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最新专利技术
  • 套刻偏差处理方法、装置、设备、介质及系统
    套刻偏差处理方法、装置、设备、介质及系统_中芯国际集成电路制造(上海)有限公司_202410382266.0
    本申请涉及半导体技术领域， 尤其涉及一种套刻偏差处理方法、装置、设备、介质及系统， 该方法包括：获取与当前层关联的前后道工艺参数特征和偏差补偿模型， 并输入至偏差补偿模型进行偏差补偿处理， 得到前后道工艺参数特征对应的预测偏差补偿数据；在前...
    2026-02-07
  • 曝光装置、曝光装置的控制方法和产品制造方法
    曝光装置、曝光装置的控制方法和产品制造方法_佳能株式会社_202510363245.9
    本发明提供了曝光装置、曝光装置的控制方法和产品制造方法。曝光装置包括：照明光学系统， 其包括改变来自光源的光的波段的多个光学元件， 并且被构造为用波段已被所述多个光学元件之一改变的光对被照射表面进行照射；以及控制单元， 其被构造为使用跟照度...
    2026-02-07
  • 一种使用灰度曝光制作通孔的实验方法
    一种使用灰度曝光制作通孔的实验方法_绍芯实验室_202510849806.6
    本申请涉及一种使用灰度曝光制作通孔的实验方法， 旨在通过光刻与刻蚀过程的协同设计， 实现具有特定倾角和深宽比的通孔结构。所述方法包括：确定通孔角度与深宽比、选择刻蚀条件、基于刻蚀速率选择比设计灰度掩模结构、实施灰度曝光获得掩模图形、刻蚀、去...
    2026-02-07
  • 扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法
    扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法_佳能株式会社_202511164139.4
    本公开涉及扫描曝光装置、扫描曝光方法以及物品制造方法。扫描曝光装置针对由照明光学系统照明的照明区域扫描原版， 并且一边与原版的扫描同步地扫描基板， 一边对基板进行扫描曝光。扫描曝光装置具备：第1调整机构， 在进行基板的第1区域的扫描曝光以及...
    2026-02-07
  • 准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备
    准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备_新毅东(北京)科技有限公司_202511165155.5
    本发明提供一种准分子激光器剩余使用寿命的预测方法、装置及电子设备， 涉及半导体制造技术领域。所述方法包括获取目标复合特征， 所述目标复合特征包括脉冲能量复合特征、放电参数复合特征和气体参数复合特征；根据所述目标复合特征中各复合特征之间的互耦...
    2026-02-07
  • 基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统
    基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统_上海芯上微装科技股份有限公司_202511171483.6
    提供一种基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统， 该装置包括光源、照明模块、工件台以及探测模块， 该照明模块包括照明光纤和照明单元， 照明光纤用于将光源导入照明单元， 照明单元用于生成入射光束；工件台用于承载晶圆及带动晶圆运动， 该晶圆...
    2026-02-07
  • 一种卡盘
    一种卡盘_深圳中科飞测科技股份有限公司_202511207355.2
    本发明涉及半导体检测技术领域， 尤其涉及一种卡盘， 卡盘包括：主体部， 所述主体部具有承载面和沿厚度方向贯穿所述主体部的中心通孔， 所述承载面包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域， 所述第一区域围绕所述中心通孔；位于所述第一区域的凸台结...
    2026-02-07
  • 一种卡盘
    一种卡盘_深圳中科飞测科技股份有限公司_202511207356.7
    本发明涉及半导体检测技术领域， 尤其涉及一种卡盘， 包括：主体部， 主体部具有承载面和中心通孔， 承载面包括第一区域和围绕第一区域的第二区域；位于第一区域的凸台结构和位于第二区域的密封结构；其中， 凸台结构包括多个圆周凸台组和多个径向凸台组...
    2026-02-07
  • 一种芯片制造中的光刻机装置及系统
    一种芯片制造中的光刻机装置及系统_深圳市百正科技有限公司_202511246050.2
    本发明涉及光刻机技术领域， 具体为一种芯片制造中的光刻机装置及系统， 其中一种芯片制造中的光刻机装置包括光刻机本体， 所述光刻机本体中固定设置有光刻承载台， 所述光刻承载台上放置有硅片密封承载组件， 通过硅片密封承载组件进行硅片转移时的密封...
    2026-02-07
  • 一种测量LDI光刻机平台运动栅格误差的方法
    一种测量LDI光刻机平台运动栅格误差的方法_源卓微纳科技(苏州)股份有限公司_202410360970.6
    本发明公开了一种测量LDI光刻机平台运动栅格误差的方法， 通过平台重复步进并记录标记点位置向量、平台位置坐标的步骤， 完成标记板上Y方向或X方向标记点位置向量和平台位置坐标数据， 计算平台在每个位置相对上一位置对应的栅格误差变化量和相对于起...
    2026-02-07
  • 静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及图像形成方法
    静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及图像形成方法_富士胶片商业创新有限公司_202510071746.X
    一种静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及图像形成方法， 所述静电图像显影用色调剂具有包含作为粘结树脂的非晶性树脂及结晶性树脂的色调剂粒子以及外添剂， 所述外添剂包含比重1.3以上且2.0以下的无机粒子， 在...
    2026-02-07
  • 静电图像显影用色调剂组、静电图像显影剂组、色调剂盒组、处理盒、图像形成装置及方法
    静电图像显影用色调剂组、静电图像显影剂组、色调剂盒组、处理盒、图像形成装置及方法_富士胶片商业创新有限公司_202510324925.X
    静电图像显影用色调剂组、静电图像显影剂组、色调剂盒组、处理盒、图像形成装置及方法， 具备：黑色色调剂， 具有黑色色调剂粒子；及品红色色调剂， 具有品红色色调剂粒子， 粘结树脂包含非晶性聚酯树脂及结晶性聚酯树脂， 结晶性聚酯树脂相对于粘结树脂...
    2026-02-07
  • 静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及图像形成方法
    静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及图像形成方法_富士胶片商业创新有限公司_202510140943.2
    一种静电图像显影用色调剂、静电图像显影剂、色调剂盒、处理盒、图像形成装置及图像形成方法， 所述静电图像显影用色调剂具有包含作为粘结树脂的非晶性聚酯树脂及结晶性聚酯树脂以及内添交联树脂粒子的色调剂粒子， 所述色调剂粒子含有非晶性聚酯树脂(S)...
    2026-02-07
  • 图像形成装置
    图像形成装置_兄弟工业株式会社_202510357878.9
    一种能够抑制印刷不良的产生的图像形成装置， 其具备主体壳体、感光鼓、曝光单元、具有显影辊的显影器、存储累计印刷张数或显影辊的累计旋转次数的存储器及控制部。在满足累计印刷张数或累计旋转次数为第一阈值以上且第二阈值以下， 并且从印刷动作结束起经...
    2026-02-07
  • 带电装置、图像形成单元及图像形成装置
    带电装置、图像形成单元及图像形成装置_富士胶片商业创新有限公司_202411182102.X
    一种带电装置、图像形成单元及图像形成装置， 所述带电装置具备：放电电极；及控制电极， 配置在所述放电电极与通过所述放电电极而带电的被带电体之间， 所述控制电极具有：多个直线状导体， 配置成以任意角度与所述被带电体的旋转方向交叉；及多个连结部...
    2026-02-07
  • 带电装置、图像形成单元及图像形成装置
    带电装置、图像形成单元及图像形成装置_富士胶片商业创新有限公司_202411206438.5
    一种带电装置、图像形成单元及图像形成装置， 所述带电装置具备：放电电极；控制电极， 配置于所述放电电极与通过所述放电电极而带电的被带电体之间， 并且沿所述被带电体的表面形状弯曲或折曲；清扫构件， 在所述放电电极及所述控制电极中至少对所述控制...
    2026-02-07
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202510370779.4
    本发明涉及一种图像形成装置。一种图像形成装置， 其包括在基板的第一表面上包括有机发光元件的光源；和配置成接收来自有机发光元件的光的感光构件， 其中有机发光元件从第一表面依次包括第一电极、第一有机化合物层、发光层、第二有机化合物层和第二电极，...
    2026-02-07
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202510370781.1
    本发明涉及一种图像形成装置。本公开提供了一种图像形成装置作为图像形成效率高的图像形成装置， 其包括在基板的第一表面上具有光学共振器结构的有机发光元件；和配置成接收来自有机发光元件的光的感光构件， 其中有机发光元件从第一表面依次包括第一电极、...
    2026-02-07
  • 图像形成装置
    图像形成装置_佳能株式会社_202510370783.0
    本发明涉及一种图像形成装置。本公开提供了一种具有高图像形成效率的图像形成装置， 图像形成装置包括在基板的第一表面上包括有机发光元件的曝光部；和配置成接收来自有机发光元件的光的感光构件， 有机发光元件从第一表面依次包括第一电极、包括发光层的有...
    2026-02-07
  • 曝光头和图像形成设备
    曝光头和图像形成设备_佳能株式会社_202510366717.6
    本发明涉及曝光头和图像形成设备。提供一种曝光头， 其包括有机发光元件， 其中有机发光元件包括第一电极、第二电极、配置在第一电极和第二电极之间的有机化合物层、以及覆盖第二电极的保护层。有机化合物层包括发光层， 并且从曝光头发射的曝光光谱中的峰...
    2026-02-07
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