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最新专利技术
  • 一种多靶配置的高深孔能力TGV种子层溅镀装置和方法
    一种多靶配置的高深孔能力TGV种子层溅镀装置和方法_安徽越好电子装备有限公司_202610001170.4
    本发明涉及种子层溅镀技术领域，尤其是涉及一种多靶配置的高深孔能力TGV种子层溅镀装置和方法，一种多靶配置的高深孔能力TGV种子层溅镀装置包括：用于承载基板的旋转式基座；多靶溅镀组件，所述多靶溅镀组件包括：设置于所述旋转式基座上方的中心靶，环...
    2026-04-13
  • 顶升装置及磁控溅射镀膜设备
    顶升装置及磁控溅射镀膜设备_深圳市捷佳芯创科技有限责任公司_202511957555.X
    本发明提供了顶升装置及磁控溅射镀膜设备，涉及磁控溅射镀膜技术领域，顶升装置包括顶升动力件、顶升轴以及顶盖；顶升轴安装于顶升动力件的输出端，顶升轴的内部设有冷却腔，冷却腔连通输入接头和输出接头；顶盖安装于顶升轴伸入腔室的一端，顶升动力件通过顶...
    2026-04-13
  • 一种用于高寒铁路的耐低温冲击高强度螺栓及其热处理方法
    一种用于高寒铁路的耐低温冲击高强度螺栓及其热处理方法_四川东博轨道科技有限公司_202511867021.8
    本发明公开一种用于高寒铁路的耐低温冲击高强度螺栓及其热处理方法，螺栓具有基体‑仿生纳米叠层‑高熵合金渗氮层的特殊三层结构：基体晶粒度达ASTM8级以上；仿生纳米叠层由TiN和VC交替沉积构成，单层厚度小于50nm；高熵合金渗氮层材料为AlC...
    2026-04-13
  • 用于氢能安全传感薄膜制备的多环磁控溅射靶结构
    用于氢能安全传感薄膜制备的多环磁控溅射靶结构_新疆大学_202511709119.0
    本发明公开了一种用于氢能安全传感薄膜制备的多环磁控溅射靶结构，包括圆盘状极靴，极靴上方同轴设有双环环状外磁轭，外磁轭与极靴之间均匀分布若干外磁铁；极靴中心设有内磁铁，其上方设有内磁轭。本发明针对氢气传感薄膜在制备过程中膜层厚度不均、灵敏度不...
    2026-04-13
  • 一种镀膜均匀且靶材利用率高的磁控溅射镀膜方法
    一种镀膜均匀且靶材利用率高的磁控溅射镀膜方法_深圳市智创谷技术有限公司_202511693020.6
    本发明公开了一种镀膜均匀且靶材利用率高的磁控溅射镀膜方法，属于薄膜制备技术领域，该方法通过“预处理‑溅射‑沉积‑后处理”全流程协同优化实现高精度镀膜：基板预处理采用氩气+氢气双气源梯度活化，搭配射频脉冲聚焦轰击对基板进行清理；靶材溅射用含温...
    2026-04-13
  • 一种立式磁控溅射镀膜方法
    一种立式磁控溅射镀膜方法_深圳市智创谷技术有限公司_202511693010.2
    本发明公开了一种立式磁控溅射镀膜方法，涉及磁控溅射镀膜技术领域，包括以下步骤：步骤S1、工件预处理与立式布置：对工件依次进行乙醇超声清洗、去离子水冲洗、干燥处理；步骤S2、溅射环境预处理：对装有工件的镀膜腔室抽真空至基础真空度，向镀膜腔室内...
    2026-04-13
  • 一种金刚石铜液冷盖板及其制备方法
    一种金刚石铜液冷盖板及其制备方法_中京烽火(北京)科技有限公司_202511684512.9
    本发明涉及导热技术领域，特别涉及一种金刚石铜液冷盖板及其制备方法。本发明实施例提供一种金刚石铜液冷盖板的制备方法，包括：在金刚石铜基板上磁控溅射钛层；在磁控溅射得到的钛层上磁控溅射银层；通过烧结工艺，将磁控溅射得到的银层和具有微流道的铜基散...
    2026-04-13
  • 一种新能源汽车电池盒及表面处理方法
    一种新能源汽车电池盒及表面处理方法_广西柳州市龙发金属表面处理技术股份有限公司_202511632086.4
    本发明属于表面处理技术领域，具体为一种新能源汽车电池盒及表面处理方法，通过引入氧化石墨烯过渡层、非晶态镍磷合金镀层、等离子体处理技术以及纳米级陶瓷颗粒增强的有机硅涂层，显著提升了电池盒在复杂工况下的综合性能。同时，配套的设备装置和质量控制方...
    2026-04-13
  • 一种岸电通信模块数据存储异质结设计及可控制备方法
    一种岸电通信模块数据存储异质结设计及可控制备方法_江苏德耐美克电气有限公司_202511565926.X
    本发明公开了一种岸电通信模块数据存储异质结设计方法，具体设计步骤如下：首先采用物理气相沉积法构建新型异质结Ge22Sb22Te55/Sb77Se33存储介质，然后通过磁控交替溅射法获得异质结复合结构，具体的磁控交替溅射法为：组成设备包括真空...
    2026-04-13
  • 一种铝材版辊表面镀膜设备及镀膜方法
    一种铝材版辊表面镀膜设备及镀膜方法_鹤山市精工制版有限公司_202511548250.3
    本申请公开了一种铝材版辊表面镀膜设备及镀膜方法，铝材版辊表面镀膜设备包括：真空炉，设置有真空镀膜腔室，真空镀膜腔室朝向真空炉外侧连通设置有第一进气管和第二进气管，真空镀膜腔室设置有夹具，夹具包括旋转台和气胀轴，旋转台分别转动设置于真空镀膜腔...
    2026-04-13
  • 一种往复式多腔室磁控溅射光学镀膜机
    一种往复式多腔室磁控溅射光学镀膜机_山东省宝锋科技有限公司_202511442097.6
    本申请公开了一种往复式多腔室磁控溅射光学镀膜机, 属于镀膜机领域，包括中央准备腔室以及两侧对称布置的两个工艺腔室，准备腔室与工艺腔室之间通过第一阀门控制通断，准备腔室与外界之间由第二阀门实现隔离；第二阀门开启且第一阀门关闭时，输送机构可完成...
    2026-04-13
  • 一种倾斜靶材供自转基板
    一种倾斜靶材供自转基板_安徽越好电子装备有限公司_202610001172.3
    本发明涉及镀膜技术领域，具体为一种倾斜靶材供自转基板，包括真空舱、基片架、升降旋转机构和靶材机构；所述基片架设置在所述真空舱内，所述基片架的底部设置所述升降旋转机构，由升降旋转机构带动基片架在真空舱内旋转和升降；所述靶材机构设置在真空舱上部...
    2026-04-13
  • 一种多弧离子复合硬质涂层真空镀膜机装置
    一种多弧离子复合硬质涂层真空镀膜机装置_法德(浙江)机械科技有限公司_202511406801.2
    本发明公开了一种多弧离子复合硬质涂层真空镀膜机装置，涉及真空镀膜技术领域，包括镀膜机本体和安装在所述镀膜机本体前侧的镀膜机仓门，所述镀膜机仓门的前侧内壁固定安装有电弧放射源，所述镀膜机本体和镀膜机仓门内均安装有电加热丝和电弧离子镀装置，且电...
    2026-04-13
  • 一种高温防护涂层表面快速生成预氧化层的方法
    一种高温防护涂层表面快速生成预氧化层的方法_中国航发贵阳发动机设计研究所_202511400197.2
    本发明属于高温防护涂层技术领域，尤其涉及一种MCrAlY涂层表面快速生成预氧化层的方法。该方法首先采用多弧离子镀技术在高温合金基体上制备MCrAlY涂层，并对涂层依次进行真空热处理、喷砂处理、激光扫描处理。该方法所制备的MCrAlY表面可快...
    2026-04-13
  • 一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构
    一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构_苏州佑伦真空设备科技有限公司_202511998525.3
    本发明公开了一种Loadlock型超高真空蒸镀机的输送承托机构，涉及蒸镀机晶圆输送技术，包括安装于蒸镀机内部上方的承载平台，并且承载平台的上方左侧设置有升降油缸；所述承载平台的下方设置有对接机构，且对接机构包含有托底载环；其中，托底载环用于...
    2026-04-13
  • 一种耐高温抗磨损非晶多元碳化物涂层及其制备方法
    一种耐高温抗磨损非晶多元碳化物涂层及其制备方法_中国科学院兰州化学物理研究所_202511816808.1
    本发明公开了一种耐高温抗磨损非晶多元碳化物涂层及其制备方法，属于高温防护涂层材料技术领域。所述涂层包括依次沉积于基材上的CrY/CrYTiAl复合过渡层和(TiCrNbAlYSi)C功能层。所述功能层为非晶结构，其元素原子百分比组成为：C占...
    2026-04-13
  • 一种提高涡轮转子叶片气动性能的方法
    一种提高涡轮转子叶片气动性能的方法_国营川西机器厂_202511586600.5
    本发明涉及一种提高涡轮转子叶片气动性能的方法，解决了传统方法存在的问题。首先采用低温等离子清洗去除表面氧化物及脏物，降低涡轮转子叶片基体粗糙度；随后采用真空电弧镀制备叶片涂层，保证涂层表面均匀一致；然后陶瓷颗粒粗抛+复合磨料精密修饰，降低表...
    2026-04-13
  • 一种香槟色水钻及真空镀膜改色方法
    一种香槟色水钻及真空镀膜改色方法_湖北铭宇水晶饰品有限公司_202511679977.5
    本发明公开了一种香槟色水钻及真空镀膜改色方法，属于水钻技术领域。方法包括：S101模板转移：将水钻转移至模板上；S102偏压等离子体清洁：将模板转移至镀膜室，抽真空并加热，再进行偏压等离子体清洁；S103镀氧化铝层：真空清洁后，采用氧化铝靶...
    2026-04-13
  • 一种铁马钢外壁多结构复合涂层制备方法
    一种铁马钢外壁多结构复合涂层制备方法_中国核动力研究设计院_202511592125.2
    本申请属于不锈钢涂层制备方法技术领域，具体涉及一种铁马钢外壁多结构复合涂层制备方法。本申请实施例提供的一种铁马钢外壁多结构复合涂层制备方法，通过铁马钢表面镀铝、铁马钢/铝层扩散热处理、铁马钢/铝层镀氧化铝三个主要步骤，原理是通过多弧离子镀方...
    2026-04-13
  • 一种利用RPD制备氟掺杂氧化锡透明导电膜及其制备方法
    一种利用RPD制备氟掺杂氧化锡透明导电膜及其制备方法_华能沾化新能源有限公司_202511572701.7
    本发明提供的一种利用RPD制备氟掺杂氧化锡透明导电膜及其制备方法，包括以下步骤：将RPD设备腔体抽至背底真空，之后调节RPD设备腔体压力至预设要求；向RPD设备腔体通入氩气、氧气和含氟气体；将锡基金属作为靶源在衬底上进行镀膜，得到氟掺杂氧化...
    2026-04-13
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