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一种具有促进载流子传输功能的光刻胶及其应用
本发明公开了一种具有促进载流子传输功能的光刻胶及其应用,所述光刻胶包含二硫代双(苯叠氮)与1, 3, 5‑三炔基苯,且所述二硫代双(苯叠氮)与1, 3, 5‑三炔基苯的摩尔比为(1:2)‑(3:2)。上述光刻胶中二硫代双(苯叠氮)中的叠氮基...
光刻工艺窗口的确定方法
一种光刻工艺窗口的确定方法,所述方法包括:提供晶圆,根据预设光刻工艺参数在所述晶圆上进行光刻工艺;对所述晶圆的第一区域进行扫描,根据所述第一区域的扫描结果和第一区域的缺陷的图形特征确定所述缺陷对应的信号特征以及缺陷类型;对第二区域进行扫描,...
套刻标记和套刻误差量测方法
本发明提供了一种套刻标记和套刻误差量测方法,包括:依次位于第一膜层、第二膜层和第三膜层上的第一套刻图形、第二套刻图形和第三套刻图形,第一膜层、第二膜层和第三膜层依次堆叠设置,第一套刻图形、第二套刻图形和第三套刻图形均为矩形环状结构,矩形环状...
一种半导体芯片光刻对准精度提升辅助设备
本发明公开了一种半导体芯片光刻对准精度提升辅助设备,涉及套刻测量设备技术领域,包括套刻测量设备本体,套刻测量设备本体的内部设置有自检机构,套刻测量设备本体的内部设置有擦拭机构,自检机构能够每天对真空吸附结构的吸附状态进行自检,擦拭机构能够对...
位置调节装置及其装调方法、位置调节方法
本发明涉及半导体设备领域,具体涉及一种位置调节装置及其装调方法、位置调节方法,装置包括微动台主体,微动台上层主体和微动台下层主体之间通过柔性铰链结构进行连接,微动台下层主体用于安装待调平件,柔性铰链结构用于待调平件的调平和导向;至少三组弹簧...
一种套刻误差补偿方法
一种套刻误差补偿方法,包括:提供形成有套刻标记图形的晶圆,套刻标记图形包括三组十字套刻标记,分别对应第一结构层、第二结构层以及第三结构层,三组十字套刻标记均形成于第一结构层。通过量测三组十字套刻标记的中心在第一方向以及第二方向的偏移量,得出...
用于套刻精度仪的定位控制系统
本申请提供了一种用于套刻精度仪的定位控制系统,涉及控制技术领域,该系统包括:移动平台,用于承载样品并执行位移;激光干涉仪模块,用于测量所述移动平台的位移量;环境传感模块,用于监测所述移动平台所处环境的至少一种物理参数;环境补偿模块,连接所述...
全自动柔版热敏制版机及处理方法
本发明提供全自动柔版热敏制版机及处理方法,包括机架,还包括设置在机架内的进版输送机构、背曝光组件、滚筒、无纺布传动机构、主曝光组件、升降输送机构和出版输送机构,所述机架上设有开口,进版输送机构设置在开口处,背曝光组件设置在进版输送机构远离开...
边缘轮廓确定方法、掩膜版图修正方法、装置及电子设备
本发明公开了一种边缘轮廓确定方法、掩膜版图修正方法、装置及电子设备,边缘轮廓确定方法包括获得通过光刻仿真模型对掩膜版图进行光刻仿真的初始仿真光刻图案中,各网格像素点的光刻强度值;根据预先确定的在光刻图案的边缘轮廓法线方向上的强度变化趋势曲线...
一种晶圆烘烤装置
本发明公开了一种晶圆烘烤装置,包括烘烤台和进出料机械手,烘烤台包括机架,机架上设置有烘烤腔室,烘烤腔室的上方设置有上盖,烘烤腔室内固定有加热平台,加热平台上设置三个穿过孔,烘烤腔室的底部设置有顶升架,顶升架上设置有三根顶针,顶升架由升降动力...
一种去除光学基片残留光刻胶的方法
本发明属于光学镀膜技术领域,具体涉及一种去除光学基片残留光刻胶的方法。本发明首先采用微区XPS技术对光学基片表面残留的光刻胶进行验证,然后采用紫外‑臭氧处理方法对光刻胶残胶进行清洗,通过紫外光和臭氧使光刻胶中的碳氢化合物发生光致敏氧化反应,...
曝光装置以及曝光方法
本公开提供了一种曝光装置以及曝光方法,属于半导体制造技术领域。所述曝光装置包括用于承载晶圆的曝光平台和支撑调平结构;所述支撑调平结构位于所述曝光平台的一侧,且与所述曝光平台相连,所述支撑调平结构包括用于与所述曝光平台不同区域相接触的多个支撑...
对位标记结构及光刻方法
本公开提供了一种对位标记结构及光刻方法,属于半导体技术领域。对位标记结构,包括基板、主对位标记孔和多个辅对位标记孔;主对位标记孔和各辅对位标记孔均位于基板的一面,各辅对位标记孔分别位于主对位标记孔的四周,且各辅对位标记孔与主对位标记孔相连通...
电子照相感光体、处理盒及图像形成装置
一种电子照相感光体、处理盒及图像形成装置,所述电子照相感光体具备:导电性基体;电荷产生层,配置于所述导电性基体上;电荷传输层,配置于所述电荷产生层上;及无机保护层,配置于所述电荷传输层上,所述电荷传输层的每单位面积的静电容量(X1)为0.9...
静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及方法
一种静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及方法,所述静电图像显影用色调剂具有包含粘结树脂、脱模剂及在色调剂粒子的内部形成域的树脂粒子的色调剂粒子,所述粘结树脂包含聚酯树脂,所述粘结树脂的平均酯基浓度c1为25...
信息处理装置、信息处理装置的控制方法和程序产品
本发明提供了信息处理装置、信息处理装置的控制方法和程序产品。根据本公开,一种信息处理装置包括驱动部和显示部。在该信息处理装置中,基于重试通过驱动部正执行的作业的指令,取消驱动部的根据作业的处理,并且通过显示部显示关于重试的信息。基于开始重试...
片材馈送装置及图像形成装置
本公开提供片材馈送装置及图像形成装置。该片材馈送装置包括:堆叠部;旋转馈送部件,旋转馈送部件被配置为在片材馈送方向上馈送片材;第一分离部,第一分离部包括分离表面;以及能拆卸单元,能拆卸单元包括第二分离部。与片材馈送方向相交、且与旋转馈送部件...
显影装置
显影装置包括第一可旋转构件、第二可旋转构件、第一进给螺杆、第二进给螺杆和引导部。在第二可旋转构件的磁通量密度的法向分量为Br、磁通量密度的切向分量为Bθ、并且磁刷的角度Θ为arctan(Br/Bθ)的情况下,在从交点至最靠近点的范围中存在磁...
盒与图像形成装置
本发明涉及盒与图像形成装置。所述盒包括感光鼓和可移动部件,可移动部件能够相对于感光鼓移动以控制驱动传递部件的倾斜角。可移动部件能够在用于减小驱动传递部件相对于感光鼓的倾斜角的第一位置和从第一位置退避的第二位置之间移动。由此,能够平稳地进行驱...
带单元及图像形成装置
一种带单元及图像形成装置,所述带单元具备:旋转的环形构件;支承构件,支承所述环形构件,并且在沿着所述环形构件的旋转方向的所述支承构件的端部处以使所述环形构件弯曲的姿势支承所述环形构件;对置构件,隔着所述环形构件与所述支承构件对置配置,并且以...
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