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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
一种双DMD提高激光投影色彩对比度的消散斑投影结构
本实用新型公开了一种双DMD提高激光投影色彩对比度的消散斑投影结构,包括沿光线传播方向依次设置有光源装置、合束系统、匀光消散斑系统、DMD、DMD时序控制装置和投影输出镜头,DMD上还设置有用于对其施加振动的压电振动台;光源装置,用于向合束...
一种基于超表面的太赫兹计算全息图像的分析方法及其系统
本申请公开了一种基于超表面的太赫兹计算全息图像的分析方法及其系统,基于超表面的太赫兹计算全息图像的分析方法包括以下步骤:基于原始图像,通过传输调控形成第一全息图像;基于原始图像,通过几何相位调控形成第二全息图像;基于原始图像,通过传输调控与...
一种基于多模态形变场分析的LDI曝光机光路变形监测方法
本发明涉及LDI曝光机对位精度技术领域,具体公开了一种基于多模态形变场分析的LDI曝光机光路变形监测方法,包括:获取基板多模态监测数据,其中,所述基板多模态监测数据包括基板基准点阵列数据、复合标定图案、近红外图像、光栅温度场分布数据和振动频...
一种光机和投影仪
本申请实施例涉及投影仪技术领域,公开了一种光机和投影仪,该光机包括:光源组件,光源组件包括前菲镜和后菲镜;镜头组件,用于折射从光源组件处射入的光线;前菲镜设于镜头组件和后菲镜之间;优选地,前菲镜和后菲镜之间形成有通风通道,光机还包括:壳体,...
OPC计算收敛的优化方法、装置、介质、程序产品及终端
本申请提供优化OPC计算收敛速度方法、装置、介质、程序产品及终端,通过识别密集图形区域,在该区域内选定特征区域,首先对特征区域内的基本单元进行迭代计算至收敛,获得初步优化参数,并将该参数推广应用于整个特征区域。随后,以初步优化参数为起点,对...
一种半导体光刻设备的校准方法及校准系统
本申请涉及光刻机控制技术领域,尤其涉及一种半导体光刻设备的校准方法及校准系统。其中,校准方法包括以下步骤:在柔性衬底的背面投影光栅校准图案,采集得到衬底背面图像;通过相位解包裹算法确定所述衬底背面图像上各个像素点的深度值;获取柔性衬底正面的...
感光性树脂组合物、滤光片及应用
本发明提供了一种感光性树脂组合物、滤光片及应用。该感光性树脂组合物包括:光聚合性化合物、具有肟酯类光引发剂和接枝有硅烷基侧链的碱可溶性树脂,其中,接枝有硅烷基侧链的碱可溶性树脂的重均分子量为5000~30000,酸值为50~200mgKOH...
带抖动修正功能的光学单元
带抖动修正功能的光学单元具有:第一摆动支撑机构(6),其以沿着反射面(30)的第一轴为中心可摆动地支撑反射部件(3);中间可动体(4),其经由第一摆动支撑机构支撑反射部件;第一摆动驱动机构(11);第二摆动支撑机构(7),其以第二轴为中心可...
一种改善镜筒通光孔成型杂光的结构
本实用新型公开了一种改善镜筒通光孔成型杂光的结构,涉及通光孔成型领域,包括镜筒、第一遮光镜片、第二遮光镜片和第三遮光镜片,所述第二遮光镜片固定设置于第一光学镜和左侧第二光学镜之间,所述第三遮光镜片固定设置于右侧两个第二光学镜之间。本实用新型...
OPC模型及其建立方法和系统、OPC方法、设备及存储介质
一种OPC模型及其建立方法和系统、OPC方法、设备及存储介质,建立方法包括:提供测试图形;根据测试图形获得测试光罩;对测试光罩进行实际曝光,获得实际曝光图形;利用初始光学邻近修正模型对测试图形进行模拟曝光,获得模拟曝光图形,模拟曝光包括:对...
投影设备
本申请公开了一种投影设备及投影屏幕,属于投影技术领域。该投影设备包括:光学引擎和投影屏幕,光学引擎用于出射光束,投影屏幕包括光学膜片、可卷曲基板和控制机构;光学膜片粘接在可卷曲基板上;可卷曲基板上远离光学膜片的一侧设置有加多个加强筋,每个加...
照明系统和激光投影设备
本申请公开了一种照明系统和激光投影设备,属于激光技术领域。照明系统包括照明组件和镜头组件;照明组件包括沿照明组件的光路方向依次设置的透镜组件、反向全内反射棱镜和光阀,透镜组件将接收到的光束导向反向全内反射棱镜,并由反向全内反射棱镜输出至光阀...
固定装置和半导体设备
本申请涉及半导体设备技术领域,公开了一种固定装置和半导体设备。本申请实施例的固定装置,包括夹持组件,夹持组件用于夹持掩模版或晶圆;支撑组件,支撑组件用于沿第一方向支撑掩模版或晶圆,以及用于调节掩模版或晶圆与第一平面之间的夹角,其中,第一平面...
一种柔性暖杯垫
本实用新型公开了一种柔性暖杯垫,包括加热件、导热件和底座,所述加热件、导热件以及底座均为柔性结构,所述加热件容纳于导热件以及底座之间,所述导热件与底座之间相互嵌入固定。本实用新型的结构设计合理,具有如下的有益效果:暖杯垫中的加热件、导热件以...
一种光刻机对准控制方法、装置、设备及介质
本发明公开了一种光刻机对准控制方法、装置、设备及介质,该方法包括:分别对光刻机的硅片载物台和光罩版载物台对应的任务列表进行任务初始化,确定第一任务列表和第二任务列表;并行执行第一任务列表中的硅片上片任务和第二任务列表中的光罩版上版任务;基于...
照明系统及投影装置
本发明涉及一种照明系统,包括第一光源装置用以提供第一、第二、第三光束以及第一补偿光束。第二光源装置用以提供第四、第五、第六光束以及第二补偿光束。第一极化元件配置于第一光束以及第一补偿光束的传递路径上。第二极化元件配置于第四光束以及第二补偿光...
传感器模块
传感器模块具备:壳体,其沿第1方向延伸且具有筒形状;芯构件,其配置在所述壳体内,沿第1方向延伸且具有第1外周面;以及中间层,其配置在壳体与芯构件之间,沿第1方向延伸且具有第2外周面,中间层与壳体接触,中间层包含传感器和第1构件,传感器固定于...
一种实现高光效高色域投影的光机结构
本申请公开了一种实现高光效高色域投影的光机结构,其特征在于,包括第一光源、第二光源、第三光源、第一准直组件、第二准直组件、第三准直组件、第一黑白屏、第二黑白屏、第三黑白屏、第一荧光粉片、第二荧光粉片、合光组件和投影镜头,第一光源、第二光源和...
提升光学邻近效应修正处理效率的方法
本发明提供一种提升光学邻近效应修正处理效率的方法,提供原始版图,获取原始版图中的错误标记图形;形成覆盖每个错误标记图形的第一区域图形,第一区域图形为覆盖每个错误标记图图形的区域,第一区域图形与错误标记图形间的位置差小于或等于第一设计值;放大...
驱动组件和可变焦摄像模组
公开了一种驱动组件和可变焦摄像模组,其中,所述驱动组件中用于引导载体移动的引导装置由特殊材料制成以与磁吸构件相配合产生使得所述引导装置被定位地保持于预设位置的磁吸作用力,这样所述引导装置能够在平稳地引导镜头载体的移动。
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