMP设备包括清洗腔以及用于传输晶圆的运载组件,所述运载组件包括行走梁及安装于所述行走梁末端的刀片,所述晶圆侦测装置包括电磁感应装置及信号处理单元,所述电磁感应装置设置在所述行走梁...
  • 本公开提供了一种刻蚀机及刻蚀方法,涉及半导体制造技术领域。该刻蚀机包括:静电吸附单元,用于吸附目标晶圆,所述静电吸附单元的表面积小于所述目标晶圆的表面积;反应气体喷淋单元,设置于所述目标晶圆的上方,用于向所述目标晶圆喷淋反应气体,所述反应气...
  • 本发明涉及硅片承载器技术领域,且公开了一种硅片承载器转换架,包括底框架,底框架的上表面两端中部均固定连接有中竖板,底框架的上表面滑动连接有两个支撑架,支撑架的上端内壁之间和两个中竖板上端之间均转动连接有导杆,导杆的外壁固定连接有多组分隔条,...
  • 本发明公开一种晶圆测试机自动上货系统,包括:自主移动机器人、MES执行系统、监控服务器、向量程序存储服务器、测试机以及晶舟盒存储仓,其中,自主移动机器人预加载包含晶舟盒存储仓和测试机物理坐标的电子地图;MES执行系统,预存储有若干产品信息;...
  • 本发明提供一种便于洁净的硅片处理机器人,属于机器人技术领域,包含洁净箱,所述洁净箱的一边安设着行走臂,所述行走臂的中间为中空设置,所述行走臂中旋接着螺纹杆,所述螺纹杆的一边联结着马达X,所述螺纹杆上丝接着位移台且与的中空部分滑移联结,所述位...
  • 本发明涉及电子元件散热技术领域,公开了一种基于智能监测的微流控调节液滴过热表面散热装置,包括电极板本体,上方设置有电湿润表面,电湿润表面上设置有若干液滴,电极板本体与外控电路模块连接,且使液滴与电极板本体形成导电通路;控制系统,包括控制模块...
  • 本发明提供了一种框架单元、引线框架及封装结构,所述框架单元包括基岛和多个引脚,所述多个引脚设置于所述基岛的边缘,所述多个引脚与所述基岛接触或未接触;其中,所述基岛的材质包括树脂,所述引脚的材质包括金属。本发明的技术方案能够降低基岛与塑封层之...
  • 本发明涉及电池技术领域,公开了一种参比电极及其制备方法、电芯。其中,参比电极包括集流体和包裹在集流体外表面的包覆层,沿集流体的轴向,包覆层包括并排设置的绝缘层和导电层;由内到外,导电层包括层叠设置的金属过渡层和锂金属层,且金属过渡层和锂金属...
  • 本发明属于锂离子电池技术领域,提供了一种改性富锂锰基正极材料及其制备方法与应用。所述改性富锂锰基正极材料包括富锂锰基基体材料内核以及包覆于所述富锂锰基基体材料内核表面的包覆层;所述富锂锰基基体材料中掺杂有钴元素,所述富锂锰基基体材料的化学通...
  • 本发明公开了一种硅基负极材料及其制备方法和应用,属于锂离子电池材料技术领域。本发明首先在SiO材料表面进行碳包覆,然后通过液相反应对其进行预锂,液相中负载锂离子的2,4,6‑三苯基环硼氮六烷材料在高温下裂解碳化,形成氮化硼和碳的复合包覆层;...
  • 本发明属于钠离子电池技术领域,具体涉及一种硫酸铁钠复合正极材料及其制备方法和应用。本发明提供的硫酸铁钠复合正极材料的制备方法,包括如下步骤:(1)制备碳包覆的硫酸铁钠正极材料,将硫酸铁钠正极材料与柠檬酸溶液混合,超声处理,得到改性硫酸铁钠正...
  • 本发明属于电池技术领域,涉及一种正极材料及其制备方法和锂离子电池。所述正极材料包括正极内核以及包覆在正极内核表面的包覆层,正极内核的化学组成为LiαNixCoyAl...
  • 本发明涉及锂电池生产技术领域的一种干法正极、制备方法及半固态电池,所述干法正极包括正极活性材料,粘结剂及保液材料;所述粘结剂包括聚四氟乙烯,所述保液材料包括聚氧化乙烯及锂盐。本发明中的保液材料与聚四氟乙烯协同作用,提高正极的保液能力;还可以...
  • 本申请涉及燃料电池测试技术领域,特别涉及一种燃料电池的膜电极反极测试方法。本申请中的方法包括如下步骤:获取活化处理后的燃料电池的第一电化学活性面积,对所述活化处理后的燃料电池进行针对膜电极的抗反极性能的反极测试,得到所述燃料电池在反极测试过...
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