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一种含碳掩膜沉积方法及基片结构
本发明的一种含碳掩膜沉积方法及基片结构属于气相沉积领域,为了解决刻蚀过程中孔或槽形貌的缺陷,本方法先将反应气体激发成等离子体,通过改变反应条件在所述待刻蚀层上方沉积含有多个子层的第一系列层和含有多个子层的第二系列层,所述第一系列层的子层与第...
碳基膜的气相沉积
公开了形成石墨烯硬遮罩膜的方法。一些方法有利地在较低温度下执行。将基板暴露于芳香族前体以形成石墨烯硬遮罩膜。所述基板包含氮化钛(TiN)、氮化钽(TaN)、硅(Si)、钴(Co)、钛(Ti)、二氧化硅(SiO2)、铜(Cu)和低介电常数电介...
具有三维互穿网络的金刚石复合材料及其制备方法
本发明公开了一种具有三维互穿网络的金刚石复合材料,所述金刚石复合材料为三明治结构,上下面为CVD多晶金刚石层,中间层衬底为单晶SiC、单晶硅、单晶氧化铝、氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氧化锆陶瓷的任一种;金刚石复合材料设有贯穿式微孔阵列,孔径为2...
用于薄膜沉积的前体组合物、薄膜的制造方法和使用其制造的薄膜以及包括薄膜的电子装置
本公开提供:包括液态铟前体、液态镓前体和液态锌前体的用于沉积薄膜的前体组合物,通过使用前体组合物的薄膜的制造方法,通过使用前体组合物制造的薄膜以及包括薄膜的电子装置。
一种疏水涂层及其制备方法、电子部件、电子设备
本申请涉及疏水涂层技术领域,尤其涉及一种疏水涂层及其制备方法、电子部件、电子设备。该疏水涂层,包括沿疏水涂层的厚度方向层叠设置的氧化钛子层以及有机子层。其中,氧化钛子层至少包含O元素和Ti元素,且氧化钛子层中的Ti元素的摩尔分数为75 %~...
设有分体基座的半导体生长设备
本申请提供一种设有分体基座的半导体生长设备,包括工艺腔室、支撑装置、分体基座、加热装置和腐蚀消耗装置。支撑装置设置于工艺腔室的内侧底部,包括支撑基座。分体基座设于工艺腔室内,包括承载基座,支撑基座围设于承载基座底部,与承载基座可拆卸连接以形...
通过循环沉积过程在衬底上沉积金属氮化物层的方法
公开了采用包括环状化合物的低温循环沉积过程沉积金属氮化物层的方法。循环沉积过程包括重复执行沉积循环,沉积循环包括将金属前体引入反应室中、将氮反应物引入反应室中和将包含环状化合物的还原剂引入反应室中。还公开了金属氮化物层和包括金属氮化物层的半...
一种晶圆处理装置
本申请公开了一种晶圆处理装置,属于半导体加工技术领域,本申请实施例中的晶圆处理装置,包括基座与承载组件,基座具有容置槽,容置槽具有底壁和侧壁,基座具有第一方向,侧壁自底壁所在平面沿第一方向延伸;承载组件设置于容置槽内,承载组件的外周壁与侧壁...
一种表面温度均匀性高的硅片承载装置
本发明公开了一种表面温度均匀性高的硅片承载装置,包括存放槽(1),所述存放槽(1)用于承载硅片并完成等离子体增强化学气相沉积镀膜过程,所述存放槽(1)的内部设置有支点,所述存放槽(1)边缘设置有台阶与挡边,挡边与台阶组合类型包含间断台阶间断...
一种高平面度电池片承载装置
本发明公开了一种高平面度电池片承载装置,承载载板机构包括电池片承载载板托盘和框架,框架支撑电池片承载载板托盘,框架包括横向排列的多个支撑横梁以及纵向穿插分布的加强筋,支撑横梁中的至少一部分预设为具有预拱结构,且各预拱结构的预拱高度不同,在未...
一种MPCVD设备智能温控方法及系统
本发明属于智能控制技术领域,具体涉及一种MPCVD设备智能温控方法及系统,包括以下步骤:S1,实时采集MPCVD设备的多维热场数据,并对多维热场数据进行预处理,获得平滑的时间序列数据;S2,根据时间序列数据中的微波功率数据和温度数据,构建热...
一种原电池驱动常温化学镀铜显现油潜手印的方法
本发明提供了一种原电池驱动常温化学镀铜显现油潜手印的方法,所述方法包括以下步骤:使用活泼金属与带有油潜手印的客体金属接触,然后与含有Ni2+和Cu2+的化学镀液反应,反应完成后取出客体金属清洗、干燥即显现出油潜手印;活泼金属的电位低于客体金...
一种PDMS微针原位合成纳米材料的方法
本发明涉及微针技术及纳米材料制备领域,具体公开了一种在PDMS微针上原位合成纳米材料的方法。该方法包括:在PDMS微针表面滴加抗坏血酸溶液,随后加入硝酸银溶液,使两者混合反应形成银纳米材料,并对微针进行洗涤,得到表面修饰有纳米颗粒的PDMS...
一种提高X40CrMoVN16-2高氮马氏体不锈钢耐腐蚀性的钝化液
本发明公开一种提高X40CrMoVN16‑2高氮马氏体不锈钢耐腐蚀性的钝化液,属于不锈钢表面处理技术领域。本发明所述钝化液质量百分比为6‑10%柠檬酸、3‑5%双氧水、0.8‑1.2%钼酸钠、0.1‑0.16%十二烷基硫酸钠、0.06%‑0...
无铬预处理液、无铬彩涂板及其制备方法
本发明公开了一种无铬预处理液、无铬彩涂板及其制备方法,属于金属材料表面处理及防护涂层技术领域。所述预处理液包含水溶性含羧基有机物、磷酸盐、强氧化剂及无机酸,通过分步混合制备,利用组分间的协同络合作用在热镀锌板表面形成致密预处理层。将该预处理...
冷轧钢板表面处理剂、施用方法以及良耐蚀高清洁碳钢钢板
本发明公开了一种冷轧钢板表面处理剂,其包括:含有氨基的有机酸、含有羟基的有机胺以及水;其中有机酸的质量百分含量为0.5~2%,有机胺的质量百分含量为0.5~4%,所述有机酸和有机胺的百分含量总和为2~5%。本发明还公开了上述处理剂的施用方法...
一种屏蔽冷却水系统保养方法
本发明提供了一种屏蔽冷却水系统保养方法,涉及核电厂设备维护领域。该屏蔽冷却水系统保养方法,应用于高温气冷堆,屏蔽冷却水系统包括投药罐和循环泵,保养方法包括以下步骤:S1, 配药:向投药罐中加入除盐水和氨水原液,混合配制得到pH值为10.0~...
一种金属基体黑磷衍生二维片层/锌系磷化复合涂层及其制备方法
本发明公开了一种黑磷衍生二维片层/锌系磷化复合涂层及其制备方法,属于金属表面工程与界面化学领域;所述方法在金属基体表面形成多孔锌系磷化层,然后以RS‑H‑BP分散液通过常规液相沉积法进一步形成黑磷衍生二维片层/锌系磷化复合涂层;为了提升复合...
一种基于冷喷涂与选择性腐蚀的多孔金属基复合材料及其制备方法
本发明提供一种基于冷喷涂与选择性腐蚀的多孔金属基复合材料及其制备方法。包括:通过低压冷喷涂在基体表面沉积由造孔组元和骨架组元组成的复合涂层;将带有涂层的基体置于含有缓蚀剂的碱性溶液中进行一次性化学腐蚀,选择性溶解造孔组元以形成多孔结构,再经...
连续油管的修复方法
本发明公开了连续油管的修复方法,步骤是:步骤1、打磨并清洗连续油管表面需修复的破损区域,并记录破损位置的信息;步骤2、配制熔覆粉末;步骤3、实施激光熔覆;步骤4、实施热处理,采用激光感应正火工艺,完成熔覆层的热处理操作。本发明属于石油天然气...
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