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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法
    一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法_西北工业大学上海闵行协同创新中心_202211398612.1
    本发明公开了一种仿生三维软弹皮层微电极及其制备方法，环绕电极触点一圈带有爪形结构，弯折后可充分包裹并粘合软弹硅胶凸台，以此保证柔性聚合物薄膜微电极兼具较高的机械强度和保形接触能力；在制备时，首先基于MEMS技术在沉积有金属牺牲层的硅片上制作...
    2025-08-02
  • 一种具有Z轴止挡的圆片级真空封装方法和MEMS封装结构
    一种具有Z轴止挡的圆片级真空封装方法和MEMS封装结构_中国石油化工股份有限公司_202110175301.8
    本发明公开了一种具有Z轴止挡的圆片级真空封装方法、及利用该方法制成的MEMS封装结构，包括：制备盖板圆片；在盖板圆片刻蚀键合用空腔及止挡结构，其中，止挡结构构造为空腔凹槽内侧的凸起部，且止挡结构的设置位置与在完成键合后MEMS器件可动结构在...
    2025-08-02
  • MEMS压电传感器系统三维封装结构及其散热方法
    MEMS压电传感器系统三维封装结构及其散热方法_杭州电子科技大学_202310287939.X
    本发明公开了MEMS压电传感器系统三维封装结构及其散热方法，主要由盖帽、表面微结构、铜环、圆柱阵列以及置于盖帽内的水平延展平台、水平网状结构、陶瓷基板、MEMS芯片、压电薄膜、微型温度传感器、焊球和ASIC芯片组成。本发明将ASIC芯片区域...
    2025-08-02
  • MEMS器件防电磁串扰封装工艺
    MEMS器件防电磁串扰封装工艺_美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司_202211419606.X
    本发明公开了一种MEMS器件防电磁串扰封装工艺，使产品集成度更高、封装尺寸更小、翘曲控制更好。通过本发明工艺得到的产品，防电磁干扰层集成于黑色挡光材料中，产品封装层占用空间较小，从而产品设计尺寸较小、较薄；本发明工艺采用晶圆级封装方式，整个...
    2025-08-02
  • 一种MEMS湿法刻蚀加工方法及MEMS传感器
    一种MEMS湿法刻蚀加工方法及MEMS传感器_深圳市美思先端电子有限公司_202510849072.1
    本发明公开了一种MEMS湿法刻蚀加工方法及MEMS传感器，该加工方法包括在晶圆表面的介电层上方沉积保护材料层；在起始刻蚀位置对保护材料层及介电层进行刻蚀，使介电层下方的硅衬底暴露；对暴露的硅衬底进行KOH或TMAH湿法刻蚀，以在介电层下方刻...
    2025-08-02
  • MEMS结构的形成方法和MEMS结构
    MEMS结构的形成方法和MEMS结构_广州增芯科技有限公司_202510425737.6
    一种MEMS结构的形成方法和MEMS结构，方法包括：在衬底的正面形成图形化的隔离层，隔离层暴露出衬底的部分正面；在隔离层的表面和衬底暴露的部分正面形成振动膜，振动膜包括相连的支撑部与振动部，支撑部位于衬底暴露的部分正面以及隔离层的侧面，振动...
    2025-08-02
  • 一种单元模块化文物隔震机构
    一种单元模块化文物隔震机构_开封市翰园铁路橡塑实业有限公司_202422507413.0
    本实用新型涉及模块化文物技术领域，且公开了一种单元模块化文物隔震机构，该单元模块化文物隔震机构包括文物隔震箱、固定框架，所述文物隔震箱的下端固定设置有支撑底座，所述文物隔震箱的上端固定设置有固定框架，所述固定框架的上端固定设置有收纳槽，所述...
    2025-08-02
  • 自动加热的爆米花保温柜
    自动加热的爆米花保温柜_上海埃海迪机械有限公司_202421730587.7
    本实用新型公开自动加热的爆米花保温柜，涉及爆米花保温柜领域。该自动加热的爆米花保温柜，包括存放箱和转动门，所述存放箱中设置有连通单元和调节组件，连通组件用于将连接座产生的热风传输到存放箱中，调节组件用于调节出风座在存放箱中的位置。该自动加热...
    2025-08-02
  • 一种用于充电小门电机解锁的省力传动机构
    一种用于充电小门电机解锁的省力传动机构_延锋彼欧汽车外饰系统有限公司_202410105579.1
    本发明涉及一种用于充电小门电机解锁的省力传动机构，包括齿轮传动组(1)和拉索传动组(2)；所述齿轮传动组(1)为四级齿轮组，第一齿轮(11)与拉索传动组(2)同轴设置并与第二齿轮(12)啮合，第二齿轮(12)和第三齿轮(13)同轴设置，第四...
    2025-08-02
  • 一种皮肤器官芯片模型的运输装置及方法
    一种皮肤器官芯片模型的运输装置及方法_一苇堂检测科技(上海)有限公司_202510820645.8
    本发明公开了一种皮肤器官芯片模型的运输装置及方法，通过多模态温控、复合减震、动态密封及智能监测技术，实现芯片在运输过程中的活性与功能完整性保护。该装置包括温控模块、抗振动结构、密封系统和监测模块，能够精准控制温度、湿度，有效抑制振动，防止微...
    2025-08-02
  • 一种果蔬冷链运输箱中防碰撞与保鲜协同装置
    一种果蔬冷链运输箱中防碰撞与保鲜协同装置_邛崃市万和兴科技有限公司_202510842065.9
    本发明提供一种果蔬冷链运输箱中防碰撞与保鲜协同装置，涉及果蔬运输箱领域，包括运输箱主体、运输箱挡盖、滑动支撑筐、位置调整气囊、蜂窝缓冲骨架和TPE弹性网袋；所述运输箱挡盖铰接在所述运输箱主体的上部；所述滑动支撑筐上下滑动连接在所述运输箱主体...
    2025-08-02
  • 一种曲柄滑块式房车锁内部传动机构
    一种曲柄滑块式房车锁内部传动机构_东莞市宇捷电子科技有限公司_202422021301.4
    本实用新型公开了一种曲柄滑块式房车锁内部传动机构，涉及房车车锁技术领域，该房车锁内部传动机构，包括壳体；还包括：锁舌，其设置在壳体的内部，所述壳体的内部设置有驱动电机，所述驱动电机的上端连接有第一齿轮，且电机驱动第一齿轮进行转动，所述第一齿...
    2025-08-02
  • 一种农用微生物浓缩剂存储设备
    一种农用微生物浓缩剂存储设备_新疆航天兆丰科技有限公司_202422315296.8
    本实用新型公开了一种农用微生物浓缩剂存储设备，包括温控储存箱，温控储存箱的内部安装有管架，管架的底部等间距分布有若干个加湿管，且每个加湿管的底部开设有若干个漏水孔，加湿管的内安装有调节机构，调节机构包括调节杆、偏心轮和摆杆，偏心轮两端的调节...
    2025-08-02
  • 一种用于储存水性漆的罐子
    一种用于储存水性漆的罐子_威海德谦新材料科技有限公司_202422520935.4
    本实用新型涉及水性漆储存技术领域，尤其是指一种用于储存水性漆的罐子，包括主体，主体包括外壳，外壳的上表面安装有固定机构，固定机构包括盖板，盖板的下表面与外壳的上表面相贴合，盖板的下表面开设有第四凹槽，第四凹槽的内壁安装有吸湿机构，吸湿机构包...
    2025-08-02
  • 流量感测装置及其制造方法和流体特性测量系统
    流量感测装置及其制造方法和流体特性测量系统_意法半导体股份有限公司_202110295228.8
    公开了流量感测装置及其制造方法和流体特性测量系统。基于科里奥利力的流量感测装置的实施例和用于制造该基于科里奥利力的流量感测装置的实施例的方法的实施例，包括以下步骤：形成驱动电极；在驱动电极上形成第一牺牲区域；在第一牺牲区域上形成第一结构部分...
    2025-08-02
  • 一种电子防潮防霉茶叶罐
    一种电子防潮防霉茶叶罐_福建省德化县艺虹工贸有限公司_202422126044.0
    本申请涉及一种电子防潮防霉茶叶罐，属于茶叶罐技术领域，包括罐体和罐盖，所述罐盖螺纹连接于所述罐体，所述罐体的内底部固定安装有茶栅，所述罐体的底部设置有除湿结构，所述除湿结构包括固定安装在所述罐体内底壁上的半导体制冷芯片。该电子防潮防霉茶叶罐...
    2025-08-02
  • 压力传感器及其制备方法
    压力传感器及其制备方法_中国科学院空天信息创新研究院_202510578510.5
    本申请公开了一种压力传感器及其制备方法，涉及微机电系统传感器技术领域，包括：相对设置的压力敏感膜和器件层，器件层包括多个压敏电阻，压敏电阻通过所连接的电极构造为压力检测电路；器件层背离压力敏感膜的一侧设置有功能性薄膜；其中，在第一方向上，各...
    2025-08-02
  • 红外探测模组的制备方法、红外探测器
    红外探测模组的制备方法、红外探测器_杭州微影传感电子有限公司_202510847929.6
    本公开的一些实施例公开了一种红外探测模组的制备方法、红外探测器，涉及红外探测器技术领域，用于解决临时键合层易受高温工艺影响而不稳定的问题。该红外探测模组的制备方法包括：形成基底；在基底的第一侧连接第一临时键合层与第一临时基底，第一临时键合层...
    2025-08-02
  • 一种防护性高的取样管用存储装置
    一种防护性高的取样管用存储装置_创志生物技术(江苏)有限公司_202422178715.8
    本实用新型公开了一种防护性高的取样管用存储装置，包括外壳，所述外壳内部的两侧均设置有固定板，所述固定板之间设置有气囊，且气囊的外侧与固定板相固定；还包括：存储箱，其设置在所述气囊的内部，且存储箱与气囊的内壁滑动配合，所述存储箱的上端设置有上...
    2025-08-02
  • 一种保温管管端保护装置
    一种保温管管端保护装置_唐山兴邦管道工程设备有限公司_202421667331.6
    本实用新型公开了一种保温管管端保护装置，涉及保温管管端技术领域。本实用新型包括外管和内管，内管两端周侧面开设有外螺纹，内管一端螺纹连接有保护套，保护套内开设有螺纹槽，螺纹槽内壁周侧面螺纹为内螺纹，外螺纹与内螺纹螺纹配合，螺纹槽表面开设有卡槽...
    2025-08-02
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