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一种平面柔性磨抛工具及其对工件的去除控制方法
本发明公开了一种平面柔性磨抛工具及其对工件的去除控制方法,该柔性磨抛工具,磨抛层结构分为两层,刚性层用以与工件接触的接触层,柔性层以充当中间层。将整个磨抛层粘接至连接板后,在刚性层表面利用激光切除出规则纹理以散发超精密加工过程中散发的热量。...
一种变电站开关刀闸触头带电打磨装置
本发明涉及变电站开关刀闸触头维护技术领域,具体为一种变电站开关刀闸触头带电打磨装置,包括连接座、绝缘杆组和带电打磨机构,连接座底部呈法兰结构设计有四个螺孔,绝缘杆组螺纹内嵌设置在连接座上,带电打磨机构螺纹内嵌连接在绝缘杆组上,带电打磨机构包...
一种磨床砂轮动平衡在线调节装置
本发明公开了一种磨床砂轮动平衡在线调节装置,属于磨床砂轮动平衡调节技术领域,包括砂轮主体,所述砂轮主体的一侧设置有安装组件,所述安装组件远离砂轮主体的一侧设置有平衡组件,所述平衡组件远离安装组件的一侧设置有减振组件,所述安装组件包括第一安装...
一种平面磨床工件装卸辅助平台
本发明属于磨床辅助设备技术领域,且公开了一种平面磨床工件装卸辅助平台,包括上料框,所述上料框的底部设有挡料组件,所述挡料组件的下方设有支撑架,所述支撑架顶部的两侧分别设有引导机构和移动机构。本发明通过利用移动机构、引导机构以及载料框,在进行...
一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺
本发明涉及抛光技术领域,且公开了一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺,解决了现有技术存在表层和泡孔均匀性不足的问题。通过制备改性热塑性聚氨酯弹性体,其含聚醚型热塑性聚氨酯、乙烯‑醋酸乙烯共聚物、硅烷化纳米SiO2等,经原料预处理、硅...
一种去除量可调节的非牛顿流体抛光工具
本发明涉及先进光学制造技术领域,具体涉及一种去除量可调节的非牛顿流体抛光工具,包括:调节螺杆、中心开孔的刚性基板、非牛顿流体、橡胶膜片、中心开孔的刚性密封圈以及抛光垫;调节螺杆一端位于刚性基板的中心开孔内;调节螺杆和刚性基板连接;橡胶膜片的...
一种超精密YIG单晶的研磨抛光加工方法
本发明公开了一种超精密YIG单晶的研磨抛光加工方法,适用于液相外延法、熔盐法、浮动区熔法制备的平面钇铁石榴石单晶晶体(圆),该方法包括:对YIG单晶晶体进行研磨加工,控制晶体的厚度和总厚度偏差(TTV);再对YIG单晶晶体进行粗抛光,消除晶...
用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备
本申请提供了一种用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备,其中,标定方法包括:获取电涡流传感器检测样本晶圆得到的基值量测信号和晶圆量测信号,计算晶圆量测信号和基值量测信号的差,得到用于表征样本晶圆上金属层产生的电涡流的涡流信号;将涡...
用于航空航天零部件的研磨装置
本申请涉及高精度工件研磨领域,提供一种用于航空航天零部件的研磨装置,包括行星轮、下研磨组件和上研磨组件;下研磨组件包括研磨座、下磨盘、太阳齿轮、内齿圈、第一转轴和第一驱动单元;第一转轴顶部设有卡槽;太阳齿轮设于第一转轴上;行星轮放置于下磨盘...
化学机械研磨装置
本发明涉及自动化研磨设备技术领域,尤其涉及化学机械研磨装置。该化学机械研磨装置包括装夹座、研磨组件、研磨液喷射组件以及驱动模组,装夹座具有沿竖直方向延伸的装夹端面,装夹端面能够与产品的待固定端面可拆卸固定,研磨组件的研磨端与产品的待研磨端面...
一种双面研磨玻璃基板的研磨装置及其工作方法
本发明公开了一种双面研磨玻璃基板的研磨装置及其工作方法,涉及玻璃基板技术领域,包括六组面研磨设备机组,每组面研磨设备机组按照工序依次包括粗磨设备、细磨设备和抛光设备;六组面研磨设备机组依次编号为1‑6号面研磨设备机组,且每组面研磨设备机组相...
一种控制钌阻挡层铜布线CMP碟形坑和蚀坑的方法
本发明公开了一种用于控制钌阻挡层铜布线CMP碟形坑、蚀坑及界面腐蚀的方法,适用于14纳米及以下集成电路制造工艺。该方法通过将特定合成的TTAK缓蚀剂引入抛光液体系,利用其分子结构的定向吸附特性,选择性抑制铜的腐蚀反应,同时维持钌阻挡层与TE...
一种超声能场辅助研磨与抛光加工微球的装置及方法
本发明公开了一种超声能场辅助研磨与抛光加工微球的装置及方法,所述装置包括上磨盘组件和下磨盘组件,待加工球体设置在所述上磨盘组件的上磨盘与所述下磨盘组件的下磨盘之间;所述上磨盘组件包括依次相连的传动组件、轴承组件、连接组件二、弹簧组件、上磨盘...
一种精密石墨模具加工用CMP抛光机
本发明涉及石墨模具抛光技术领域,公开了一种精密石墨模具加工用CMP抛光机,包括底座,底座上端转动连接有放置盘,放置盘上开设有圆槽,放置盘上方滑动连接有抛光板,放置盘下端内壁上连接有内齿,内齿之间设置有旋转轨,旋转轨下端连接有旋转杆,旋转杆转...
针刺机针板的自动研磨去毛刺装置
一种针刺机针板的自动研磨去毛刺装置,属于无纺织机械制造技术领域。包括机架,在机架内构成有机架上腔室隔板以及机架下腔室隔板,并构成为机架上腔室、机架下腔室和针板研磨工作腔;上研磨模具设置在针板研磨工作腔内,上研磨模具升降机构设置在机架上腔室内...
一种适用微小尺寸硬密封单向活门阀体的研磨工装及方法
一种适用微小尺寸硬密封单向活门阀体的研磨工装及方法,适用微小尺寸硬密封单向活门阀体阀芯配对研磨方法,摒弃传统人工操作对研精度低、效率低的加工方式,创新的通过一种适用于硬密封单向活门阀体阀芯配对研磨工装结构,有效解决了现有技术中生产效率低下、...
一种高纯镍蒸发颗粒的制备方法
本发明公开了一种高纯镍蒸发颗粒的制备方法,将圆形镍铸锭料进行热镦获得方形坯,第一次打磨后进行热轧获得热轧坯,第二次打磨后进行冷轧获得冷轧坯,再将冷轧坯进行热处理、压平,随后进行切割获得条状料,再将条状料依次进行模压、第三次打磨、旋锻获得棒材...
一种张紧控制阀加工用内壁面磨粒流抛光装置
本发明属于控制阀加工技术领域,且公开了一种张紧控制阀加工用内壁面磨粒流抛光装置,包括支撑组件,所述支撑组件上连接设有夹持组件,且所述夹持组件的一侧设有驱动组件,所述夹持组件远离所述驱动组件的一侧设有冷却组件,所述冷却组件远离所述夹持组件的一...
零件内表面抛光机
本发明提供了一种零件内表面抛光机,包括壳体、夹持固定组件、超声螺旋振动杆以及三相交变线圈;壳体具有用于储存铁磁性磨料的磨料储存转运器;夹持固定组件用于夹持具有通孔的工件;超声螺旋振动杆包括驱动部、杆体和螺旋凸台,驱动部用于驱动杆体转动和沿轴...
一种铝管高度调节式抛光装置
本发明涉及抛光装置技术领域,具体为一种铝管高度调节式抛光装置,包括安装板,所述安装板的前表面安装有控制面板,所述安装板的顶面安装有支撑架,所述安装板的上表面设置有放置台,所述放置台的左右表面皆安装有夹持机构,所述安装板的背面安装有修整组件,...
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