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一种高深宽比刻蚀结构及其制造方法
本申请公开了一种高深宽比刻蚀结构及其制造方法,包括:在第一温度下执行刻蚀工艺,对在相邻的有机物掩膜之间露出的衬底的表面进行刻蚀,形成高深宽比刻蚀结构;刻蚀工艺包括依次按沉积步骤、刻蚀步骤形成的多个周期性循环步骤,沉积步骤使用第一气体作为沉积...
一种硅空腔的制造方法及半导体结构
本申请公开了一种硅空腔的制造方法及半导体结构,包括:在硅衬底的表面上形成网格状的有机物掩膜;在小于‑10℃下,执行刻蚀工艺,对露出的硅衬底表面进行刻蚀,形成硅空腔;刻蚀工艺包括依次按沉积步骤、刻蚀步骤形成的多个周期性循环步骤;沉积步骤使用C...
一种钠离子电池硬碳负极材料及其制备方法
本发明涉及一种钠离子电池负极材料及其制备方法,所述钠离子电池负极材料是三维立体网状结构的木质素基碳包覆在酚醛树脂基碳的表面,所述钠离子电池负极材料是酚醛树脂和臭氧活化碱性木质素作为碳源高温碳化得到,所述臭氧活化碱性木质素是将碱性木质素置于臭...
一种p型透明功能氧化物薄膜在SiC衬底上高质量室温外延生长方法
本发明提出一种p型透明功能氧化物薄膜在SiC衬底上高质量室温外延生长方法。提出在SiC衬底上实现NiO薄膜高质量室温外延生长的技术路径,提供一种可在室温条件下实现NiO在SiC衬底上高结晶质量、界面良好的异质外延生长方法,以填补该领域的技术...
一种外延结构的制备方法、外延结构和半导体器件
本申请提供外延结构的制备方法、外延结构和半导体器件,该制备方法,包括:将衬底的一面置于石墨盘上,在所述衬底的另一面上依次制备形成了成核层、缓冲层、高阻层、沟道层、插入层和势垒层;所述石墨盘的表面设有凸面和凹面,所述凹面设于所述石墨盘的中间区...
一种生物质硬碳负极材料及其制备方法、负极片和钠离子电池
本发明提供了一种生物质硬碳负极材料及其制备方法、负极片和钠离子电池。所述制备方法包括以下步骤:先将生物质前驱体和含有脱酸螯合剂的溶液在超临界流体介质中进行反应,得到中间体材料,其中,脱酸螯合剂含有氨基;再将中间体材料进行碳化处理,得到所述生...
一种极化终端结构的GaN肖特基势垒二极管及其制备方法
本发明公开了一种极化终端结构的GaN肖特基势垒二极管及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括:依次层叠设置的衬底、缓冲层、n+‑GaN层、n‑‑GaN漂移层、AlGaN层、i‑GaN层和p‑GaN层;i‑GaN层和p‑GaN层组成的层叠结构与...
一种超低温深硅刻蚀方法及高深宽比刻蚀结构
本申请公开了一种超低温深硅刻蚀方法及高深宽比刻蚀结构,包括:在硅衬底的表面上形成多个光刻胶图形;执行刻蚀工艺的沉积步骤,在‑30℃以下的第一温度下,使用包括CH4、CHF3和H2的第一气体,在硅衬底和光刻胶图形上沉积a‑C : H : F交...
一种彩釉玻璃及其制备方法
本发明属于彩釉玻璃技术领域,具体涉及一种彩釉玻璃及其制备方法。本发明彩釉玻璃的制备方法包括以下步骤:(1)选取玻璃原片经清洗、切割、磨边后备用;(2)采用丝网印刷工艺将釉料印刷于步骤(1)处理后的玻璃外表面,烘干处理;(3)将步骤(2)处理...
侧向折叠机臂式便携消防无人机
本发明涉及无人机技术领域,且公开了侧向折叠机臂式便携消防无人机,旨在解决消防无人机便携性与灭火范围的适配问题,其包括四旋翼防爆无人机,底部起降支架两侧设剪式折叠臂,底部通过管道卡扣固定分水管,分水管两端插带活塞的中心伸缩管,活塞经定位销与折...
消防车用耦合箱模式选择控制系统
本发明公开了一种消防车用耦合箱模式选择控制系统,车辆工作模式包括双发驱动行驶模式、单发驱动行驶模式、行车打水模式和驻车打水模式;选择双发驱动行驶模式,发动机带变速器D1+T1和D2+T2两路动力经耦合箱汇流后共同驱动车辆;选择单发驱动行驶模...
一种窗台防水结构及其施工方法
本发明公开了一种窗台防水结构及其施工方法,所述防水结构包括墙体和墙体上方的窗台,所述窗台上固定有垫块和窗框,所述窗框将窗台分为外部窗台和内部窗台,所述外部窗台的上部依次设置有保温层和第一找平层,所述第一找平层的上端面带有坡度,所述内部窗台的...
一种用于大口径纹影光路的快速装调方法
本发明涉及光学系统装调领域,为解决现有纹影光路的装调周期较长、精度低、稳定性差等问题,提出一种用于大口径纹影光路的快速装调方法,包括以下步骤:按照系统设计的理论角度对纹影光路进行初步搭建;在发射端主镜和成像端主镜之间的光路上设置第一八线仪;...
一种配电控制一体化的储能高压控制箱
本发明公开了一种配电控制一体化的储能高压控制箱,包括储能高压控制箱结构与热膨胀结构,前者含主体,主体非连接接口侧设检修散热窗,窗内外端口螺栓固定网罩,窗内两层网罩间设多层嵌套伸缩封闭套板,最内层套板与带复流弹簧的伸缩套杆间隙配合;后者含上盖...
一种转向球头自密封球销壳结构
本实用新型公开了一种转向球头自密封球销壳结构,包括传动杆,所述传动杆的末端设置有球销壳,所述球销壳的内部设置有球碗,所述球碗的内壁转动连接有球头,所述球头的顶部设置有球销,所述球销壳的底部设置有翻折边,所述翻折边的内壁设置有内斜口,所述翻折...
一种转运料斗对接下料装置
本实用新型公开了一种转运料斗对接下料装置,包括通过一对接组件连接在一起的上支架和下支架,所述上支架和下支架内部形成的空腔内自上而下依次设有转运料斗、锥形下料阀及下料口;所述锥形下料阀设于转运料斗底部,包括一阀体、固定设于阀体内部的顶升气缸及...
一种可携带多种传感设备的液压巡检四足机器人
本发明属于巡检机器人的技术领域,公开了一种可携带多种传感设备的液压巡检四足机器人。其主要包括机身骨架、传感采集系统、主控制器、四个机械腿、液压供油系统以及锂电池等组成,其中机械腿采用一个主PSS传动组件配合两个辅助PSS传动组件传动支腿的易...
配电柜内部布线连接装置
本实用新型涉及配电柜配件技术领域,具体为配电柜内部布线连接装置,包包括安装配电柜内壁上的布线轨道罩,布线轨道罩的两侧对称设置有固定耳,布线轨道罩内设置有若干组分隔条;布线轨道罩的截面呈U型,布线轨道罩包括设置于内部的绝缘内层和设置于外部的防...
一种新能源储能柜热失控预警方法及系统
本发明涉及热失控预警技术领域,具体公开了一种新能源储能柜热失控预警方法及系统,包括:分组模块:依据环境与位置数据计算各储能箱的组合值,将满足条件的柜体分组为电池簇,每个簇连接至一个边缘复合模块;边缘复合模块:由采集单元、分析模块和互联单元组...
一种多功能雨水储存系统
本实用新型公开了一种多功能雨水储存系统,包括水箱座椅,水箱座椅的底部设置有水箱座,水箱座至少用于对水箱座椅的稳定支撑;水箱座椅的顶部设置有一体成型的水箱上盖;水箱座椅的后侧设置有一体成型的水箱靠背;水箱座椅的前侧下方设置有出水管,且水箱座椅...
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