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半导体衬底、外延片和半导体器件
本申请实施例提供一种半导体衬底、外延片和半导体器件, 所述半导体衬底包括碳化硅基底层, 设置于所述碳化硅基底层的碳面上的过渡层, 以及设置于所述过渡层的远离所述碳化硅基底层一侧的应力调控层;所述过渡层包括二维材料层, 且所述应力调控层包括3...
一种用于质谱分析的纸基电喷雾电离源一体化装置及方法
本发明属于质谱检测分析技术领域, 具体涉及一种用于质谱分析的纸基电喷雾电离源一体化装置及方法。包括承载平台, 转动设有待测样品台, 待测样品台上承载多个锥形样品管;溶剂槽, 设置在承载平台的上方且位于待测样品台的侧方;电极卡槽, 设置在承载...
一种质谱仪用进样装置
本发明涉及一种进样装置, 尤其涉及一种质谱仪用进样装置, 包括有基座和置物台, 所述基座顶部转动连接有置物台, 所述置物台上沿周向均匀间隔开设有多个置物槽, 所述置物台上沿周向均匀间隔开设有多组导向槽, 所述导向槽的组数与所述置物槽的数量一...
等离子体工艺设备及处理方法、控制装置及存储介质
本公开提供等离子体工艺设备及处理方法、控制装置及存储介质, 该设备包括:腔体、承载装置、过滤装置、进气装置、等离子体激发装置, 过滤装置包括第一离子过滤单元和第二离子过滤单元, 进气装置包括与等离子体产生区域连通的辅助气体输入组件和与等离子...
一种气体流场可控的工艺腔体及等离子体处理设备
本发明涉及半导体制造设备技术领域, 尤其涉及一种气体流场可控的工艺腔体及等离子体处理设备, 包括腔本体, 具有承载晶圆的腔室;进气通道, 与所述腔室连通;主抽气通道, 设于所述腔本体的底部且与所述腔室连通;所述主抽气通道连接主控制阀;副抽气...
一种用于聚焦离子束反应刻蚀的装置
本发明涉及一种用于聚焦离子束反应刻蚀的装置, 包括多孔导气部件, 设置于多孔导气部件外围的进气部件, 设置于进气部件之上的进气快插接头, 进气部件底部设置有石墨底盘, 石墨底盘和进气部件由底座和离子源进行固定, 所述的离子源出射聚焦离子束,...
一种电泵浦超快透射电子显微镜系统及其测量方法
本发明提供了一种电泵浦超快透射电子显微镜系统及其测量方法。本发明的电泵浦超快透射电子显微镜系统包括超快激光系统, 透射电镜系统和电学测量系统。所述电泵浦超快透射电子显微镜系统有飞秒探针模式和纳秒探针模式两种运行模式, 能测量测试样品在不同电...
用于聚焦带电粒子束的系统和方法
公开了用于利用带电粒子束来辐射样本的系统和方法。带电粒子束系统可以包括平台, 平台被配置为保持样本并且能够在X‑Y‑Z轴中的至少一个轴上移动。带电粒子束系统还可以包括用于确定平台的横向位移和竖直位移的定位感测系统以及束偏转控制器, 束偏转控...
一种带垂直电子通道的凹槽加载折叠波导慢波结构
本发明属于微波电子学及电真空技术领域, 具体涉及一种带垂直电子通道的凹槽加载折叠波导慢波结构, 包括壳体, 壳体内设有慢波结构, 该慢波结构是由一系列圆弧弯曲波导和直波导首尾连接而成, 等同于由矩形波导U型弯折形成的折叠波导;在沿折叠波导壁...
一种磁控管组件天线成型校正机
本发明公开一种磁控管组件天线成型校正机, 包括阳极筒天线组件送料线和天线成型校正组件;所述阳极筒天线组件送料线用于输送阳极筒天线组件, 设置有天线成型校正工位, 所述天线成型校正组件设置在所述天线成型校正工位处;所述天线成型校正组件包括天线...
磁控管偏心校正机
本发明公开一种磁控管偏心校正机, 包括管芯天线组件送料线、管芯天线组件下料线、活动式校正台、上下料综合机械手和校正模组;所述管芯天线组件送料线设置在所述活动式校正台的一侧作为上料侧;所述管芯天线组件下料线设置在所述活动式校正台的另一侧作为下...
一种基于多层复合灭弧与双敏感触发的小型熔断器
本发明公开了一种基于多层复合灭弧与双敏感触发的小型熔断器, 涉及熔断器技术领域, 包括底座、内部组合单元、外部安装单元和灭弧处理单元。本发明具有卡扣式快速安装端子结构, 兼容垂直插接与水平贴装两种模式, 且具有多层级的灭弧措施, 有效提高灭...
一种25T型客车蓄电池箱熔断器总成
本发明公开了一种25T型客车蓄电池箱熔断器总成, 包括:熔断器;上导电片及下导电片, 与熔断器固定相连;绝缘底座;两个M6螺柱, 固定设置在绝缘底座上;其中, 通过适配的M6螺栓旋紧, 对上导电片及下导电片固定在M6螺柱上进而固定熔断器。本...
一种万能式断路器强制隔离灭弧触头装置
本发明公开了一种万能式断路器强制隔离灭弧触头装置, 包括动触头、静触头、静触头罩壳、开门板、消弧罩、灭弧栅片、强制灭弧罩、动母排、引弧片, 动触头上端部与静触头接触式连接, 静触头固定于静触头罩壳内部, 所述的静触头罩壳上开设有供动触头和静...
一种塑壳断路器
本发明公开一种结构简单、装配方便、载流能力好, 温升低的塑壳断路器。采用的技术方案包括:壳体、以三相方式设在所述壳体内的动触头组件、设在所述壳体背面的后盖、以三相方式设在所述后盖上端的三相上母排及以三相方式设在所述后盖下端的下母排, 每一相...
断路器
本申请涉及一种断路器, 包括操作机构、热形变件和连接件;热形变件被配置为通过热形变与所述操作机构接触, 触发所述操作机构动作以驱使断路器脱扣;连接件与所述热形变件电连接;其中, 所述热形变件还被配置为在瞬时电流流经时, 产生第一电磁力;所述...
一种集成有可调液压脱扣器的断路器
本发明公开了一种集成有可调液压脱扣器的断路器, 包含内置可调液压脱扣器、脱扣传动机构及主触点系统的断路器本体。可调液压脱扣器包括脱扣器本体与智能控制模块;脱扣器本体拥有油杯、可轴向移动的油杯铁芯、极靴、第一线圈和衔铁, 衔铁联动脱扣传动机构...
一种应用于断路器的可调式油阻尼电磁脱扣器
本发明公开了一种应用于断路器的可调式油阻尼电磁脱扣器, 属于脱扣器技术领域。包括:油阻尼基体单元, 其包括油杯、可轴向移动的油杯铁芯、设置于油杯端部的极靴、绕设在油杯外壁的第一线圈, 当第一线圈通电时, 产生驱使油杯铁芯朝向极靴移动的第一电...
一种带有安全警示功能的过载开关
本发明公开了一种带有安全警示功能的过载开关, 涉及过载开关技术领域, 包括过载开关本体, 过载开关本体内侧设置有第一接线柱、第二接线柱和双金属片, 过载开关本体的顶面固定连接有用于检测过载保护的过载检测器, 过载检测器的底部固定连接有检测组...
一种具有多重保护的断路器
本发明公开了一种具有多重保护的断路器, 其包括壳体;第一端子和第二端子, 两者均设于所述壳体上;接触臂, 其能够转动的安装于壳体内部;触发机构, 包括推动件, 以及与所述推动件相抵的限位扣, 所述限位扣与接触臂相扣从而限制接触臂转动;双金属...
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