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  • 本申请实施例提供了改善碳化硅外延片表面微坑缺陷的外延方法及半导体器件,涉及碳化硅外延技术领域。方法包括:提供碳化硅衬底;刻蚀碳化硅衬底;在衬底表面生长缓冲层;在缓冲层的表面生长第一外延层,其中,第一外延层的第一生长速率为50μm/h~80μ...
  • 本申请涉及电解反应装置技术领域,提供一种圆筒状零件电解反应装置,该圆筒状零件电解反应装置包括框体、螺杆组件、多个卡爪机构和吊装机构,螺杆组件设置在框体内侧的上部,多个卡爪机构圆周装配在螺杆组件的外侧,卡爪机构的一端与框体顶部连接,卡爪机构的...
  • 本发明提供一种用于陶瓷基板厚铜电镀的电镀液,镀液包括五水硫酸铜、硫酸、盐酸,添加剂体系包括第一类添加剂、第二类添加剂和第三类添加剂;第一类添加剂为聚乙二醇、聚丙二醇、环氧乙烷与嵌段共聚物中的一种或几种混合,第二类添加剂为聚二硫二丙烷磺酸钠、...
  • 本发明公开了一种酸性电镀铜整平剂及其应用,属于集成电路封装基板电镀技术领域。本发明设计的整平剂分子合成路径简单,合成条件也并不苛刻。将本发明的整平剂与其它添加剂搭配得到的电镀铜配方对盲孔或通孔具有高填充率和高深镀能力,使用浓度低且操作窗口大...
  • 本发明提供一种封装基板用电镀铜浴配方,属于集成电路封装基板电镀技术领域。该配方中创新性地选用无毒、无刺激性的聚山梨酯作为抑制剂,并搭配设计其它组分,使得得到的电镀铜浴配方对盲孔或通孔具有高填充率和高深镀能力,同时还对环境友好,降低生产成本。...
  • 本发明公开了一种膜封装硫介导的富缺陷NiFe层状氢氧化物电催化剂、制备方法、电极及应用,属于电催化还原硝酸盐制氨技术领域,制备方法包括:S1、将泡沫铜置于强氧化剂和碱的混合溶液中,得到负载Cu(OH)2的泡沫铜,热解得...
  • 本发明涉及电催化材料制备技术领域,公开一种多孔复合电催化剂的制备方法及应用;采用的制备方法是:首先,将镍盐和六氰基钴酸盐分别溶于混合溶液中,再将镍盐溶液滴入K3Co(CN)6的溶液中进行反应,制得...
  • 本发明涉及水电解及氯碱工业电催化析氢技术领域,具体涉及一种电化学法制备稀土金属单原子催化剂的方法。其包括以下步骤:将稀土金属盐充分溶于电解质溶液;以载体材料为工作电极,碳棒为对电极,饱和甘汞电极为参比电极,将一种或多种稀土金属盐分散于电解质...
  • 本发明涉及水电解及氯碱工业电催化析氢技术领域,具体涉及一种可控碳层负载单原子的钛基电极的制备方法。其包括以下步骤:(1)将固相碳源与酸处理后的钛基底分别置于管式炉进气口和加热温区;(2)通入惰性气体和一定比例的氢气,管式炉升温至600‑12...
  • 本发明提供了利用钕铁硼油泥料中的油料限域制备高效析氧反应催化剂的方法和催化剂及应用。所述方法包括:(1)混合钕铁硼油泥料和分离试剂,而后依次进行超声处理和固液分离处理,得到钕铁硼粉末和油料;(2)混合步骤(1)所得油料和金属盐,而后依次进行...
  • 本发明属于电催化技术领域,公开了一种COF‑Cu/Cu2O纳米团簇复合材料的制备方法及其应用。所述复合材料具有片层堆叠状微观形貌,包括纳米片状2D‑COF基体和均匀负载在基体表面的Cu/Cu2O纳...
  • 本发明涉及金属腐蚀防护技术领域,尤其涉及一种碳钢热浸镀锌酸洗复配缓蚀剂及其制备方法,首先以三聚氰胺为原料通过三步亲核取代反应合成有机成膜剂N2‑R1基‑N4‑R2<...
  • 一种高致密度碳化硅涂层的制备方法,它属于碳化硅涂层领域。本发明要解决现有技术无法制造高致密度碳化硅涂层,且导热率较低的问题。方法:一、将磷酸二氢铝粉体与碳化硅粉体混合均匀;二、加入六偏磷酸钠水溶液;三、将预制浆料均匀涂覆于基底表面;四、分步...
  • 本申请实施例提供一种金刚石膜的制备方法,包括以下步骤:加热有机分子源并使得有机分子蒸发至反应腔;通过微波使得所述反应腔内的有机分子裂解形成碳氢自由基;和所述碳氢自由基沉积到高温基底上成核,以生长形成金刚石膜。本申请实施例提供的金刚石膜的制备...
  • 本发明属于薄膜材料领域,公开了一种掺磁金刚石薄膜及其制备方法与应用。掺磁金刚石薄膜的制备方法包括:以氢气和甲烷作为反应前驱体,以含磁性元素的合金(FePt合金、CoPt合金或NiPt合金)作为热丝材料,采用热丝化学气相沉积法在衬底表面制备得...
  • 本发明公开了一种基于桌面式团簇设备开发的靶材可视化安装结构,本发明包括:驱动结构、移动板、锡青铜套、阴极、螺杆和固定装置;固定装置包括底板、溅射阴极法兰、第一导入器导柱、第二导入器导柱和顶板;底板上设有溅射阴极法兰述溅射阴极法兰和顶板之间设...
  • 本发明属于OLED显示面板技术领域,公开了一种自动在线均匀膜层的镀膜机的均匀送膜机构,包括机架,所述机架内部安装有传送带,所述机架内部位于传送带上方位置处均安装有铝靶,所述机架内部位于铝靶两侧位置处均安装有膜厚测试仪,所述机架顶端固定安装有...
  • 本发明涉及导电涂层技术领域,公开一种综合渐变梯度多层耐蚀导电涂层及其制备方法和应用,包括以下制备步骤:(1)基体材料准备;(2)基体材料预处理(包括打磨抛光和氩离子刻蚀);(3)Ti过渡层制备;(4)TiN/TiNC/TiC综合渐变梯度层制...
  • 本发明涉及靶材制备技术领域,提供了一种铝钪靶材及其制备方法,包括隔板、圆环、铝钪靶坯、背板、上支撑板和下支撑板,所述铝钪靶坯的Sc含量≥20at%,该制备方法能够避免铝钪靶坯在机加工和扩散焊接时变形或开裂,其扩散焊接后铝钪靶坯的平面度好,所...
  • 本发明公开了一种多功能真空镀膜仪实验装置,其包括用以放置真空系统的放置柜;放置柜的上表面设置有真空室组件;真空室组件包括由上至下的真空室上分段、真空室中分段和真空室下分段,且真空室上分段、真空室中分段和真空室下分段之间通过伸缩组件相连接;真...
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