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最新专利技术
  • 一种探针卡研磨装置
    一种探针卡研磨装置_景美科技股份有限公司_202410359434.4
    本发明公开了一种探针卡研磨装置， 包含外壳、机体及摄影组件。外壳具有定位平面及工作窗口， 定位平面位于外壳顶部， 工作窗口位于定位平面上且连通外壳的内部。机体容置在外壳之内， 机体具有升降滑轨、升降平台、抬升致动器、转向滑轨、旋转盘、驱动马...
    2025-11-27
  • 硅材料高平坦度CMP的加工方式
    硅材料高平坦度CMP的加工方式_杭州中欣晶圆半导体股份有限公司_202510673038.3
    本发明涉及一种硅材料高平坦度CMP的加工方式， 所属半导体技术领域， 包括如下操作步骤：第一步：在CMP机械抛光工艺前， 优化抛光布结构和材料， 使用具有更好弹性和耐磨性的材料制造抛光布， 能够提高抛光布在抛光过程中的稳定性和耐用性。第二步...
    2025-11-27
  • 信息处理装置及方法、基板研磨装置、推论装置及方法、机器学习装置及方法
    信息处理装置及方法、基板研磨装置、推论装置及方法、机器学习装置及方法_株式会社荏原制作所_202510348533.7
    提供可提高化学机械研磨处理的基板处理质量的信息处理装置及方法、基板研磨装置、推论装置及方法、机器学习装置及方法。信息处理装置(6)具备：信息获取部(210b)， 获取包含表示由基板研磨装置(2)进行由研磨垫的研磨面研磨基板的研磨处理时的研磨...
    2025-11-27
  • 一种耐火材料精研设备及管件研磨方法
    一种耐火材料精研设备及管件研磨方法_青岛东冶耐火材料有限公司_202511095788.3
    本发明涉及耐火材料生产技术领域， 提出了一种耐火材料精研设备及管件研磨方法， 包括基座、主摆臂、单摆臂、研磨机构和检测机构， 其中， 基座并列开设有多个槽口；主摆臂对应槽口设置有多个， 并可相对基座进行转动；单摆臂与主摆臂转动连接；研磨机构...
    2025-11-27
  • 一种晶圆处理方法
    一种晶圆处理方法_华海清科股份有限公司_202510914728.3
    本发明公开了一种晶圆处理方法， 涉及晶圆制造技术领域。该晶圆处理方法在CMP系统中处理晶圆表面， 其包括：S1， 前置单元的前置机械手将晶圆放置于轨道起始位置的晶圆夹持机构上；S2， 晶圆夹持机构沿轨道移动至抛光单元的第一交互位置， 在所述...
    2025-11-27
  • 一种法兰密封面清理装置
    一种法兰密封面清理装置_新疆大全新能源股份有限公司_202511160850.2
    本发明公开了一种法兰密封面清理装置， 涉及法兰盘清理设备技术领域， 主要目的是提供一种能够对法兰盘的密封面进行机械化打磨的一种法兰密封面清理装置。本发明的主要技术方案为：一种法兰密封面清理装置， 包括：驱动部件；调节部件， 调节部件包括固定...
    2025-11-27
  • 研磨设备及研磨方法
    研磨设备及研磨方法_上海光通信有限公司_202410341620.5
    本申请提供一种研磨设备及研磨方法， 涉及半导体技术领域， 用于解决研磨垫修整器的修整效果较差的问题。该研磨设备包括研磨垫、研磨垫修整器、清洗喷嘴、压力检测装置和控制装置。研磨垫修整器可移动至压力检测装置上并与压力检测装置接触， 压力检测装置...
    2025-11-27
  • CMP装置和抛光方法
    CMP装置和抛光方法_株式会社东京精密_202510326445.7
    本发明提供能够容易地提高在晶片表面层叠的多个层中的抛光层的厚度的测定精度的CMP装置和抛光方法。CMP装置(1)对具有抛光层(W1)和位于所述抛光层之下的至少一层基底层(W2)的晶片(W)的所述抛光层进行抛光， 所述CMP装置具备：数据库(...
    2025-11-27
  • 一种研磨机及地平研磨施工方法
    一种研磨机及地平研磨施工方法_宁波沃克工程机械有限公司_202511194077.1
    本发明是关于一种研磨机及地平研磨施工方法， 研磨机包括底架机构、扶手机构及研磨机构， 所述研磨机构用于安装研磨组件。所述底架机构包括底座、调节座、调节杆组件和脚轮组件， 调节杆组件升降活动调整底座和调节座的开合角度， 以调整研磨机构的研磨平...
    2025-11-27
  • 具有终点检测窗口的抛光垫
    具有终点检测窗口的抛光垫_杜邦电子材料控股股份有限公司_202510381757.8
    一种用于衬底(例如， 半导体晶圆)的化学机械抛光的抛光垫， 该抛光垫包括抛光层、子垫层、顶部窗口部分、底部窗口部分、以及支承部。支承部从抛光层朝向顶部窗口周边表面延伸并且与顶部窗口周边表面相邻。底部窗口部分的横截面大于顶部窗口部分的横截面。...
    2025-11-27
  • 多功能终点检测窗口
    多功能终点检测窗口_杜邦电子材料控股股份有限公司_202510381759.7
    本申请公开了多功能终点检测窗口， 具体涉及一种用于化学机械抛光的抛光垫， 该抛光垫包括：抛光层， 该抛光层具有抛光表面、与抛光表面相反的抛光层界面表面和从抛光表面延伸至抛光界面表面的抛光窗口区域表面；子垫层， 该子垫层具有与抛光层界面表面相...
    2025-11-27
  • 一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统
    一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统_华海清科股份有限公司_202510914634.6
    本发明公开了一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统， 涉及晶圆制造技术领域。该晶圆传输装置包括：轨道， 沿化学机械抛光系统的横向及竖向设置并位于化学机械抛光系统中；滑块， 设置于所述轨道上并沿轨道移动， 所述滑块上配置有晶圆夹持机构， 以夹持待...
    2025-11-27
  • 一种磨削加工装置
    一种磨削加工装置_阳江职业技术学院_202510930967.8
    本发明公开一种磨削加工装置， 包括：刀轴、刀具以及冷却仓， 所述冷却仓和所述刀具依次安装于所述刀轴， 所述冷却仓形成有密封腔， 所述刀具具有磨削区域， 所述密封腔靠近于所述磨削区域， 所述密封腔用于盛装相变流体， 以使所述密封腔的相变流体吸...
    2025-11-27
  • 一种玻璃深加工用刀盒
    一种玻璃深加工用刀盒_蚌埠朝阳玻璃机械有限公司_202511109719.3
    本发明涉及刀盒领域， 公开了一种玻璃深加工用刀盒， 包括刀轮、刀杆及刀座， 所述刀杆通过刀座与刀轮连接， 所述刀杆受导向件导向， 且导向件的内部形成可改变大小的腔体， 在对导向件内通入气体时， 所述刀杆沿其长度方向移动， 并在受驱动旋转改变...
    2025-11-27
  • 一种抛光设备磨头连接装置
    一种抛光设备磨头连接装置_鸿诺瑞科技(大连)有限公司_202511223373.X
    本发明公开了一种抛光设备磨头连接装置， 涉及旋转接头技术领域, 包括内含安装通道的壳体、从壳体底端伸入安装通道内并与壳体转动连接的转子轴， 以及轴向等距装配于安装通道内的机械密封组件；所述转子轴内部沿圆周方向均匀设有多路独立管路， 所述壳体...
    2025-11-27
  • 一种可自适应非平行表面样品的手持式磨抛装置
    一种可自适应非平行表面样品的手持式磨抛装置_武汉科技大学_202510874661.5
    本发明提供一种可自适应非平行表面样品的手持式磨抛装置， 包括握把套筒、非平行表面自适应调节组件及竖向夹持组件， 所述的握把套筒包括外套筒和套筒配件， 用于对样品进行侧向限位， 确保磨抛过程中的稳定性；所述的非平行表面自适应调节组件位于试样顶...
    2025-11-27
  • 一种石墨制品磨削夹具
    一种石墨制品磨削夹具_巴中意科碳素股份有限公司_202511151125.9
    本发明涉及磨削夹具技术领域， 公开了一种石墨制品磨削夹具， 包括基台， 用于承载石墨制品， 所述基台的内部贯穿开设有若干个通孔， 若干个柱体， 其设置于通孔的内部， 所述若干个柱体能对石墨制品进行支撑。本发明通过标记芯靠近石墨制品下表面运动...
    2025-11-27
  • 一种尺寸测量装置
    一种尺寸测量装置_烟台正海磁性材料股份有限公司_202410375401.9
    本发明公开了一种尺寸测量装置， 属于磁体加工尺寸检测的技术领域， 包括机架， 机架上方设有上料输送机构、检测机构、下料输送机构和吹料机构， 检测机构包括支撑台， 支撑台上方滑动连接有两个工件导向块， 支撑台的两侧设有用于驱动两个工件导向块向...
    2025-11-27
  • 一种六面顶锤加工余量的测量方法
    一种六面顶锤加工余量的测量方法_横店集团东磁股份有限公司_202510426224.7
    本发明涉及金属加工技术领域， 公开了一种六面顶锤加工余量的测量方法， 包括以下步骤：安装测量组件并进行调试；测量组件对标准块测量并获取理论示数；毛坯顶锤进行初加工并使用测量组件获取实际示数；通过理论示数与实际示数的比较结果判断再加工方向；根...
    2025-11-27
  • 打磨除尘系统、机械臂及管桩端面打磨机器人
    打磨除尘系统、机械臂及管桩端面打磨机器人_中交第三航务工程局有限公司_202511222330.X
    本发明提供一种打磨除尘系统、机械臂及管桩端面打磨机器人， 涉及管桩打磨系统技术领域， 包括：工作区；打磨组件；隔离组件， 通过打磨装置、内管桩封闭板、外管桩封闭板和围合封闭罩围合形成与外环境隔离的打磨除尘空间， 所述内管桩封闭板和外管桩封闭...
    2025-11-27
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