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微观装置的制造及其处理技术
一种MEMS器件及其制备方法、电子装置
本申请公开了一种MEMS器件及其制备方法、电子装置。所述制备方法包括:提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成振膜;执行第一退火步骤;在所述振膜上形成牺牲材料层,以覆盖所述振膜;在所述牺牲材料层上形成背板;执行第二退火步骤;去除所述振膜与所述...
一种平衡应力的高光功率MEMS红外光源及其制作方法
本发明公开一种平衡应力的高光功率MEMS红外光源及其制作方法,属于红外辐射源领域。该MEMS红外光源包括管壳,在管壳的腔室内部设置有镀镍层,镀镍层通过连接层与红外光源电极连接,在管壳的顶部设置有用于将其敞口封堵的盖板;所述红外光源电极为镂空...
一种基于双硅金键合MEMS变形镜及其制备方法
本发明提供了一种基于双硅金键合MEMS变形镜及其制备方法,所述MEMS变形镜包括硅片衬底、氮化硅绝缘层、下层多晶硅电极、第一磷硅玻璃牺牲层、上层叉指电极、第一键合电极层、SOI片结构、第二键合电极层、金基反射镜面。其制备方法依次经过硅片衬底...
一种节约空间的汽车锁止机构
本实用新型公开了一种节约空间的汽车锁止机构,涉及汽车门锁技术领域,旨在解决现有技术中汽车门锁整体体积大无法广泛安装以及成本较高的问题。包括基座,基座铰接有传动件、锁止块与锁舌,基座的顶部设有门灯模块,基座的底部设有执行器,执行器上设有执行电...
外卖食品专用保温垫及控制调节方法
本发明公开一种外卖食品专用保温垫及控制调节方法,所述外卖食品专用保温垫包括多个保温装置以及用以分别连接各所述保温装置的多个连接结构,各所述连接结构均包括主体部以及设于所述主体部两端的卡合部,其中,各所述保温装置均包括底板和保温部,所述底板侧...
车辆入口端口门致动
对车辆的用于为车辆提供能量的入口端口的门进行关闭和打开以及锁定和解锁可以协同操作。机电门驱动器将门关闭,并且在检测到门关闭时,通过机电锁驱动器将门锁定。同样,机电锁驱动器将门解锁,并且在检测到门解锁时,机电门驱动器将门打开。门是否锁定可以通...
门锁结构、车门及车辆
本申请涉及一种门锁结构、车门及车辆,门锁结构包括锁舌、解锁摇臂、一级解闭锁组件、二级解闭锁组件和旋转部件,解锁摇臂用于解锁锁舌;一级解闭锁组件用于与解锁摇臂耦合,并驱动解锁摇臂解锁锁舌,一级解闭锁组件还用于与解锁摇臂解耦,以断开一级解闭锁组...
电流传感芯片及制造方法
本发明提供一种电流传感芯片及制造方法,涉及传感芯片技术领域。所电流传感芯片的磁芯、线圈以及载流导体基于微机电系统工艺形成在同一半导体衬底上,磁芯由软磁材料组成的独立磁芯或复合结构磁芯,载流导体设置在靠近磁芯的区域中;线圈包括至少一组激励线圈...
一种冷藏用保温箱
本实用新型涉及一种冷藏用保温箱,包括箱体,箱体内部底壁和四个侧壁均设置有放置袋,箱体的内部设置有储存盒、且储存盒的外周壁均与放置袋相互接触,箱体的底端设置有托盘,箱体的顶端设置有箱盖。本实用新型涉及保温箱技术领域。该一种冷藏用保温箱,波浪带...
一种柱状电容收纳盒
本申请涉及电容收纳技术领域,且公开了一种柱状电容收纳盒,本方案包括存放盒,所述存放盒的内壁固定连接有托板,所述托板的顶侧放置有海绵板,所述托板和海绵板上均开设有多个通孔,所述托板上的多个通孔分别与海绵板上的多个通孔处于同轴心上下排列分布,所...
一种新型手推式土样保存装置
本实用新型涉及勘察检测技术领域,尤其是一种新型手推式土样保存装置,包括外箱、内存储箱,所述内存储箱内嵌在所述外箱的内部,所述内存储箱上设置有安装孔,所述安装孔内放置有用于保存土样的储存筒,所述储存筒的上方设置有限位板,所述外箱的上方设置有旋...
一种MEMS薄膜制作方法及MEMS薄膜传感器
本发明公开了一种MEMS薄膜制作方法及MEMS薄膜传感器,该制作方法包括,使用反应性离子刻蚀工艺对晶圆表面的薄膜材料进行局部刻蚀,形成通孔/通槽;使用涂覆工艺或沉积工艺,将填充材料填充于上述步骤形成的通孔/通槽中;使用电感耦合等离子体刻蚀工...
一种分体式仪表保温箱
本实用新型涉及保温箱技术领域,且公开了一种分体式仪表保温箱,包括保温箱,保温箱和箱盖左右两侧均固定连接有开启机构,保温箱内壁底部和隔板顶部均设置有夹持机构;夹持机构包括移动组件和固定组件,移动组件包括长杆,前后两个长杆表面滑动连接有滑板,插...
薄型电子产品适用的纸制缓冲保护件
一种电子产品适用的纸制缓冲保护件,系以纸质板材一体成型地形成为包括:一主板以及连接在该主板之相对两侧边的复数个侧板;其中,主板可以经由弯折以形成主矩形框体;该等侧板可以经由弯折以形成容纳在该主矩形框体内之周围并且上下迭置的侧框体,并且上下迭...
尤其用于食品的可重复使用的容器
本发明涉及一种尤其用于食品的容器,其具有:基体(3),基体被形状稳定地形成,使得基体限定容纳容积(17),其中容纳容积(17)从基体开口(19)延伸到基体(3)的容积中,其中基体(3)具有内面(23)和外面(21),其中内面(23)界定容纳...
一种冲泡盒
本实用新型公开了一种冲泡盒,包括:盒体,其上端侧壁设置有排气口;所述排气口上设置有用于封堵所述排气口的易撕部;内胆,可取放的设置在所述盒体内;所述内胆与所述盒体的底部之间形成加热腔,所述内胆的侧壁与所述盒体的内壁之间形成有分别与所述排气口和...
车辆闩锁
提供一种车辆闩锁,其包括:仅单个电机,用于驱动可操作地联接到该单个电机的蜗杆,该蜗杆啮合地接合轮,该轮可旋转地安装到该闩锁的壳体上;在该闩锁的电动释放期间,该单个电机沿着第一方向使该轮从复位位置旋转,然后,为了使该轮返回到该复位位置,该单个...
一种具有保护功能的运输装置
本实用新型涉及锂电池运输技术领域,且公开了一种具有保护功能的运输装置,包括运输箱本体,所述运输箱本体的内壁固定连接有防滑垫,所述运输箱本体的内部设置有保护结构,所述保护结构包括有定位板,所述运输箱本体的内部设置有定位板,所述定位板的内部开设...
一种鲜切果蔬保鲜储存装置及使用方法
本发明公开了一种鲜切果蔬保鲜储存装置及使用方法,涉及储存保鲜技术领域,包括密封腔体、储存箱、检测模块和杀菌模块,所述储存箱内部设有四宫格密封腔体,所述储存箱内壁底部第一层固定安装有杀菌模块,所述储存箱内部固定安装有检测模块,所述检测模块通过...
一种药物基因组学检测试剂盒
本发明公开了一种药物基因组学检测试剂盒,包括壳体、左盖、右盖、置管结构和仓盒机构;本发明采用双侧独立开合盖体实现单手启闭操作,配合可抬升试管平台的三段式运动轨迹:水平移出时保持平稳,抬升后自锁固定,结合双轨道滑动系统消除操作晃动,确保试剂管...
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