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一种半导体工艺监控方法
本申请提供了一种半导体工艺监控方法,通过在半导体样品表面溅射金属形成薄膜,并在目标区域沉积标记材料形成标记层,覆盖目标工艺的作用空间。随后进行封胶处理,并通过去除处理至标记层,露出包含目标工艺效果的目标面,最后利用扫描电镜进行扫描获取可用于...
一种晶圆盒缓存仓
本发明公开了一种晶圆盒缓存仓,涉及晶圆技术领域,包括:仓体,其内部形成有容置空间,且容置空间内设置有温度传感器,所述仓体的左右两侧分别开设有与容置空间连通的进口和出口;在容置空间内,靠近进口一侧为送料区、靠近出口一侧为取料区、取料区和送料区...
一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统
本发明公开了一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统,真空腔室内设有晶圆,对位机构包括定位件、动力组件、动力传递部件以及密封单元;定位件设于真空腔室内部;动力组件设于真空腔室外部;动力传递部件用于将动力组件的动力传递至定位件,以使定位件做靠...
一种用于半导体晶圆传送机械手末端执行器
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种用于半导体晶圆传送机械手末端执行器。主要包括末端执行器主体、具有负压值独立控制功能的多个气路吸附模块和控制模块。本申请通过设置具有负压值独立控制功能的多个气路吸附模块,能够实现多种吸附模式,以适应晶圆不...
一种大功率低杂散SiC MOSFET模块
本发明公开了一种大功率低杂散SiC MOSFET模块,所述模块包括底层陶瓷基板、顶层陶瓷基板、以及多条桥臂的第一SiC MOSFET芯片和第二SiC MOSFET芯片;编号为奇数的桥臂的第一SiC MOSFET芯片和第二SiC MOSFET...
一种银粒子修饰碳包覆的磷酸锰铁锂正极材料及其制备方法
一种银粒子修饰碳包覆的磷酸锰铁锂正极材料及其制备方法,涉及材料技术领域,该制备方法将锂源、铁源、锰源、磷源混合溶解,得到混合液;向所述混合液中加入银离子溶液,进行第一次水热反应,得到反应液;将所述反应液和碳源、还原剂混合,进行第二次水热反应...
一种复合改性的负极材料及其制备方法、应用
本发明属于锂离子电池材料技术领域,公开了一种复合改性的负极材料及其制备方法、应用,所述复合改性的负极材料包括Mn
2
Si(P
2
O
7
)
2
纳米材料、纳米硅和层...
一种无人机用氢燃料电池的氢燃料保护装置
本发明涉及无人机技术领域,具体是涉及一种无人机用氢燃料电池的氢燃料保护装置,包括:无人机,设置于所述无人机上的氢燃料罐和氢燃料电池;上保护模块,所述氢燃料罐通过所述上保护模块可拆卸设置于所述无人机的顶部;所述上保护模块设有用于对氢燃料罐进行...
一种铅酸蓄电池
本发明公开了一种铅酸蓄电池,属于电池技术领域。一种铅酸蓄电池,包括一端开口的槽体、与槽体配合的盖体以及装配于槽体内部的电芯,所述电芯由软包单体电芯层叠组成,所述软包单体电芯层叠方向设有调压板。本发明通过一种柔性电芯层叠加压结构实现单独电芯随...
一种薄极板的铅酸蓄电池
本发明属于铅酸动力电池技术领域,提供了一种薄极板的铅酸蓄电池。本发明包括至少两个设有极板的单体电池和装载单体电池的电池槽,其特征在于,所述单体电池的外壳包括柔性材料,所述柔性材料为至少两层的高分子膜;所述单体电池内部设有极板,所述单体电池的...
储能设备电池预加热控制方法、计算机设备和存储介质
本申请涉及一种储能设备电池预加热控制方法、计算机设备和存储介质,涉及电池调温控制技术领域。本申请通过获取储能设备的热影响参数,根据所述热影响参数构建储能设备温控方程,基于开始加热时间点时的热影响参数数值能生成控制供水温度和送风温度的控制信号...
电池单体及其装配方法、热熔装置、电池装置及用电设备
本申请提供一种电池单体及其装配方法、热熔装置、电池装置及用电设备,属于电池技术领域。电池单体,包括:壳体、电极组件及隔离组件。壳体沿其高度方向的底部设置有泄压通道。电极组件设置于壳体内。隔离组件包括支撑件、绝缘膜和连接块,支撑件设置于壳体的...
一种铅酸蓄电池用高分子膜
本发明公开了一种铅酸蓄电池用高分子膜,包括至少两层的薄膜基材,薄膜基材包括聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜、聚丙烯薄膜、尼龙薄膜与复合聚酰亚胺/聚四氟乙烯薄膜中的至少两种,具备优异的耐强酸腐蚀性、高机械强度、耐磨性与阻燃性能,能够延长铅酸电池的使用...
一种单面涂覆隔膜及其制备方法和应用
本发明提供一种单面涂覆隔膜及其制备方法和应用,其属于隔膜技术领域,所述单面涂覆隔膜包括基膜以及设置于所述基膜一侧表面的固有微孔性聚合物涂层;所述单面涂覆隔膜的表面特征参数R=R
A
/R
B
,R为0.5...
一种复合隔膜及其制备方法和应用
本发明提供一种复合隔膜及其制备方法和应用,其属于隔膜技术领域,所述复合隔膜包括基膜、设置于所述基膜一侧表面的第一涂层以及设置于所述基膜另一侧表面的第二涂层;所述第一涂层包括无机颗粒和胶黏剂;所述第二涂层包括自聚微孔聚合物;所述第二涂层的比表...
电池单体、电池装置和用电装置
本申请涉及一种电池单体、电池装置和用电装置,电池单体包括外壳组件和电极组件,外壳组件包括外壳和设置于外壳的第一电极端子;电极组件容纳于外壳内,电极组件包括第一极片和第二极片,第一极片和第二极片均包括涂覆部分和极耳,涂覆部分包括活性材料层,极...
一种太赫兹频段3dB电桥耦合器
本发明公开了一种太赫兹频段3dB电桥耦合器,包括:平行布置的主波导与副波导、四分支线以及第三类型分支线,四分支线均垂直连接在主波导与副波导之间并形成耦合路径,四分支线包括位于内侧的两个第一类型分支线以及位于外侧的两个第二类型分支线,第三类型...
一种碗状压铸振子
本发明公开了一种碗状压铸振子,适用于无线通信设备技术领域;包括低频偶极组件、拆卸总成及调节总成,所述低频偶极组件由铰接的安装体与低频偶极子构成,四个低频偶极体呈正交分布并设馈电巴伦与辐射臂。拆卸总成通过定位柱与定位孔插接、辅助机构与锁止机构...
端射天线及设备
本申请公开了一种端射天线及设备,涉及天线技术领域,端射天线包括介质基板,传输结构和谐振腔;介质基板的表面开设有耦合窗,传输结构集成于所述介质基板的内部;谐振腔包括第一反射面和第二反射面;所述耦合窗将电磁波耦合至所述介质基板内,所述电磁波沿所...
一种移动式漏泄同轴电缆及其制作方法
本发明涉及一种移动式漏泄同轴电缆及其制作方法。本发明包括内导体;绝缘层,覆盖于所述内导体外表面;屏蔽层,覆盖于所述绝缘层外表面,所述屏蔽层采用具有波纹结构的金属带材,所述屏蔽层上设置有四组槽孔,以实现电磁波信号的泄露;其中,各所述槽孔设置于...
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