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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种桥式悬浮膜红外光源芯片及其制备方法、红外光源及其组装方法
    一种桥式悬浮膜红外光源芯片及其制备方法、红外光源及其组装方法_苏州大学_202510863079.9
    本发明公开了一种桥式悬浮膜红外光源芯片及其制备方法、红外光源及其组装方法，涉及红外光源设计技术领域，旨在解决现有技术中红外光源的光源材料电学性质易发生变化的问题，其包括衬底，衬底上方从下到上依次设有浓硼扩散单晶硅层和第一氧化层，第一氧化层上...
    2025-09-25
  • 半导体器件及其制造方法
    半导体器件及其制造方法_上海新微技术研发中心有限公司_202410311869.1
    本申请提供一种半导体器件及其制造方法，该方法包括：将第一基板的表面与第二基板键合，第一基板的表面形成有第一凹槽；刻蚀第二基板，在第二基板中形成贯穿第二基板的表面和背面的第一贯穿结构；使第三基板和第二基板键合，第三基板的表面形成有第二凹槽；刻...
    2025-09-25
  • 半导体器件及其制造方法
    半导体器件及其制造方法_上海新微技术研发中心有限公司_202410303319.5
    本申请提供一种半导体器件及其制造方法，该方法包括：将第一基板的表面与第二基板键合，第一基板的表面形成有第一凹槽；刻蚀第二基板，在第二基板中形成贯穿第二基板的表面和背面的第一贯穿结构；在第一温度下，在具有第一气压的环境下，对第三基板与第二基板...
    2025-09-25
  • 一种用于MEMS器件的加工方法及圆片级封装的方法
    一种用于MEMS器件的加工方法及圆片级封装的方法_北京自动化控制设备研究所_202510608255.4
    本发明提供一种用于MEMS器件的加工方法及圆片级封装的方法，方法包括：步骤1、在硅衬底上键合硼硅玻璃片；步骤2、对步骤1得到的玻璃层进行减薄，使玻璃层厚度达到设计要求，厚度范围为3‑20um；步骤3、对玻璃层进行凸台加工，制作锚点；步骤4、...
    2025-09-25
  • 一种饲料抗氧化剂存放装置
    一种饲料抗氧化剂存放装置_杭州加润营科生物科技有限公司_202422708432.X
    本实用新型公开了一种饲料抗氧化剂存放装置，包括：外箱体，所述外箱体的内部中空形成容纳腔；内箱体，所述内箱体装配于所述容纳腔内，且所述内箱体的内部中空形成用于容纳抗氧化剂的容纳空间，所述外箱体与内箱体之间填充有隔热材料，所述内箱体上开设有与所...
    2025-09-25
  • 一种MEMS湿法刻蚀加工方法及MEMS传感器
    一种MEMS湿法刻蚀加工方法及MEMS传感器_深圳市美思先端电子有限公司_202510849072.1
    本发明公开了一种MEMS湿法刻蚀加工方法及MEMS传感器，该加工方法包括在晶圆表面的介电层上方沉积保护材料层；在起始刻蚀位置对保护材料层及介电层进行刻蚀，使介电层下方的硅衬底暴露；对暴露的硅衬底进行KOH或TMAH湿法刻蚀，以在介电层下方刻...
    2025-09-25
  • 用于惯性MEMS器件的加工方法及圆片级封装的方法
    用于惯性MEMS器件的加工方法及圆片级封装的方法_北京自动化控制设备研究所_202510608326.0
    本发明提供一种用于惯性MEMS器件的加工方法及圆片级封装的方法，该方法中，敏感结构及引线的加工采用表面加工工艺实现，平面尺寸小且加工精度高；同时敏感结构的厚度不受表面加工工艺限制，因而可以获得更大的电容和结构质量，有利于提高器件性能。
    2025-09-25
  • 一种速冻食品输送用冷藏箱
    一种速冻食品输送用冷藏箱_茂名鸿业水产有限公司_202422570545.8
    本实用新型公开了一种速冻食品输送用冷藏箱，包括冷藏箱体，所述冷藏箱体的上端设置有冷藏箱盖，冷藏箱盖与冷藏箱体通过卡扣连接，所述冷藏箱盖的上端固定设置有把手，所述冷藏箱盖的内部设置有防护箱体，所述防护箱体的上端设置有防护箱盖，防护箱盖与防护箱...
    2025-09-25
  • 一种具有双拉和电解两次的集成式电动前盖锁
    一种具有双拉和电解两次的集成式电动前盖锁_上海驰助汽车零部件有限公司_202411032802.0
    本发明提供了一种具有双拉和电解两次的集成式电动前盖锁，包括棘爪组件、锁舌组件、电解组件和手动解锁组件，所述棘爪组件、锁舌组件能够相对转动且根据位置状态形成全开状态、半锁状态或者全锁状态，电解组件和手动解锁组件分别用于前盖锁的电动解锁和手动解...
    2025-09-25
  • 带动力输出的锁装置
    带动力输出的锁装置_上海恩井汽车科技有限公司_202410582735.3
    本公开提供一种带动力输出的锁装置，其包括：锁舌部件；棘爪部件；驱动装置；驱动齿轮部件；棘爪驱动杆；以及动力输出杆，所述动力输出杆具有第五转动轴线，并且所述动力输出杆能够被所述驱动齿轮部件驱动，以便通过动力输出杆向外输出动力；其中，当所述驱动...
    2025-09-25
  • 用于机动车的锁装置及机动车
    用于机动车的锁装置及机动车_上海恩井汽车科技有限公司_202411964481.8
    本公开提供一种用于机动车的锁装置及机动车。本公开的用于机动车的锁装置，包括：底板；锁舌，锁舌经由锁舌轴可转动地设置在底板上；棘爪，棘爪经由棘爪轴可转动地设置在底板上，棘爪与锁舌配合实现锁装置的上锁或解锁；上锁杆，上锁杆与锁舌同轴配置，当上锁...
    2025-09-25
  • 锁系统
    锁系统_上海恩井汽车科技有限公司_202410379137.6
    本公开提供一种锁系统，其包括：锁舌部件；棘爪部件；锁定装置；操作部件；解锁齿轮；外开过渡杆部；紧急解锁部，所述紧急解锁部被设置为能够相对于锁体转动；其中，当所述紧急解锁部转动时，其能够驱动外开过渡杆部处于工作位置或者非工作位置，当外开过渡杆...
    2025-09-25
  • 机动车锁
    机动车锁_开开特股份公司_202380092444.X
    本发明涉及一种机动车锁，尤其是机动车门锁，其配备有致动杆链，该致动杆链具有至少一个用于打开锁定机构(3)的致动杆(1，2)。还设置有可线性移动的致动滑动件(7)和传感器(8)，该传感器可由致动杆(1，2)通过致动滑动件(7)作用。根据本发明...
    2025-09-25
  • 锁系统
    锁系统_上海恩井汽车科技有限公司_202410552108.5
    本公开提供一种锁系统，其包括：锁舌部件；棘爪部件；锁定装置；操作部件，所述操作部件能够绕所述第三轴线转动，所述操作部件能够对所述锁定装置进行操作，使得所述锁定装置离开所述第一锁定位置或离开所述第二锁定位置，解除所述锁定装置对所述棘爪部件在所...
    2025-09-25
  • 锁系统
    锁系统_上海恩井汽车科技有限公司_202410552207.3
    本公开提供一种锁系统，其包括：锁舌部件；棘爪部件；锁定装置；操作部件，所述操作部件能够绕所述第三轴线转动，所述操作部件能够对所述锁定装置进行操作，使得所述锁定装置离开所述第一锁定位置或离开所述第二锁定位置，解除所述锁定装置对所述棘爪部件在所...
    2025-09-25
  • 一种垂直梳齿的MEMS微镜结构及其制造方法
    一种垂直梳齿的MEMS微镜结构及其制造方法_浙江芯晟半导体科技有限责任公司_202510708161.4
    本申请涉及MEMS微镜技术领域。具体涉及一种垂直梳齿的MEMS微镜结构及其制造方法。微镜结构包括：支撑层和微镜层，支撑层包括固定梳齿电极，微镜层包括微镜平台和可动梳齿电极；固定梳齿电极与可动梳齿电极错位排布；键合层，位于支撑层和微镜层之间，...
    2025-09-25
  • 一种MEMS微镜器件、微镜矩阵及制备方法
    一种MEMS微镜器件、微镜矩阵及制备方法_北京赛微电子股份有限公司_202510804545.6
    本申请公开一种MEMS微镜器件、微镜矩阵及制备方法，涉及微电子机械系统(MEMS)技术领域，能够提高微镜产品的良率。本申请尤其涉及一种MEMS微镜器件、微镜矩阵及制备方法。MEMS微镜器件包括：至少两个层叠设置的微镜单元，微镜单元包括：第一...
    2025-09-25
  • 一种带有多功能电极的微机械陀螺
    一种带有多功能电极的微机械陀螺_苏州感测通信息科技有限公司_202422482937.9
    本实用新型揭示了一种带有多功能电极的微机械陀螺，由衬底上的电极部和硅结构层组成。该硅结构层一体成型有多晶硅片、横向展臂和接点盘，其中接点盘分设于多晶硅片四角并通过横向展臂与多晶硅片相连，该多晶硅片悬空设于电极部上且部分重合相对，该电极部由独...
    2025-09-25
  • 一种具有干燥功能的茶叶存储装置
    一种具有干燥功能的茶叶存储装置_光山县鑫灿实业有限公司_202422751851.1
    本实用新型提供一种具有干燥功能的茶叶存储装置，包括存储箱，存储箱的前端铰接有箱门，存储箱的内部对称设置有若干滑杆，每两个相对应的滑杆之间均通过滑块滑动连接有放置盒，存储箱的内部设置有用于驱动放置盒晃动的晃动组件，存储箱的左右侧壁和下侧壁均为...
    2025-09-25
  • 一种带挂钩和吸盘装置的保温箱
    一种带挂钩和吸盘装置的保温箱_浙江淡橙科技有限责任公司_202421993136.2
    本实用新型涉及一种保温箱，特别涉及一种带挂钩和吸盘装置的保温箱，包括箱体，箱体的背部设有用于悬挂于载体上的挂钩装置，箱体的背部还设有用于吸附于载体上的吸盘装置，箱体通过挂钩装置和吸盘装置的配合实现在载体上的限位固定，本实用新型在保温箱的背部...
    2025-09-25
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