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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 掩模坯料、转印用掩模、及半导体器件的制造方法
    掩模坯料、转印用掩模、及半导体器件的制造方法_HOYA株式会社_202011344580.8
    本发明的课题在于提供一种可以提高对于图案形成用的薄膜整体的湿法蚀刻的蚀刻速率、提高通过湿法蚀刻对薄膜形成图案时的图案侧壁的垂直性的掩模坯料。解决方法是该掩模坯料，其在基板上具备图案形成用的薄膜。上述薄膜由含有铬的材料形成。另外，上述薄膜由与...
    2026-02-04
  • 一种低成本亚微米精度激光模板光刻装置与方法
    一种低成本亚微米精度激光模板光刻装置与方法_武汉大学_202210430461.7
    本发明公开一种低成本亚微米精度激光模板光刻装置及方法，包括旋涂有光刻胶的衬底、光刻模板以及激光光源，所述光刻模板放置在旋涂有光刻胶的衬底上，激光光源安装在移动平台上造成激光与衬底的相对位置移动形成扫描，激光脉冲出光与移动行为关联，所述激光光...
    2026-02-04
  • 一种面向超表面制造的电子束曝光写场拼接动态优化方法
    一种面向超表面制造的电子束曝光写场拼接动态优化方法_南京南智先进光电集成技术研究院有限公司_202511938656.2
    本发明公开了一种面向超表面制造的电子束曝光写场拼接动态优化方法，首先提取版图中的关键图形与低密度区域，生成密度分布图；然后结合设备参数，生成多种候选写场分割方案及其拼接缝，并为每条缝构建融合图形切割代价、工艺误差风险和移动效率的损失函数；通...
    2026-02-04
  • 一种基于边级定位的光刻热点检测方法
    一种基于边级定位的光刻热点检测方法_浙江大学_202512003618.4
    本发明公开一种基于边级定位的光刻热点检测方法，首先将集成电路版图构建为一个图结构，其中每个节点对应集成电路版图中多边形的一条边，边对应节点之间的连接关系；引入边类型，所述边类型包括邻接边、图形边和空间边；提取边特征和节点特征，构建得到完整的...
    2026-02-04
  • 一种纳米压印用掩模张力装置
    一种纳米压印用掩模张力装置_江苏优众微纳半导体科技有限公司_202520584741.2
    本实用涉及纳米压印领域，尤其公开了一种纳米压印用掩模张力装置，包括操作台，所述操作台顶部设置有张力机构，所述张力机构包括封板，所述封板一侧固定设置有第一夹板，所述封板另一侧固定设置有所述行轨组，所述行轨组上活动连接有第二夹板，所述第二夹板侧...
    2026-02-04
  • 热压印成型的微纳光学元件形性协同控制方法及系统
    热压印成型的微纳光学元件形性协同控制方法及系统_深圳大学_202410622240.9
    本申请提供了热压印成型的微纳光学元件形性协同控制方法及系统，方法包括：获取第一微纳光学元件在热压印成型过程中产生的形状误差数据和折射率变化数据；根据形状误差数据和折射率变化数据，对模具几何模型进行补偿；判断第二微纳光学元件的形状精度是否满足...
    2026-02-04
  • 一种基于共形衍射原理的彩色球面全息显示系统
    一种基于共形衍射原理的彩色球面全息显示系统_北京航空航天大学_202311064468.2
    本发明提出一种基于共形衍射原理的彩色球面全息显示系统，该系统包括彩色激光器、扩束器、透镜Ⅰ、空间光调制器、半透半反镜、透镜Ⅱ、光阑、透镜Ⅲ和计算机。其中，彩色激光器经过扩束器和透镜Ⅰ后形成准直光束。计算机将基于共形衍射原理生成的彩色球面全息...
    2026-02-04
  • 一种混合曝光系统和光刻设备
    一种混合曝光系统和光刻设备_托托科技(苏州)有限公司_202520528220.5
    本实用新型涉及光刻技术领域，具体是一种混合曝光系统和光刻设备，包括：第一曝光装置，包括真空腔室，以及位于真空腔室中的电子束发射源、电子光路组件和扫描系统，电子束发射源出射的电子束经电子光路组件和扫描系统后能够投射至真空腔室的第一照射区域；第...
    2026-02-04
  • 一种光刻胶生产用曝光装置
    一种光刻胶生产用曝光装置_江苏龙东新材料有限公司_202511889027.5
    本发明涉及光刻胶曝光技术领域，具体是一种光刻胶生产用曝光装置，包括箱体，所述箱体上活动安装有箱门，还包括：安装在箱体内的变位光照结构；安装在箱体内的负压承载结构，所述负压承载结构包括与箱体相连接的支撑台，所述支撑台两侧分别固定安装有两组控制...
    2026-02-04
  • 可调整负载端口的控制器及控制方法、设备及存储介质
    可调整负载端口的控制器及控制方法、设备及存储介质_珠海三友环境技术有限公司_202511706057.8
    本申请公开了一种可调整负载端口的控制器，包括设置有第一拨码开关、第一通信端口、第二通信端口和多个连接第一负载的第一负载端口的第一主板；设置有第二拨码开关、第三通信端口、第四通信端口和多个连接第二负载的第二负载端口的第二主板，第三通信端口与第...
    2026-02-04
  • 电子笔
    电子笔_株式会社和冠_202480043807.5
    本发明提供一种电源部的取出容易的结构的电子笔。在轴心方向上，具备：壳体，能够分离为笔尖侧和笔尖侧的相反侧的后端侧；电子笔主体部，配设于壳体的中空部内的笔尖侧；及电源部，具备电池，配设于壳体的中空部内的后端侧。在电子笔主体部的轴心方向的后端侧...
    2026-02-04
  • 投影设备
    投影设备_青岛海信激光显示股份有限公司_202520643850.7
    本申请公开了一种投影设备，属于投影设备领域。投影设备可以包括：投影设备本体、第一粘接层以及金属装饰层。通过第一粘接层将金属装饰层粘接至投影设备本体的顶部，这样，可以不要采用塑料支架的方式将金属装饰层固定在投影设备本体的顶部上，金属装饰层可以...
    2026-02-04
  • 一种阻焊DI曝光机透明夹具
    一种阻焊DI曝光机透明夹具_广州添利电子科技有限公司_202520581638.2
    本实用新型涉及PCB板生产技术领域，更具体地，涉及一种阻焊DI曝光机透明夹具，包括工作台、驱动机构和压膜条，所述驱动机构设于工作台的两侧，压膜条与驱动机构相连接，驱动机构能驱动压膜条上下移动，压膜条上设置有压条，所述压条透明。透明材质的压条...
    2026-02-04
  • 曝光装置、曝光方法、以及用于制造半导体装置的方法
    曝光装置、曝光方法、以及用于制造半导体装置的方法_佳能株式会社_202111018293.2
    本发明公开了曝光装置、曝光方法、以及用于制造半导体装置的方法。曝光装置包括照明光学系统、投影光学系统、以及控制器，所述照明光学系统用于照明包括周期图案的原版，所述投影光学系统用于在基板上形成所述原版的图像，所述控制器被配置为使来自所述照明光...
    2026-02-04
  • 一种基于原位制备的钙钛矿量子点光刻胶体系及其制备方法
    一种基于原位制备的钙钛矿量子点光刻胶体系及其制备方法_北京石油化工学院_202511848348.0
    一种基于原位制备的钙钛矿量子点光刻胶体系及其制备方法，以前驱体分散在可聚合单体中，加热直接合成钙钛矿量子点，得到的钙钛矿量子点又可聚合单体体系不需要加入光引发剂，直接以钙钛矿量子点作为光引发成分从而制备钙钛矿量子点光刻胶，可以实现光固化图案...
    2026-02-04
  • 一种晶圆关键尺寸的补偿方法、装置及制造系统
    一种晶圆关键尺寸的补偿方法、装置及制造系统_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202211732697.2
    本发明提供了一种晶圆关键尺寸的补偿方法、装置及制造系统，该方法包括：获取前批晶圆产品的前批曝光能量值、前批曝光焦距和前批关键尺寸值；监测得到前批晶圆的光阻膜厚；当所述前批关键尺寸值不满足设定阈值时，利用所述光阻膜厚与晶圆的关键尺寸的对应关系...
    2026-02-04
  • 投影光源及投影设备
    投影光源及投影设备_青岛海信激光显示股份有限公司_202210280912.3
    本申请公开了一种投影光源及投影设备，属于光电技术领域。所述投影光源中合光镜组位于激光器的出光侧，合光镜组、第一棱镜、第二棱镜以及匀光部件沿第一方向依次排布；第一棱镜与第二棱镜均为三棱镜，第一棱镜的主截面平行第二棱镜的主截面，且平行第一方向；...
    2026-02-04
  • 微光刻投射曝光设备中的组件
    微光刻投射曝光设备中的组件_卡尔蔡司SMT有限责任公司_202480042658.0
    本发明涉及一种微光刻投射曝光设备中的组件，其中该组件(100、200、300、400)包含：光学元件(101、201、301、401)；至少一个重量补偿装置(110、210、310、410)，其具有用于产生磁场的无源磁路(111、211、3...
    2026-02-04
  • 一种运载索式重力流储能系统
    一种运载索式重力流储能系统_北京起重运输机械设计研究院有限公司_202520699425.X
    本申请涉及重力储能技术领域，具体而言，涉及一种运载索式重力流储能系统，包括运载子系统、上堆场、下堆场和储能块，所述运载子系统包括能量转化单元、传动单元和储能块运载单元，所述传动单元包括并列且竖向设置的两个运载索，所述储能块运载单元的相对两端...
    2026-02-04
  • 基于安全PLC的制氢系统中的故障检测及其处理方法
    基于安全PLC的制氢系统中的故障检测及其处理方法_中船(邯郸)派瑞氢能科技有限公司_202511697625.2
    本发明公开了基于安全PLC的制氢系统中的故障检测及其处理方法，具体涉及制氢系统安全控制技术领域；通过高频采集系统运行参数，构建多维特征张量，并基于滑动窗口提取微突变异常区间；将异常映射至参数–时间状态空间，构建异常分布图谱，并进行边界层重构...
    2026-02-04
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