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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 目的在于提供一种使用酚醛清漆树脂的感光性树脂组合物且为分辨率和耐热性优异的感光性树脂组合物、使用其的图案形成方法以及包括该图案形成方法的电子器件的制造方法,所述感光性树脂组合物包含酸分解性树脂、光产酸剂以及溶剂,所述酸分解性树脂具有经由亚甲...
  • 本发明提供可无卤素化的感光性组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法、及印刷布线板的制造方法。感光性组合物包含粘合剂聚合物(A)、光聚合性化合物(B)、以及分子结构中不含卤素原子的六芳基联咪唑化合物(C1)。
  • 本申请公开了一种曝光机、挡板位置分析方法及装置。曝光机包括:玻璃基板;挡板,与所述玻璃基板相对设置;掩膜版,设于所述挡板和所述基板之间,所述掩膜版包括曝光区、非曝光区以及标尺,所述标尺包括尺身和设于所述尺身的刻度,所述刻度的刻度参考线与所述...
  • 本申请公开了一种投影设备,该投影设备中的显示控制电路能够在接收到开机指令时,向驱动控制电路传输开机信号,以使驱动控制电路向滑盖驱动电路输出第一驱动信号。该滑盖驱动电路能够在第一驱动信号的驱动下驱动滑盖沿第一方向移动,以露出投影镜头。显示控制...
  • 本实用新型公开了一种两档式可变光圈摄像驱动装置,包括底座、旋转载体、叶片组、电路板及驱动组件,底座为中空结构,用于容纳驱动装置的其他部件;旋转载体可活动的设置在底座内并可相对底座进行旋转运动;叶片组两端分别与底座和旋转载体固定连接;电路板与...
  • 本实用新型公布了一种新型模块化LCD光机,包括:光机室盒、镜头模组、光源模组、光机顶盖、LCD屏及前菲模组、TEC制冷模组;镜头模组设有第五对位连接部,所述第五对位连接部与所述第一对位连接部匹配并可拆卸连接,封堵所述光机室盒前端开口;光机室...
  • 本发明公开了一种往复式无需清洁的投影仪,属于投影仪技术领域,包括投影仪壳体,所述投影仪壳体顶部卡合连接有顶盖,所述投影仪壳体内部固定连接有镜头模组,所述投影仪壳体内部固定连接第一散热器和第二散热器,本发明中,气流中转模块伸入处于中部位置的散...
  • 本申请提供了一种匀胶显影机台及匀胶显影方法,所述机台至少包括涂布装置和显影装置,该显影装置配置超声单元,以在显影阶段向晶圆施加频率可调的超声波;其中涂布装置和显影装置均具有喷嘴,喷嘴自其中心点沿侧壁呈环形阵列划分为若干个分区,每个分区均配置...
  • 本申请提供一种监控曝光机台漏光程度的方法,首先通过设计一具有遮光区和透光区相间的特殊光罩,然后根据预设的曝光条件,利用该特殊光罩对涂覆有光刻胶层的晶圆进行多次曝光,接着收集每次曝光后遮光区的光刻胶层厚度,最后根据曝光次数和每次曝光后收集的遮...
  • 本发明公开了一种过压后低反射的宽带限幅模块,包括:阻抗匹配电路、高输入阻抗放大电路和低频增益控制电路;其中,阻抗匹配电路用于对输入信号与高输入阻抗放大电路之间进行50Ω端接匹配,在高输入阻抗放大电路中,低频增益控制电路反馈的中低频信号与经过...
  • 本发明提供了一种感光性树脂组合物、感光干膜及其制备方法。该感光性树脂组合物包括碱溶性树脂、光聚合单体、光引发剂、增感剂和添加剂;其中,增感剂包括具有通式(I)所示结构的化合物,其中A为R0选自C2~C12的直链或支链亚烷基;R’选自H、卤素...
  • 本申请涉及一种光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质。所述方法包括:从原始修正图形中确定修正受限图形;其中,修正受限图形为触发了边缘放置误差限制的图形,原始修正图形为光刻设计图形进行第一光学临近修正后得到的图形;基于修正受限图形...
  • 本发明提供的光学临近修正方法、装置、掩模版、半导体结构及其制备方法中,包括:提供待处理图案,待处理图案中的各图案相互分离,待处理图案中的部分图案之间的间距小于掩模规则检查的最小间距值;根据待处理图案生成合并图案,将待处理图案中的一部分图案合...
  • 本实用新型涉及跟焦器技术领域,公开了一种自动跟焦器,包括手柄及主机,主机正面设置有传感器模块,主机侧边设置有手动调焦轮,主机上设置有电池模块,主机底部安装有卡箍,卡箍上设置有锁紧螺柱。设置的传感器模块能够实时检测镜头焦距,并通过主控板的分析...
  • 本发明属于Liftoff光刻加工工艺技术领域,特别涉及一种改善厚金属行星式蒸发Liftoff工艺引起的图形色差异常的方法。包括:预处理;光刻胶涂布;曝光;使用NIKON光刻机,选择曝光时间为280ms~400ms进行曝光工艺;显影;使用显影...
  • 本申请提供一种彩色液晶显示用蓝色光刻胶组合物,涉及光刻胶领域。彩色液晶显示用蓝色光刻胶组合物包括23‑26重量份的蓝色颜料液、8‑13重量份的碱溶性树脂、4‑6重量份的不饱和单体、0.3‑0.40重量份的添加剂、0.5‑0.7重量份的光敏剂...
  • 提供一种用于投影仪的光调制器的单部件会聚机构。所述单部件会聚机构包含:板;在所述板处的光调制器安装位置;在所述板中的一对狭槽弹簧机构,所述一对狭槽弹簧机构在所述光调制器安装位置的相对侧上;以及在所述板中的一对连接狭槽,所述一对连接狭槽接合所...
  • 本申请提供一种金属掩膜版基材的曝光方法和曝光组件。所述曝光方法包括:将金属掩膜版基材放置在正对设置的移动侧光罩和基准侧光罩之间,在所述移动侧光罩表面上下两端、位于有效曝光区外分别设置断张组件。该断张组件采用柔软的材料制作、长度不短于该金属掩...
  • 一种OPC程序的修正方法、系统、存储介质及电子设备。所述方法包括:获取待修正OPC程序;接收断点位置信息,并在所述待修正OPC程序中,与所述断点位置信息对应的位置处设置断点;接收运行控制指令,运行所述断点以前预设行数的所述待修正OPC程序,...
  • 本发明公开了一种多参量调谐的全息打印光刻系统,包括:照明子系统,用于发出光线;照明子系统连接有显示与成像子系统,用于形成光斑;显示与成像子系统连接有运动子系统和控制子系统,用于调整参量;结合了计算全息图打印技术和全息体视图打印技术的优势,可...
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