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  • 基板处理系统包括两个或更多个工艺工具,这些工艺工具包括多个处理腔室,以执行对应的基板处理程序,并且还包括基板运输装置,用于在两个或更多个工艺工具之间运输基板。该系统进一步包括控制系统,以使一个或多个第一层在一个或多个第一处理腔室中沉积在基板...
  • 第1构造体(171)具有光电转换部(110)、第1布线层对(151b、152a)的一方、以及第1基板(141)。第2构造体(172)具有第1布线层对(151b、152a)的另一方、以及第2基板(142)。第1过孔(161)贯通第1基板(14...
  • 根据本发明的一个实施例的图像传感器封装包括:板;电路板,设置在板上并包括孔;图像传感器,设置在板上并布置在孔中;连接构件,设置在电路板和图像传感器上;以及滤光器,设置在连接构件上,其中在图像传感器的上表面中形成有第一凹槽,在电路板的上表面中...
  • 本公开提供了一种能够提高凸点电极与焊盘电极之间的接合性的光检测装置。该光检测装置包括:第一基板部,其具有像素区域和位于所述像素区域周围的周边区域;以及半导体芯片,其具有凸点电极。所述第一基板部具有第一半导体层、设置于所述像素区域中的所述第一...
  • 本发明公开了一种制造至少第一电子器件(1,1a)的方法,该第一电子器件(1,1a)包括第一多个部件(11,12,13,131,132,14,15,16)。该方法包括:提供衬底(2),以至少在第一电子器件的制造期间支撑该第一电子器件;以及通过...
  • 本申请提供一种半导体器件、其制作方法、功率转换电路及车辆。半导体器件包括:N型的半导体衬底、外延层、以及相互连接的第一栅极和第二栅极。其中,第一栅极沿第一方向延伸,第二栅极沿第二方向延伸。第一栅极和第二栅极分别位于外延层内的不同沟槽中;第一...
  • 本公开的实施例包括一种在半导体基板上形成环绕式栅极(GAA)接触结构的方法。方法将包括:从在包括多个特征的基板的表面中形成的特征的表面移除材料,多个特征各自包括多个源极/漏极接触表面;在多个源极/漏极接触表面中的每一者的表面上方选择性地形成...
  • 作为半导体装置的制造方法的一例,例如,准备四个半导体晶片(40、50、60、70)。在该制造方法中,通过混合键合将半导体晶片(40)和半导体晶片(50)接合,从而制作层叠晶片(100)。同样地,通过混合键合将半导体晶片(60)和半导体晶片(...
  • 本公开的方法使得能够形成高导电性触点,所述高导电性触点促进提高器件速度和降低半导体器件的操作电压,所述半导体器件诸如但不限于半导体上金属(MOS)晶体管和类似物。在一个实施方式中,所述方法通过形成金属‑绝缘体‑半导体(MIS)接触结构或非化...
  • 一种半导体装置可以包括衬底和衬底上的间隔开的栅极堆叠,所述栅极堆叠在其间限定相应的沟槽。每个栅极堆叠可以包括第一半导体材料和第二半导体材料的交替层,其中第二半导体材料的层限定纳米结构。该半导体装置还可以包括沟槽内的相应的源极/漏极区、与第一...
  • 半导体装置(1)具有:电子行进层(103);电子供给层(104),设置在电子行进层(103)上,带隙比电子行进层(103)大;栅极电极(303),设置在电子供给层(104)上;接触层(212),在隔着栅极电极(303)的位置被埋入到将电子供...
  • 公开了一种可用于制作半导体器件的新颖的氮化铪粘附层。特别地,如薄膜晶体管(其包括由具有高电子浓度的金属(比如钼、钨、镍、钌、钴及其合金)形成的一个或多个元件)等半导体器件可以采用本发明来更好地将金属元件粘附到其上形成有半导体器件的电介质材料...
  • 提供一种能够微型化或高集成化的半导体装置。该半导体装置包括晶体管及绝缘体,绝缘体设置于晶体管的源极和漏极中的一个上,晶体管的源极和漏极中的另一个设置于绝缘体上,在绝缘体及源极和漏极中的另一个中设置到达源极和漏极中的一个的开口部,晶体管所包括...
  • 在元件隔离区域(In)中,形成配置于主单元区域(Rm)与感测单元区域(Rs)之间并且比衬底层(18)深的多条隔离沟槽(40),由此将衬底层(18)分离为主单元区域侧和感测单元区域侧。而且,在多条隔离沟槽各自的底部,具备相互分离地配置并且与该...
  • 碳化硅衬底具有:碳化硅单晶衬底,具有第一导电型;碳化硅外延层,设置在所述碳化硅单晶衬底上,具有所述第一导电型;以及漂移层,设置在所述碳化硅外延层上,具有所述第一导电型,所述碳化硅外延层具有第一区域和第二区域,所述第一区域位于所述第二区域上,...
  • 实施方式的半导体装置具备:第一电极;第二电极;以及碳化硅层,所述碳化硅层包括:第一导电型的第一碳化硅区域;第二导电型的第二碳化硅区域,设置于第一碳化硅区域与第一面之间,与栅极电极对置,与第一电极电连接;第三碳化硅区域以及第四碳化硅区域;第一...
  • 具备:碳化硅层,包括第一导电型的第一碳化硅区域、第二导电型的第二碳化硅区域以及第一导电型的第三碳化硅区域,并具有第一面以及第二面;第一栅极电极以及第二栅极电极,沿第一方向延伸;第一面侧的第一电极,包括在第一栅极电极与第二栅极电极之间与第二碳...
  • 本发明的半导体装置包括:芯片,其具有主面;第一导电型的漂移区域,其形成于所述主面的表层部;以及第二导电型的主体区域,其以水平方向的宽度朝向厚度方向减少的方式在所述漂移区域的表层部形成为前端变细形状,且具有相对于所述主面沿倾斜方向倾斜的周缘部...
  • 本公开涉及用于管理半导体装置中的保护结构的方法、装置、系统和技术。一种示例性半导体装置包括至少一个阵列区、至少一个连接区以及围绕所述至少一个阵列区和所述至少一个连接区的保护结构。所述保护结构具有包括连接在一起的一系列弯曲部分的表面。
  • 本文提供了三维(3D)存储器结构及其形成方法。在一些实施方式中,3D存储器制造结构包括:基底硅(Si)层;硅锗(SiGe)层,其设置在基底Si层上方;以及经掺杂的硅(Si)层,其设置在SiGe层的至少一侧上,其中经掺杂的Si层含有掺杂剂,所...
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