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最新专利技术
  • 一种可拆卸维护的离子源水冷机构
    一种可拆卸维护的离子源水冷机构_苏州厚朴传感科技有限公司_202511938362.X
    本申请公开了一种可拆卸维护的离子源水冷机构，包括水冷接头、水冷导通板、绝缘通管结构、螺纹锁杆结构和绝缘管套结构。水冷接头供离子源底座处的水冷管插入接通，与水冷管间有密封结构；水冷导通板与水冷接头相对，有连接孔和水管接头；绝缘通管结构夹在两者...
    2026-04-07
  • 蒸镀挡板机构、蒸镀装置及蒸镀方法
    蒸镀挡板机构、蒸镀装置及蒸镀方法_维信诺科技股份有限公司_202411381734.9
    本申请涉及一种蒸镀挡板机构、蒸镀装置及蒸镀方法。蒸镀挡板机构包括：第一支架，用于装配于蒸镀腔中；以及角度限制板，可拆卸地设于第一支架上；角度限制板上设有间隔排布的多个蒸镀孔；蒸镀孔被配置为供蒸镀源蒸发出的物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在待成...
    2026-04-07
  • 一种低成本蒸镀工艺的碳纳米管传感器制备方法及利用该传感器检测Hg2+的方法
    一种低成本蒸镀工艺的碳纳米管传感器制备方法及利用该传感器检测Hg2+的方法_镇江永晨科技有限公司_202511719608.4
    本发明公开了一种低成本蒸镀工艺的碳纳米管传感器制备方法及利用该传感器检测Hg2+的方法，其中，低成本蒸镀工艺的碳纳米管传感器制备方法，包括以下步骤：S1、硅氧化片的清洗制备；S2、碳纳米管的生长制备；S3、铜网贴附及电极蒸镀；S4、纳米间隙...
    2026-04-07
  • 一种大尺寸真空蒸镀机的组装调试方法
    一种大尺寸真空蒸镀机的组装调试方法_中国科学院合肥物质科学研究院_202511819386.3
    本发明公开了一种大尺寸真空蒸镀机的组装调试方法，通过靠近刀阀安装面的激光测距仪的度数确认各个工艺腔室或进料腔室的基准面高度，根据两个激光测距仪的读数差确定真空机械手与激光测距治具的偏差角度；通过真空机械手调节机构调整真空机械手并致使真空机械...
    2026-04-07
  • 一种蒸发镀膜设备的上下料装置
    一种蒸发镀膜设备的上下料装置_厦门市益津鹭科技有限公司_202610248917.6
    本申请公开了一种蒸发镀膜设备的上下料装置，涉及光学器件加工的技术领域，包括座体和运输组件、升降组件、挡护组件和机械手；所述运输组件水平设置于所述壳体的一侧；所述挡护组件设置于所述运输组件的一侧，所述挡护组件与所述运输组件之间形成与导光板相适...
    2026-04-07
  • 真空蒸镀及样品封装系统
    真空蒸镀及样品封装系统_天津大学_202610256175.1
    本发明提供一种真空蒸镀及样品封装系统，涉及真空镀膜的技术领域，真空蒸镀及样品封装系统包括：样品封装机构，样品封装机构内形成有第一腔体，第一腔体适用于容纳样品盒，样品盒适用于盛放样品盘，并被构造成在第一腔体内处于真空状态下对样品盘进行封装；过...
    2026-04-07
  • 一种蒸发装置
    一种蒸发装置_巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司_202610256409.2
    本申请涉及一种蒸发装置，包括主体及由外盖、中盖和内盖依次设置组成的盖体；主体内设有坩埚及加热机构，内盖与中盖、中盖与外盖之间分别形成第一、第二流动空间；内盖的蒸发孔与中盖的连通口在轴向上错位设置，构建了非直视曲折排气路径。该蒸发装置利用错位...
    2026-04-07
  • 一种光学薄膜镀膜方法
    一种光学薄膜镀膜方法_安徽晶微科技有限公司_202511891508.X
    本发明涉及镀膜技术领域，公开了一种光学薄膜镀膜方法，包括以下步骤：步骤1：将基片放置在蒸发镀膜机中，开启离子源对基片进行清洗；步骤2：清洗完成后，通过离子源结合电子束镀膜的方式在基片的表面镀上锗层；步骤3：镀锗层完成后，通过离子源结合阻蒸蒸...
    2026-04-07
  • 一种超细晶NiV7磁控溅射靶材制备方法
    一种超细晶NiV7磁控溅射靶材制备方法_昆明理工大学_202511829235.6
    本发明公开了一种超细晶NiV7磁控溅射靶材制备方法，该方法采用真空感应熔炼炉熔炼得到的NiV7合金铸锭并进行均匀化退火，随后在合适的工艺条件下进行高压扭转处理，得到多片组织均匀、晶粒细小高压扭转样品，随后采用累计叠轧工艺将多片高压扭转样品结...
    2026-04-07
  • 一种钼钛靶材及其制备方法与应用
    一种钼钛靶材及其制备方法与应用_中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司_202512022734.0
    本申请提供了一种钼钛靶材及其制备方法与应用，本申请的制备方法包括以下步骤：将生坯热等静压后去除包套铣平；再包套轧制。本申请通过热等静压致密化后先去除包套并对压锭六面铣平，真空退火，然后重新包套进行轧制。包套轧制既能保持坯料温度，避免坯料在高...
    2026-04-07
  • 低氢低氧高致密度的钼钛合金靶材及其制备方法和应用
    低氢低氧高致密度的钼钛合金靶材及其制备方法和应用_中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司_202512022738.9
    本发明属于合金靶材技术领域，具体涉及一种低氢低氧高致密度的钼钛合金靶材及其制备方法和应用。其中，低氢低氧高致密度的钼钛合金靶材的制备原料包括钼粉和钛粉；钛粉包括球形钛粉和活化钛粉；其中，所述活化钛粉为经过氢化‑脱氢处理的活化钛粉；所述钛粉的...
    2026-04-07
  • 一种可拆卸水冷氘靶结构
    一种可拆卸水冷氘靶结构_合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)_202512036047.4
    发明公开一种可拆卸水冷氘靶结构。其包括可拆卸靶面模块，所述可拆卸靶面模块包括工作靶面和设置在所述工作靶面背部的复合式冷却流道，所述复合式冷却流道包括外部圆环形流道和位于所述外部圆环形流道中间的中部直形流道；其中所述外部圆环形流道用于为所述工...
    2026-04-07
  • 成膜装置及成膜方法
    成膜装置及成膜方法_芝浦机械电子株式会社_202511340872.7
    提供能够进行处理室的稳定处理的成膜装置及成膜方法。成膜装置包括：腔室；盖体；靶材；成膜室；搬送体；筒部，使工件保持器从搬送体向与盖体接触的位置移动；向内凸缘，形成在筒部的下端，且从下端向内侧方向延伸；向外凸缘，设置在筒部的内部，且向所述筒部...
    2026-04-07
  • 一种氧化镍薄膜与钙钛矿太阳能电池的制备方法
    一种氧化镍薄膜与钙钛矿太阳能电池的制备方法_上海钙蓝时代光电科技有限公司_202512016744.3
    本发明涉及一种氧化镍薄膜与钙钛矿太阳能电池的制备方法，氧化镍薄膜制备方法包括：在石墨烯层或氮掺杂石墨烯层上，再通过磁控溅射沉积NiO，得到；钙钛矿太阳能电池的制备方法包括：首先在基底上制备石墨烯层或氮掺杂石墨烯层，再通过磁控溅射沉积NiO，...
    2026-04-07
  • 一种碳化硅陶瓷金属化用过渡层及其制备方法
    一种碳化硅陶瓷金属化用过渡层及其制备方法_西安交通大学_202512028805.8
    本发明属于表面科学与工程技术领域，具体涉及一种碳化硅陶瓷金属化用过渡层及其制备方法。本发明碳化硅陶瓷金属化用过渡层由自下而上依次层叠设置的TiSiN层、TiN层和Ti层组成，其中，TiSiN层中，Si含量为5at%~30at%。采用本发明的...
    2026-04-07
  • 金属双极板涂层的制备方法、金属双极板及燃料电池
    金属双极板涂层的制备方法、金属双极板及燃料电池_上海电气集团股份有限公司_202512033774.5
    本发明公开了一种金属双极板涂层的制备方法、金属双极板及燃料电池。该金属双极板涂层的制备方法包括如下步骤：S1. 在金属双极板基材上，采用直流磁控溅射沉积Ti层；S2. 在Ti层上，采用高功率脉冲磁控溅射沉积TiAlN陶瓷层；高功率脉冲磁控溅...
    2026-04-07
  • 无取向硅钢复合材料及其制备方法
    无取向硅钢复合材料及其制备方法_广东电网有限责任公司电力科学研究院_202512035941.X
    本发明公开了一种无取向硅钢复合材料及其制备方法，所述方法包括：将Ce、La、Y元素的粉体进行球磨，得到粒径≤8μm的研磨粉体；在研磨粉体中加入0.5–1.2wt%的纳米TiO2作为改性剂，采用磁控溅射法，在无取向硅钢基体的表面均匀沉积稀土复...
    2026-04-07
  • 一种高温绝缘耐磨涂层的制备方法及其应用
    一种高温绝缘耐磨涂层的制备方法及其应用_郑州大学_202512046810.1
    本发明属于高温绝缘领域，涉及一种高温绝缘耐磨涂层的制备方法及其应用。该方法基于现有磁控溅射技术，依次包括以下步骤：镀前处理、Ar离子溅射清洗以及氧化铝基涂层的沉积。在沉积过程中，采用Al、Cr靶材，在氧气和氮气气氛中进行反应共溅射，以形成目...
    2026-04-07
  • 一种磨损自监测超硬耐磨梯度增强涂层及制备方法
    一种磨损自监测超硬耐磨梯度增强涂层及制备方法_洛阳理工学院_202610026277.4
    本发明涉及刀具表面功能涂层技术领域，具体涉及一种磨损自监测超硬耐磨梯度增强涂层及制备方法，涂层包括金属基底及交替沉积的高熵耐磨层、颜色层、过渡层，外层为顶层高熵耐磨层；高熵耐磨层由Ti/Al/Zr/Si/Mo‑N构成，硬度梯度35‑55GP...
    2026-04-07
  • 一种改性塑料基材用低温高致密磁控溅射镀膜设备
    一种改性塑料基材用低温高致密磁控溅射镀膜设备_新沂市鼎丽塑胶制品有限公司_202610029647.X
    本发明涉及磁控溅射技术领域，并具体公开了一种改性塑料基材用低温高致密磁控溅射镀膜设备，包括真空室，所述真空室一侧连通有进料通道，所述真空室内壁贯穿并转动连接有镀膜机构，所述真空室内壁两侧均固定连接有隔板，所述真空室一侧开设有第一进料口，所述...
    2026-04-07
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