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引线键合结构及其制造方法
提供一种引线键合结构及其制造方法。引线键合结构适用于芯片封装装置且包括引线键合垫层、金属层及缓冲层。金属层接触且位于引线键合垫层的下方。缓冲层接触且位于金属层的下方。缓冲层具有彼此间隔开的多个贯穿孔,所述多个贯穿孔从上到下贯穿缓冲层而在剖视...
一种芯片的散热系统
本发明涉及芯片封装散热技术领域,特别是涉及一种芯片的散热系统,其包括温差电薄膜层、微尺度散热器层和微量泵,温差电薄膜层包括热端、冷端和发电层,热端连接芯片的表面,冷端连接微尺度散热器的散热基板,发电层用于根据热端和冷端之间的温差形成电动势,...
一种3D封装散热系统
本发明涉及芯片封装散热技术领域,特别是涉及一种3D封装散热系统,其包括多个芯片散热层,每个芯片散热层包括芯片层和散热器层,散热器层包括温差电薄膜层、微尺度散热器层和微量泵层,微尺度散热器层和微量泵层之间连通;多个芯片散热层之间通过片间总线连...
一种散热系统
本发明涉及芯片封装散热技术领域,特别是涉及一种散热系统,系统包括温差电薄膜层和微尺度散热器层,温差电薄膜层包括热端、冷端和发电层,热端连接芯片的表面,冷端连接微尺度散热器的散热基板;发电层位于热端和冷端之间,用于根据热端和冷端之间的温差形成...
铝-铜-氮化硼复合材料及含其的散热元件
本揭露的铝‑铜‑氮化硼(Al‑Cu‑BN)复合材料包括Al‑Cu合金晶粒、Al
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Cu析出物以及BN粒子,其中BN粒子位于Al‑Cu合金晶粒的边界。铜在Al‑Cu‑BN复合材料中的重量百分比为大于0wt%且小于或等于5w...
一种在高深宽比状况下改善铜填孔的方法
本公开涉及一种在高深宽比状况下改善铜填孔的方法,该方法通过使待镀铜半导体元件经一次镀铜处理后,进行化学机械研磨,得到待填孔半导体元件,能够将镀铜层中产生的缺陷和铜空洞暴露在外;然后对待填孔半导体元件进行二次镀铜处理,能够使暴露在外的缺陷和铜...
半导体器件及其制造方法
本公开实施例提供一种半导体器件及其制造方法。所述方法包括:提供衬底,所述衬底中设有沿第一方向延伸的多个有源区;在所述衬底上形成沿第二方向延伸的多个图案化的掩膜层;利用所述图案化的掩膜层刻蚀所述有源区,以形成沿所述第一方向和所述第二方向呈阵列...
一种基板的处理方法
本申请提供一种基板的处理方法,所述方法包括:在第一基板的第一表面形成下凹的台阶部;在所述台阶部内设置键合材料,所述键合材料的上表面与所述第一基板的所述第一表面的高度一致;将第二基板的第二表面与所述第一基板的所述第一表面贴合,并通过所述键合材...
互锁电路和半导体工艺设备
本发明提供一种互锁电路和一种半导体工艺设备,互锁电路包括第一控制开关和第二控制开关,其中第一控制开关用于在静电卡盘的静电吸附电压小于预设电压阈值时,断开工控机输出的泄压阀控制信号,并将工控机输出的进气阀控制信号连通至第二控制开关的控制端;第...
一种晶圆储料系统
本发明涉及半导体领域,公开一种晶圆储料系统,包括:储料器和分片机;储料器包括连通内部空间的第一接入口和第二接入口,且第一接入口和第二接入口位于储料器的不同侧面;分片机经第一接入口部分嵌入储料器,且分片机悬置于储料器的侧面。本发明提供的晶圆储...
一种半导体器件的制造方法、半导体器件及电子设备
一种半导体器件的制造方法、半导体器件及电子设备,所述半导体器件的制造方法包括:提供基底,在所述基底上依次形成第一硬掩膜层、第二硬掩膜层和第三硬掩膜层;形成贯穿所述第三硬掩膜层和所述第二硬掩膜层的多个沿第一方向和第二方向阵列分布的第一孔;以及...
一种HKMG工艺中功函数的调制方法及半导体元件
本公开涉及一种HKMG工艺中功函数的调制方法及半导体元件,该调制方法包括:S1、提供经功函数层沉积工艺后得到的半导体衬底;S2、在所述半导体衬底的表面通过物理气相沉积形成具有氮含量浓度梯度的顶部阻挡层。采用物理气相沉积对半导体衬底进行顶部阻...
制备半导体元件的方法和得到的半导体元件
本公开涉及制备半导体元件的方法和得到的半导体元件,该方法包括以下步骤:S1、提供包括多个间隙的衬底,采用流动式化学气相沉积的方式在所述多个间隙内形成第一硅氧层;S2、采用流动式化学气相沉积的方式在所述第一硅氧层上形成第二硅氧层;所述第二硅氧...
一种提高低压环境中光电离源检测灵敏度的装置
本发明涉及质谱分析仪器技术领域,具体地说是一种提高低压环境中光电离源检测灵敏度的装置,包括进样管、电离源腔体、真空紫外灯、推斥电极、气体补充毛细管、惰性气源、离子漏斗,气体补充毛细管的一端与惰性气源相连通,气体补充毛细管的另一端穿入至电离源...
一种可实现电离源内高效解离水合团簇离子的装置
本发明属于质谱分析仪器技术领域,具体地说是一种可实现电离源内高效解离水合团簇离子的装置,包括进样管、真空紫外灯、电离源腔体、推斥电极、传输电极组及真空泵,真空紫外灯、推斥电极及传输电极组分别依次安装于电离源腔体的内部,推斥电极上施加有直流电...
一种双推斥极实时电场切换离子源
本发明公开了一种双推斥极实时电场切换离子源,能够解决现有技术中气相色谱质谱仪检测效率较低的问题。离子源位于质谱仪本体内,还包括气相色谱仪本体,气相色谱仪本体的内腔设有第一分离机构和第二分离机构,第一分离机构与第二分离机构用于分别对进入气相色...
射频源装置及其阻抗匹配方法、半导体工艺设备
本发明提供一种射频源装置,应用于半导体工艺设备,包括第一射频单元、第二射频单元和控制器,第一射频单元和第二射频单元用于向半导体工艺设备的工艺腔室加载射频功率信号,射频功率信号为在每个周期内具有多个阶段的脉冲信号;控制器用于在各阶段控制第一射...
离子源栅网结构及其调整方法
一种离子源栅网结构及其调整方法,其中调整方法包括:提供栅网结构,所述栅网结构包括屏栅和加速栅,所述屏栅包括若干呈周期排布的第一通孔,所述加速栅包括若干呈周期排布的第二通孔;装机,使所述屏栅和所述加速栅均垂直于第一方向设置,所述屏栅和所述加速...
直流接触器的控制电路和直流接触器
本申请提供一种直流接触器的控制电路和直流接触器,属于低压电器领域。所述控制电路包括:电源模块、正反电切换模组、单极性模块、转动线圈模块以及其他线圈模块;电源模块的正极分别与正反电切换模组的第一输入端以及单极性模块的输入端连接,电源模块的负极...
按键元件及电子装置
一种按键元件及电子装置。按键元件具有弹性并用以连接外壳,按键元件包含按压部及开放部;按压部用以露出于外壳的开孔以供使用者按压;开放部由第一连接端延伸至开放端并依序包含第一悬臂及开放锚定区,第一连接端连接按压部,开放锚定区用以与外壳固接。藉此...
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