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微观装置的制造及其处理技术
  • 一种图形化薄膜结构的制备方法
    一种图形化薄膜结构的制备方法_上海新微技术研发中心有限公司_202510619891.7
    本发明提供了一种图形化薄膜结构的制备方法，涉及微器件制备领域。本发明在进行刻蚀前，在介质层上形成光刻胶图形和导电膜层，该导电膜层对拐角不敏感，台阶覆盖性和厚度均一性较好，具有一定的导电性。在不改变原有的刻蚀条件下，通过增加导电膜层，使得在刻...
    2025-08-22
  • 一种图形化薄膜结构的制备方法
    一种图形化薄膜结构的制备方法_上海新微技术研发中心有限公司_202510619892.1
    本发明提供了一种图形化薄膜结构的制备方法，涉及微器件制备领域。本发明中，采用相同的刻蚀速率对第一介质层和光刻胶图形进行刻蚀，从而将第一介质层刻蚀形成目标图形，目标图形与光刻胶图形相同，在刻蚀完成后，目标图形的侧壁底部会形成缺口，本发明针对形...
    2025-08-22
  • 具有通过电磁致动控制的可倾斜悬置结构的MEMS设备
    具有通过电磁致动控制的可倾斜悬置结构的MEMS设备_意法半导体股份有限公司_201911279449.5
    MEMS设备通过以下方式获得：在半导体本体上形成临时偏置结构；以及在半导体本体上形成致动线圈，致动线圈至少具有一个第一端匝、一个第二端匝、以及中间匝，中间匝被布置在第一端匝和第二端匝之间，并且通过临时偏置结构被电耦合至第一端匝。以此方式，在...
    2025-08-22
  • 具有变形传感器的压电致动器及其制造方法
    具有变形传感器的压电致动器及其制造方法_意法半导体股份有限公司_202110492170.6
    MEMS致动器由以下部件形成：基底，围绕腔体；可变形结构，悬置在腔体上；致动结构，由第一压电材料的第一压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置为引起可变形结构的变形；以及检测结构，由第二压电材料的第二压电区域形成，由可变形结构支撑并且被配置...
    2025-08-22
  • 气相色谱芯片结构及其制备方法
    气相色谱芯片结构及其制备方法_中国科学院上海微系统与信息技术研究所_202510628004.2
    本发明提供了一种气相色谱芯片结构及其制备方法，通过在硅基板设置贯穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微沟道、载气通道以及检测腔体，采用键合上下盖板密封形成三明治结构的完整流路，从而实现微沟道、载气通道以及检测腔体的三维集成，进而消除分立器件的连接管路...
    2025-08-22
  • 一种T细胞检测试剂盒
    一种T细胞检测试剂盒_北京君全智药生物科技有限公司_202422481536.1
    本实用新型公开了一种T细胞检测试剂盒，包括上下分布的上盒体和下盒体，所述上盒体和下盒体的后端面通过合页铰接，所述上盒体和下盒体的前端面均开设有沿其长度方向深入的保冷槽，所述保冷槽内设置有保冷袋，所述保冷槽的开口处设置有密封盖并通过紧固件锁紧...
    2025-08-22
  • 一种门锁自动上锁机构
    一种门锁自动上锁机构_奇瑞汽车股份有限公司_202510844828.3
    本发明为汽车门锁技术领域，提出一种门锁自动上锁机构，包括：卡板、棘爪和安装板，卡板和棘爪分别转动设于安装板上，且卡板和棘爪在安装板上设有对应的弹性复位部，在安装板上设有锁槽，卡板和棘爪分别位于锁槽的两侧，驱使卡板经过锁槽与棘爪卡接。通过独特...
    2025-08-22
  • 一种车门锁扣控制方法、装置及车辆
    一种车门锁扣控制方法、装置及车辆_长城汽车股份有限公司_202510889155.3
    本申请公开了一种车门锁扣控制方法、装置及车辆，涉及车辆控制技术领域。方法包括：在检测到车门开启的情况下，获取车门动作信号；根据车门动作信号，确定车门的动作方向和车门的实时行程；动作方向包括打开方向和关闭方向；根据动作方向和实时行程，控制门锁...
    2025-08-22
  • 一种设备进出舱室时保护装置
    一种设备进出舱室时保护装置_浙江友联修造船有限公司_202422832414.2
    本实用新型提供一种设备进出舱室时保护装置，包括两端开口的筒体，所述筒体通过过渡接头与舱口固定，还包括与所述筒体上端外侧壁固定连接的操作平台，所述筒体下端侧壁设有供设备进出的通口，还包括可与所述筒体顶端开口开启闭合的顶盖，所述顶盖里侧设有滑轮...
    2025-08-22
  • 一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法
    一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法_中国科学院上海技术物理研究所_202310694444.9
    本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所...
    2025-08-22
  • 可开关控制的双工作波段高品质因子超表面传感器及系统
    可开关控制的双工作波段高品质因子超表面传感器及系统_浙江师范大学_202310325312.9
    本发明公开了一种可开关控制的双工作波段高品质因子超表面传感器及系统。本发明的超表面传感器包括衬底和全电介质超表面结构阵列；全电介质超表面结构阵列包括若干个全电介质超表面结构单元，所述的全电介质超表面结构单元呈四叶草结构，由四个半径大小相等的...
    2025-08-22
  • 用于制造具有移动结构的微机电装置、特别是微镜的方法
    用于制造具有移动结构的微机电装置、特别是微镜的方法_意法半导体股份有限公司_201910858240.8
    本申请的实施方式涉及用于制造具有移动结构的微机电装置、特别是微镜的方法。底部半导体区域被形成为包括：主子区域，延伸穿过覆盖半导体晶片的底部介电区域；以及次子区域，次子区域覆盖底部介电区域并围绕主子区域。第一顶部腔室和第二顶部腔室被形成为穿过...
    2025-08-22
  • 微机电传感器及其制造方法
    微机电传感器及其制造方法_杭州士兰集成电路有限公司_202011044408.0
    本发明公开了一种微机电传感器及其制造方法，微机电传感器包括：埋层，包括多个第一增高区域；位于埋层上的多个检测电极和多个布线电极，多个检测电极分别覆盖多个第一增高区域；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线...
    2025-08-22
  • 微机电传感器及其制造方法
    微机电传感器及其制造方法_杭州士兰集成电路有限公司_202011044412.7
    公开了一种微机电传感器及其制造方法，微机电传感器包括：位于衬底上的埋层，埋层上设置有多个检测电极和多个布线电极；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线电极互不接触；位于扭摆臂上方的扭摆和多个可动扭摆块，多...
    2025-08-22
  • 一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计
    一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计_上海工程技术大学_202510626793.6
    本发明涉及高精度加速度计技术领域，特别是涉及一种基于微纳技术的双轴硅电容高精度加速度计，包括两个同轴设置的微机械传感单元，两个微机械传感单元上下相互垂直设置，微机械传感单元包括硅衬底，硅衬底的上方设置有敏感质量块，硅衬底与敏感质量块之间对称...
    2025-08-22
  • 一种基于氧化钙的疏水改性来加热保温食品的方法
    一种基于氧化钙的疏水改性来加热保温食品的方法_杭州热念科技有限公司_202510699636.8
    本发明公开了一种基于氧化钙的疏水改性来加热保温食品的方法，属于功能材料领域。本发明所述的一种基于氧化钙的疏水改性来加热保温食品的方法，采用了疏水改性的氧化钙；其中，疏水改性的氧化钙的制备方法包括如下步骤：(1)将疏水剂溶于溶剂中，得到疏水剂...
    2025-08-22
  • 一种用于电动车仪表盘的周转盒
    一种用于电动车仪表盘的周转盒_无锡市极光电动科技有限公司_202422129304.X
    本申请涉及机械电子技术领域，且公开了一种用于电动车仪表盘的周转盒，包括底座周转盒与拓展周转盒，所述底座周转盒与拓展周转盒的上表面均开设有多个呈圆周分布的放置槽，多个所述放置槽的内壁均开设有滑动槽，多个所述滑动槽的内壁均滑动连接有滑动件。该一...
    2025-08-22
  • 一种声屏障运输叠放分离保护装置
    一种声屏障运输叠放分离保护装置_武汉红四方交通建设有限公司_202422622406.5
    本实用新型公开了一种声屏障运输叠放分离保护装置，涉及声屏障运输技术领域，包括固定架，所述固定架的外壁安装有定位杆，所述定位杆的外壁安装有挡板，所述挡板的外壁安装有隔离套，所述固定架的外壁安装有调节杆。本实用新型通过设置的调节杆、调节套、限位...
    2025-08-22
  • 一种鱼竿用胶带缠绕装置
    一种鱼竿用胶带缠绕装置_广德恒旺钓具有限公司_202510870875.5
    本发明公开了一种鱼竿用胶带缠绕装置，涉及缠绕装置技术领域。本发明包括用于输送鱼竿的同步带输送机，位于同步带输送机的末端设置有驱动鱼竿转动的驱动机构；同步带输送机具有至少两根同步带，任一同步带上均沿其长度方向等间隙固定若干卡结构，鱼竿卡在卡结...
    2025-08-22
  • 一种煤质液蜡用存储装置
    一种煤质液蜡用存储装置_聊城市鑫盛达新能源科技有限公司_202422628982.0
    本实用新型涉及存储装置领域，尤其涉及一种煤质液蜡用存储装置，包括有存储罐和保温组件；存储罐的外端安装有用于保温罐体进行注料的保温组件，保温组件包括有保温层、加热管、连接环、粘黏条、支撑架、承重板、连接盘、输料管、电磁阀门、检测模组，存储罐的...
    2025-08-22
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