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质谱分析装置和方法
本发明提供了质谱分析装置和方法,质谱分析装置包括电喷雾模块、质谱分析仪和底座,所述质谱分析仪设置在所述底座上;所述电喷雾模块包括毛细管、基座和导电探针,所述毛细管插入所述基座内,基座的外径大于毛细管的外径;支架包括:第一承载部上具有多个并列...
一种抑制高温预反应的混合腔体
本发明属于半导体设备技术领域,具体涉及一种抑制高温预反应的混合腔体。旨在优化混合腔体的温场调控结构从而抑制副反应的发生。混合腔体包括混合腔主体和匀气件底座。混合腔主体设于匀气件底座上。混合腔主体包括进气口、多个注水端、多个出水端、通道隔板和...
一种硅三维蚀刻装置及蚀刻方法
本发明公开了一种硅三维蚀刻装置及蚀刻方法,涉及硅刻蚀技术领域。本发明包括预输送组件,包括加工箱,刻蚀组件,包括固定在加工箱外侧壁的刻蚀箱,安装定位组件,包括固定在加工箱下端面的操作箱,锁紧吸附组件,包括固定在刻蚀箱外底部位置且与之内部相接通...
一种扫描电子显微镜以及其使用方法
本发明公开了一种扫描电子显微镜以及其使用方法,属于电子显微镜领域,聚光镜的第一永磁体位于第一外极靴内部,第一内极靴与第一外极靴之间形成第一开口以及第二开口,第一开口以及第二开口沿聚光镜的光轴设置,物镜的第二永磁体安装于第二外极靴以及第二内极...
用于离子注入机引出电极的双反馈控制系统及控制方法
本发明公开了一种用于离子注入机引出电极的双反馈控制系统及控制方法。用于离子注入机引出电极的双反馈控制系统,包括:控制模组;驱动器,驱动器与控制模组连接;移动机构,包括移动平台和驱动装置,驱动装置与移动平台驱动连接,驱动装置包括电机、传动机构...
电子束量测设备的物镜对准方法与电子束量测设备
本发明提供了一种电子束量测设备的物镜对准方法与电子束量测设备。其中电子束量测设备的物镜对准方法包括:在预设的各偏转线圈的电流情况下,在物镜的起始电流值的基础上添加周期振荡电流以获取电子束所生成的图像的实际图像偏移量;根据预设的各偏转线圈的电...
一种离子注入机及控制方法
本发明公开了一种离子注入机及控制方法。离子注入机包括:材料源,用于提供气态反应物;离子源弧室,用于使气态反应物形成等离子体;引出电极,用于从离子源弧室引出离子束;供气系统,包括气源和出气管,气源与出气管相连,气源与出气管之间设置有第一流量计...
一种慢波结构、太赫兹行波管装置以及通信装置
本发明提供了一种慢波结构、太赫兹行波管装置以及通信装置。本发明提供的慢波结构通过将第一子慢波结构与第二子慢波结构巧妙结合,能够有效解决现有技术中输出功率不足的技术问题。具体地,第一子慢波结构通过预设的强耦合阻抗对电子束进行群聚调制,从而提高...
一种模块化行波管电子枪陶瓷环
本发明属于微波真空电子器件制造领域,具体涉及一种模块化行波管电子枪陶瓷环。本发明将整个电子枪瓷环分解为共计n个模块化瓷环,各模块化瓷环在轴向上首尾相接的拼接构成;以及在模块化瓷环的衔接端面构型使其不在一个水平面形成口径面的限位作用,使其后期...
一种像增强器的自动化制管设备
本发明公开了一种像增强器的自动化制管设备,真空腔室的壳体包括阳极入口、阴极入口和成品出口,阳极支座、阴极支座和成品支座固定在壳体的装配通道中,从阳极入口输入的阳极载具坐落在阳极支座上,从阴极入口输入的阴极治具坐落在阴极支座上;压封机构下端的...
一种小型断路器
本发明公开了一种小型断路器,涉及低压电器技术领域,由断路器模块以及控制模块互配拼装而成,断路器模块还包括用于安装配件的壳体,该壳体内设置有脱扣机构以及磁系统,磁系统包括与脱扣机构相对设置的动铁芯,壳体内还包括有跟随机构,跟随机构包括设置于磁...
一种热磁脱扣调节机构及断路器
本发明公开了一种热磁脱扣调节机构及断路器,包括磁调节杆、热调节杆以及磁调节旋钮和热调节旋钮,所述热调节杆与所述磁调节杆可活动安装,并通过调节杆轴固定,所述调节杆轴的两端固定断路器的基座上,所述热调节上还设有调节槽,所述热调节旋钮安装在所述调...
一种动触头组件和断路器
本申请提供一种动触头组件和断路器,涉及开关技术领域,用于延长转轴的使用寿命,降低断路器的成本。动触头组件包括转轴、动触头、隔离架和弹性件。其中,动触头设置于转轴。动触头具有接触位置和脱离位置。动触头处于接触位置时,动触头用于与断路器的静触头...
一种安全的低压断路器停送电绝缘操作装置
本发明提供一种安全的低压断路器停送电绝缘操作装置,涉及安全配电工具技术领域。该新型低压断路器停送电绝缘操作装置,包括作为操作使用的绝缘操作杆,所述绝缘操作杆内壁一侧与外部贯通,所述绝缘操作杆内壁另一侧中部固定连接有内导向杆,所述内导向杆外壁...
一种断路器
一种断路器,包括:壳体;静触头;动触头;脱扣组件;漏电保护组件,包括串联连接的漏电保护单元和漏电保护开关,漏电保护开关能够在闭合位置和断开位置之间切换,当漏电保护开关处于闭合位置时,漏电保护单元经由漏电保护开关电连接到主回路,使得漏电保护单...
射频MEMS开关及其制备方法
本申请提供了一种射频MEMS开关及其制备方法,涉及射频微机电系统开关技术领域。射频MEMS开关的衬底包括相对的第一表面和第二表面,帕尔贴制冷模块嵌入衬底内,帕尔贴制冷模块包括制冷端和散热端,相较于散热端,制冷端更靠近第一表面。驱动电极设置于...
一种继电器
本申请涉及电气控制的技术领域,尤其是涉及一种继电器,其包括继电器组件和冷却组件,继电器组件包含外壳、电磁调节件、两个静触点和一个闭合元件,闭合元件的闭合桥材质为形状记忆材料,在不同温度下呈现不同形状来控制动、静触点的接触状态;冷却组件有缠绕...
继电器、配电装置、电池包及用电设备
本申请实施例提供一种继电器、配电装置、电池包及用电设备,属于继电器技术领域。继电器包括:壳体;驱动组件;第一继电组件,第一继电组件包括第一动触点和第一静触点,第一动触点和第一静触点之间具有第一间隔;第二继电组件,第二继电组件包括第二动触点和...
继电器及电表
本申请涉及一种继电器及电表,电表包括继电器,继电器包括磁路部分和接触部分,磁路部分包括线圈架和缠绕在线圈架上的线圈,线圈架的中心轴线沿第一方向延伸,接触部分沿垂直于第一方向的第二方向设于磁路部分的一侧,接触部分包括接触组件,接触组件包括设有...
磁保持接触器
本发明涉及电子器件技术领域,具体公开了磁保持接触器。该接触器包括密封机构和驱动机构;密封机构包括套筒和封闭套筒的开口的磁极片,套筒内设有靠近套筒的开口端的第一极靴、靠近套筒的筒底端的第二极靴以及活动设置于第一极靴和第二极靴之间的动铁芯;驱动...
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