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  • 本发明涉及半导体制造技术领域,公开了一种金属膜厚度的校准方法、装置、计算机设备、介质及产品,方法包括:获取基准分段函数,基准分段函数表征金属膜厚度和测量信号在各个不同金属膜厚度区间的对应关系,测量信号为电涡流传感器输出的信号值;确定校准晶圆...
  • 本发明涉及一种能减小提离、形变和温度对柔性厚度传感器精度影响的方法,属于传感技术领域。首先,确定有效感应电动势标定区间,进而得到实际感应电动势值对应的位值。然后,确定有效提离标定区间、有效形变标定区间和有效温度标定区间,进而得到实际提离值、...
  • 本发明提供了一种基于应变测量的汽轮机胀差在线监测方法,目的是解决现有技术涉及的直接测量方式对被测位置的空间大小、被测面的面积大小以及机组的实际结构有较高要求,且对于大容量的汽轮发电机组以及泊松效应明显的汽轮机低压缸,存在传感器量程不满足要求...
  • 本发明涉及盾构施工监测技术领域,尤其是涉及一种盾尾尾刷变形及管片盾尾间隙监测方法,其包括构建多维传感矩阵、初始化监测参数表、调整监测参数、动态校验及实时反馈等步骤。通过分布式传感器采集数据,主控单元结合滤波、数据融合、特征提取及模式识别算法...
  • 本发明提出一种狗骨头形超低温应变传感器保护装置,同时提出了其制造方法,以及使用该保护装置的应变传感器。本发明的保护装置用于安置并保护应变片,以使该应变力在超低温环境下检测应变。保护装置包括一个腔室,该腔室用于容纳所述应变片和应变片的接线,整...
  • 基于转向尖端稳定保持技术的大型回转装备复杂形貌电感测量装置,属于精密测量技术领域,解决现有的传感器在测量大型回转装备复杂形貌时,转向过程中末端触点不稳定,从而导致无法精准测量的问题。包括:第一电机、连接工件、连接臂、第二电机和传感装置;第一...
  • 本发明实施例公开了一种云台的角度测量方法、装置、电子设备及存储介质,其中,方法包括:通过目标云台获取目标磁器件在当前位置的霍尔坐标数据;其中,所述目标云台绑定有设定数量的霍尔传感器;将所述当前位置的霍尔坐标数据输入到目标神经网络中,得到所述...
  • 本发明实施例公开了一种云台的角度测量方法、系统、电子设备及存储介质,其中该方法包括:获取云台相对磁器件运动过程中,按照固定间隔欧拉角度离散测量的离散参考位置的离散参考数据;其中,所述云台绑定有设定数量的霍尔传感器;所述离散参考数据包括霍尔坐...
  • 公开了一种角度检测装置及检测方法,基于处理芯片所内置的处理程序和各向异性磁电阻的磁场特性,在接收霍尔元件和各向异性磁电阻的电压信号后,本发明所提出的装置和方法能够精准计算角度的偏移量,与现有解决方案相比,本发明所提出的装置和方法通过特定的结...
  • 本发明公开了一种基于FCT设备的端子同心度检测方法,包括以下步骤:S1):将端子放入FCT设备接口:将待测试的端子公母端插入接口内;S2):输入调节参数:根据测试的端子调整相关的系统参数;S3):使用FCT设备进行检测:使用FCT进行检测判...
  • 本发明涉及光学检测技术领域,具体提供了一种白光干涉信号的解调方法、设备、介质及计算机程序产品,方法包括:利用非均匀快速傅里叶变换处理在波数域上非均匀分布的干涉光强信号数据,得到所述干涉光强信号数据的频谱信息,确定第一光程差;对所述非均匀快速...
  • 本发明涉及一种相位反馈补偿准实时校准的干涉成像装置,属于干涉成像技术领域。所述校准装置包括X/Y方向光路、控制器、线性位移台;X、Y方向光路结构相同,沿光线入射方向均包括依次设置的两路并列的耦合透镜、干涉组件和光电探测组件;所述线性位移台为...
  • 提供广角相机装置和能够获取包括三维点云数据的图像的测量系统,所述广角相机装置具有广视角,其中图像的周边部分中的失真较小并且分辨率的劣化较小。广角相机装置包括多个相机2a和2b。相机2a和2b分别包括作为物镜的成像透镜后组10a和10b、作为...
  • 本发明涉及改善的免疫测定。公开了用于在利用微球的免疫测定的图像中确定微球位置的方法,其中该图像包括多个微球(110)的绘制体,其中该方法的特征在于,该方法包括通过基于观察到的发光(Od)的反卷积和由显微镜观察到的微球(珠粒)的数学表示(b)...
  • 本发明提供一种基于激光测距的位置检测方法、装置、电子设备及存储介质,涉及闸机检测技术领域。其中,基于激光测距传感器,采集检测目标的位置数据;将检测目标的位置数据转换为第一坐标系下的三维坐标系数;获取第一坐标系向第二坐标系转换的转换矩阵;获取...
  • 本申请实施例提供了半导体检测设备的电子束落点位置标定方法以及程序产品,方法包括:首先确定目标图形对应的未倾斜检测坐标。基于多个输出参数组,确定多个倾斜后检测坐标。基于未倾斜检测坐标和倾斜后检测坐标以及多个输入参数组,确定函数关系。基于函数关...
  • 本申请提供了一种水下堆内构件筒体形位测量装置及其方法,包括控制设备、以及可拆卸连接的升降运动模块和圆周运动模块。控制设备与升降运动模块和圆周运动模块连接,用于控制升降机构通过测量模块支架带动测量模块实现上下动作;控制测量模块采集堆内构件筒体...
  • 本申请提供一种高辐射水下堆芯围板的形位测量装置及其方法,该高辐射水下堆芯围板的形位测量装置包括底座、圆周电机及传动机构、主体、适配器、电机及传动机构、升降轨道、连接板、测量模块和控制设备。控制设备用于控制圆周电机及传动机构、升降电机及传动机...
  • 本发明提供一种激光跟踪仪靶球反射器防尘装置,包括由靠近靶球反射器端向远离靶球反射器端依次设置的缓冲垫圈、舵机框架、防尘挡片和前面板;所述缓冲垫圈的一端与靶球反射器固定连接,所述缓冲垫圈的另一端与舵机框架固定连接,所述舵机框架上部固定连接有舵...
  • 本发明公开了跨座式单轨车辆形位检测台及姿态调整方法,涉及轨道交通检测技术领域,该形位检测台包括:检测台主体,设置为钢制空心梁结构,用于安装待检测单轨车体并提供测量平台;钢板立面,用于布设侧向传感器安装位与布线通道;加强筋板;中心计算模块,设...
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