Document
拖动滑块完成拼图
首页 专利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本发明公开了一种光罩制备方法,涉及光罩制备技术领域。本发明具体包括以下步骤:S1、原材料清洗;S2、涂覆光刻胶,在原材料表面涂覆光刻胶形成临时掩膜层;S3、电子束曝光,在临时掩膜层上定义图形,使临时掩膜层形成与遮光层形状相同的窗口,使原材料...
  • 本发明提供一投影模组及其照明系统,其中所述照明系统包括一光源、一聚光透镜组以及一匀光棒,其中所述光源发出的光线被所述聚光透镜组汇聚,形成一聚光光路,其中所述光线沿所述聚光光路进入所述匀光棒,并被所述匀光棒反射形成至少一反射光路,其中所述聚光...
  • 本申请涉及一种晶圆级封装中的负性高分子膜圆环形图案曝光开孔方法,包括以下过程:在制备好的晶圆上贴第一层负性高分子膜,电极开孔处设计一定半径的圆形图案曝光显影,烘烤固化,测量第一层膜开孔半径,按一定方法设计同心圆环状光罩图案;在上述晶圆上贴第...
  • 本实用新型涉及半导体曝光技术领域的一种光罩自动转换机装置,包括:手臂夹爪,可以固定横向左右移动及上下升降,用于夹持光罩;平面扫描器,在光罩放定点后对光罩扫描以检测光罩是否有受损;监视器,监视在光罩转换时是否会有异常;显示器,连接平面扫描器,...
  • 一种光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质,修正方法包括:提供多个设计图形,设计图形包括待检测的待测图形;选择待测图形中待检测的边作为待选边;在待测图形外侧获得待选边所对应的搜索区,搜索区包括以待选边作为其中一边的矩形第一搜索区、以...
  • 本发明提供一种光学投影屏幕及投影系统,属于投影显示领域。一种光学投影屏幕,包括基材层和反射微结构层,所述反射微结构层位于所述基材层的一侧,所述反射微结构层包括环形菲涅尔透镜结构层和反光材料层,所述菲涅尔透镜结构层由多条截面呈锯齿形状的单元透...
  • 本发明的课题在于,提供一种在对相移膜进行湿法蚀刻时可以缩短过刻蚀时间、抑制基板的损伤、可以形成具有良好的截面形状、LER、且耐化学品性也良好的转印图案的光掩模坯料。所述光掩模坯料是用于形成光掩模的原版,光掩模在透明基板上具有通过对相移膜进行...
  • 本申请提供一可变光圈装置和摄像模组,其中所述可变光圈装置包括壳体、驱动机构、传动机构以及叶片组件,其中所述壳体包括基底,所述驱动机构被设置于所述壳体,所述传动机构被夹设于所述驱动机构和所述基底之间,所述传动机构与所述驱动机构相传动地连接,所...
  • 本申请公开了一种框架投影屏幕,属于投影显示领域,包括支撑结构、膜片、第一边框和第二边框;所述第一边框分布在所述膜片相对的两个长边边缘,所述第二边框分布在所述膜片相对的两个短边边缘,所述第一边框和所述第二边框拼合形成矩形框架,所述第一边框和所...
  • 本发明的一种非迭代菲涅耳纯相位全息图生成和复用方法、设备及介质,包括以下步骤,首先,利用迭代菲涅尔方法生成不同平面的FS‑OFRAPs,再结合3D物体分层策略非迭代生成不同层对应的全息图,通过叠加或复用得到最终的相位全息图,最后将复用后的全...
  • 本实用新型公开了一种双DMD提高激光投影色彩对比度的消散斑投影结构,包括沿光线传播方向依次设置有光源装置、合束系统、匀光消散斑系统、DMD、DMD时序控制装置和投影输出镜头,DMD上还设置有用于对其施加振动的压电振动台;光源装置,用于向合束...
  • 本申请公开了一种基于超表面的太赫兹计算全息图像的分析方法及其系统,基于超表面的太赫兹计算全息图像的分析方法包括以下步骤:基于原始图像,通过传输调控形成第一全息图像;基于原始图像,通过几何相位调控形成第二全息图像;基于原始图像,通过传输调控与...
  • 本发明涉及LDI曝光机对位精度技术领域,具体公开了一种基于多模态形变场分析的LDI曝光机光路变形监测方法,包括:获取基板多模态监测数据,其中,所述基板多模态监测数据包括基板基准点阵列数据、复合标定图案、近红外图像、光栅温度场分布数据和振动频...
  • 本申请提供优化OPC计算收敛速度方法、装置、介质、程序产品及终端,通过识别密集图形区域,在该区域内选定特征区域,首先对特征区域内的基本单元进行迭代计算至收敛,获得初步优化参数,并将该参数推广应用于整个特征区域。随后,以初步优化参数为起点,对...
  • 本申请涉及光刻机控制技术领域,尤其涉及一种半导体光刻设备的校准方法及校准系统。其中,校准方法包括以下步骤:在柔性衬底的背面投影光栅校准图案,采集得到衬底背面图像;通过相位解包裹算法确定所述衬底背面图像上各个像素点的深度值;获取柔性衬底正面的...
  • 本发明提供了一种感光性树脂组合物、滤光片及应用。该感光性树脂组合物包括:光聚合性化合物、具有肟酯类光引发剂和接枝有硅烷基侧链的碱可溶性树脂,其中,接枝有硅烷基侧链的碱可溶性树脂的重均分子量为5000~30000,酸值为50~200mgKOH...
  • 带抖动修正功能的光学单元具有:第一摆动支撑机构(6),其以沿着反射面(30)的第一轴为中心可摆动地支撑反射部件(3);中间可动体(4),其经由第一摆动支撑机构支撑反射部件;第一摆动驱动机构(11);第二摆动支撑机构(7),其以第二轴为中心可...
  • 本申请实施例涉及投影仪技术领域,公开了一种光机和投影仪,该光机包括:光源组件,光源组件包括前菲镜和后菲镜;镜头组件,用于折射从光源组件处射入的光线;前菲镜设于镜头组件和后菲镜之间;优选地,前菲镜和后菲镜之间形成有通风通道,光机还包括:壳体,...
  • 本实用新型公开了一种改善镜筒通光孔成型杂光的结构,涉及通光孔成型领域,包括镜筒、第一遮光镜片、第二遮光镜片和第三遮光镜片,所述第二遮光镜片固定设置于第一光学镜和左侧第二光学镜之间,所述第三遮光镜片固定设置于右侧两个第二光学镜之间。本实用新型...
  • 一种OPC模型及其建立方法和系统、OPC方法、设备及存储介质,建立方法包括:提供测试图形;根据测试图形获得测试光罩;对测试光罩进行实际曝光,获得实际曝光图形;利用初始光学邻近修正模型对测试图形进行模拟曝光,获得模拟曝光图形,模拟曝光包括:对...
技术分类